傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量玻璃厚度時(shí),玻璃與測(cè)頭的相對(duì)位置需保持固定,每當(dāng)玻璃位置移動(dòng)時(shí),均需重新標(biāo)定才能進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。針對(duì)這一問(wèn)題,提出可自適應(yīng)位移變化的玻璃厚度激光三角測(cè)量方法,玻璃在不同位置時(shí)均可以直接對(duì)玻璃厚度進(jìn)行測(cè)量。首先分析當(dāng)玻璃位于基準(zhǔn)位置時(shí),其前、后表面反射光的成像光斑間距與玻璃厚度之間的關(guān)系;其次分析當(dāng)玻璃位移變化時(shí),成像光斑間距與玻璃前表面位置、玻璃厚度之間的關(guān)系,建立數(shù)學(xué)模型,并相應(yīng)地提出修正算法來(lái)消除玻璃位移變化對(duì)厚度測(cè)量的影響;最后設(shè)計(jì)了基于激光二極管-互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(LD-CMOS)的激光三角測(cè)量系統(tǒng),并采用多塊已知厚度的玻璃樣本進(jìn)行標(biāo)定和測(cè)量實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,當(dāng)玻璃位置在1～4.5 mm的范圍內(nèi)變動(dòng)時(shí),不同位置處玻璃厚度測(cè)量的絕對(duì)誤差小于0.010 mm,并且相對(duì)誤差均在0.5%以內(nèi)。該方法實(shí)現(xiàn)了玻璃在不同位置時(shí)對(duì)玻璃厚度的高精度測(cè)量,無(wú)需重復(fù)標(biāo)定,具有很好的實(shí)用性、靈活性和通用性。

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【文章目錄】：
1 引 言
2 基本原理
    2.1 玻璃位于基準(zhǔn)位置
    2.2 玻璃位置變動(dòng)
3 系統(tǒng)設(shè)計(jì)
4 測(cè)量實(shí)驗(yàn)與結(jié)果
    4.1 測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)定
    4.2 實(shí)驗(yàn)測(cè)試
    4.3 誤差來(lái)源分析
        1) 光斑中心定位誤差。
        2) 被測(cè)玻璃傾斜帶來(lái)的誤差。
        3) 環(huán)境因素的影響。
5 結(jié) 論



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