為了提高幾何光波導(dǎo)的成像質(zhì)量,提出了一種基于離軸自準(zhǔn)直光路的光波導(dǎo)陣列平行度測試方法。根據(jù)陣列平面特征分析了以空間二維角度表征光波導(dǎo)中半透半反膜陣列平行度的誤差評定模型,將幾何光波導(dǎo)成像原理與自準(zhǔn)直光路相結(jié)合,推算出了陣列平行度的數(shù)學(xué)關(guān)系式。然后,構(gòu)建了光波導(dǎo)陣列平行度測量系統(tǒng),系統(tǒng)中具有光源控制器可以控制輸出光強,有效解決了因光波導(dǎo)中不同半透半反膜的光能利用率不同而影響測量的難題。利用Steger算法對自準(zhǔn)直回像進行圖像處理。最后,完成了標(biāo)定和陣列平行度測試以及驗證實驗。實驗結(jié)果表明,平行度測量系統(tǒng)的測量不確定度為1.14″,最大重復(fù)性誤差為0.32″。該方法可以快速準(zhǔn)確地測量幾何光波導(dǎo)中的陣列平行度,對光波導(dǎo)陣列面的姿態(tài)修正以及成像質(zhì)量的提高具有指導(dǎo)意義。

【文章頁數(shù)】：9 頁

【文章目錄】：
1 引 言
2 幾何光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)
3 測量方案
    3.1 平行度誤差評定模型
    3.2 測量原理
    3.3 平行度誤差數(shù)學(xué)關(guān)系
4 測量裝置與圖像處理
    4.1 測量裝置
    4.2 十字光條中心點的獲取
5 實 驗
    5.1 標(biāo)定及線性實驗
    5.2 光波導(dǎo)陣列平行度測量實驗
6 結(jié) 論



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