多光軸一致性是衡量多光軸系統(tǒng)性能的一項重要技術(shù)指標。在研制某多光軸光測設(shè)備中,為提高測試精度,需要研制一臺以口徑1.25m,焦距15000mm的平行光管為主體的檢測設(shè)備。對檢測系統(tǒng)的組成和原理做了簡單介紹;針對設(shè)計要求,提出了側(cè)面柔性鋼帶支撐和杠桿平衡重錘的組合浮動支撐方式來解決主鏡受重力影響而帶來的面形問題;對支撐點個數(shù),位置及重錘重量等參數(shù)進行優(yōu)化,以達到最優(yōu)的面形精度;確定了次鏡室及三翼梁的結(jié)構(gòu);設(shè)計焦面水冷方案抑制輻射雜散光;利用接觸非線性方法對主鏡在重力作用對的面形精度進行了分析擬合結(jié)果為11.19nm(λ/56);最后,利用4D動態(tài)干涉儀對已完成的平行光管進行檢測,其系統(tǒng)面形精度RMS達到了35.05nm(λ/18),實驗結(jié)果表明,反射鏡支撐結(jié)構(gòu)以及整個系統(tǒng)的設(shè)計均達到了設(shè)計要求。

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【文章目錄】：
1 引言
2 系統(tǒng)組成及原理
    2.1 系統(tǒng)組成
    2.2 系統(tǒng)原理
    2.3 主要技術(shù)指標
3 機械結(jié)構(gòu)設(shè)計
    3.1 主鏡支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計
    3.2 次鏡室結(jié)構(gòu)設(shè)計
    3.3 水冷系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計
4 主鏡支撐卸載機構(gòu)的優(yōu)化
    4.1 支撐點數(shù)目的優(yōu)化設(shè)計
    4.2 支撐點位置的優(yōu)化設(shè)計
    4.3 平衡錘質(zhì)量的優(yōu)化
5 主鏡支撐的有限元分析
    5.1 非線性接觸理論
    5.2 有限元建模
6 實驗驗證
    6.1 主鏡的裝調(diào)與檢測
    6.2 次鏡的裝調(diào)
    6.3 系統(tǒng)軸內(nèi)、外波像差的檢測
7 結(jié)論



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