發(fā)布時(shí)間：2023-03-11 08:00

　　多光軸一致性是衡量多光軸系統(tǒng)性能的一項(xiàng)重要技術(shù)指標(biāo)。在研制某多光軸光測(cè)設(shè)備中,為提高測(cè)試精度,需要研制一臺(tái)以口徑1.25m,焦距15000mm的平行光管為主體的檢測(cè)設(shè)備。對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)的組成和原理做了簡(jiǎn)單介紹;針對(duì)設(shè)計(jì)要求,提出了側(cè)面柔性鋼帶支撐和杠桿平衡重錘的組合浮動(dòng)支撐方式來解決主鏡受重力影響而帶來的面形問題;對(duì)支撐點(diǎn)個(gè)數(shù),位置及重錘重量等參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,以達(dá)到最優(yōu)的面形精度;確定了次鏡室及三翼梁的結(jié)構(gòu);設(shè)計(jì)焦面水冷方案抑制輻射雜散光;利用接觸非線性方法對(duì)主鏡在重力作用對(duì)的面形精度進(jìn)行了分析擬合結(jié)果為11.19nm(λ/56);最后,利用4D動(dòng)態(tài)干涉儀對(duì)已完成的平行光管進(jìn)行檢測(cè),其系統(tǒng)面形精度RMS達(dá)到了35.05nm(λ/18),實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,反射鏡支撐結(jié)構(gòu)以及整個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均達(dá)到了設(shè)計(jì)要求。

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 系統(tǒng)組成及原理
    2.1 系統(tǒng)組成
    2.2 系統(tǒng)原理
    2.3 主要技術(shù)指標(biāo)
3 機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    3.1 主鏡支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    3.2 次鏡室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    3.3 水冷系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
4 主鏡支撐卸載機(jī)構(gòu)的優(yōu)化
    4.1 支撐點(diǎn)數(shù)目的優(yōu)化設(shè)計(jì)
    4.2 支撐點(diǎn)位置的優(yōu)化設(shè)計(jì)
    4.3 平衡錘質(zhì)量的優(yōu)化
5 主鏡支撐的有限元分析
    5.1 非線性接觸理論
    5.2 有限元建模
6 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證
    6.1 主鏡的裝調(diào)與檢測(cè)
    6.2 次鏡的裝調(diào)
    6.3 系統(tǒng)軸內(nèi)、外波像差的檢測(cè)
7 結(jié)論



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