隨著第五代移動(dòng)通信技術(shù)（The 5th Generation Mobile Communication Technology,5G）的迅猛發(fā)展,將會(huì)對射頻（Radio Frequency,RF）前端系統(tǒng)中設(shè)備的性能提出越來越高的要求。濾波器作為RF前端的某個(gè)關(guān)鍵器件,其優(yōu)良的性能會(huì)對通信系統(tǒng)的正常工作起到關(guān)鍵作用。而基片集成波導(dǎo)（Substrate Integrated Waveguide,SIW）結(jié)構(gòu)具有低損耗、高品質(zhì)（Quality,Q）因數(shù)和大功率容量等優(yōu)勢,還具備尺寸小型化、成本低廉化和易于集成等優(yōu)點(diǎn),十分適用于如今的移動(dòng)通信RF前端系統(tǒng)。本文將基于SIW結(jié)構(gòu),針對用于5G通信的高頻頻段設(shè)計(jì)并加工出一款工作在24.25GHz~27.5GHz的帶通濾波器,以及低頻頻段設(shè)計(jì)出一款工作在4GHz~5.6GHz的帶通濾波器,并實(shí)現(xiàn)小型化。具體的工作內(nèi)容如下:提出將SIW與硅基微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）工藝相結(jié)合,設(shè)計(jì)并制作出一款中心頻率在25.875GHz左右的毫米波帶通濾波器。首先根據(jù)MEMS工藝的立體加工特性,將傳統(tǒng)SIW... 

【文章頁數(shù)】：80 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
注釋表
第1章 緒論
    1.1 研究背景和意義
    1.2 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀
        1.2.1 SIW加載慢波結(jié)構(gòu)
        1.2.2 SIW的衍生結(jié)構(gòu)
        1.2.3 半導(dǎo)體材料基板的SIW濾波器
    1.3 論文主要工作及章節(jié)安排
第2章 濾波器的理論基礎(chǔ)
    2.1 引言
    2.2 濾波器的分類和基本參數(shù)
    2.3 低通原型濾波器
        2.3.1 巴特沃斯濾波器
        2.3.2 切比雪夫?yàn)V波器
    2.4 濾波器的設(shè)計(jì)
        2.4.1 二端口網(wǎng)絡(luò)的傳遞函數(shù)
        2.4.2 頻率和阻抗的變換
        2.4.3 帶通濾波器中的K、J變換器
    2.5 本章總結(jié)
第3章 基于SIW的毫米波MEMS濾波器設(shè)計(jì)
    3.1 引言
    3.2 基片集成波導(dǎo)的簡介
    3.3 濾波器的仿真設(shè)計(jì)
        3.3.1 SIW濾波器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
        3.3.2 基于SIW的 MEMS濾波器的仿真
    3.4 MEMS工藝流程的介紹以及測試分析
        3.4.1 工藝制作流程
        3.4.2 濾波器實(shí)物性能測試與分析
    3.5 本章總結(jié)
第4章 基于DGS的 SIW和 HMSIW小型化濾波器設(shè)計(jì)
    4.1 引言
    4.2 半模基片集成波導(dǎo)的簡介
    4.3 SIW與微帶線的轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)
        4.3.1 SIW和 HMSIW與直接型微帶轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)
        4.3.2 SIW和 HMSIW與階梯阻抗微帶轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)
        4.3.3 SIW和 HMSIW與錐形微帶轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)
    4.4 DGS的特性分析
    4.5 基于DGS的 SIW和 HMSIW小型化濾波器設(shè)計(jì)
        4.5.1 基于DGS的 SIW小型化濾波器設(shè)計(jì)
        4.5.2 基于DGS的 HMSIW小型化濾波器設(shè)計(jì)
    4.6 本章總結(jié)
第5章 總結(jié)與展望
    5.1 本文工作總結(jié)
    5.2 未來工作展望
參考文獻(xiàn)
致謝
攻讀碩士學(xué)位期間從事的科研工作及取得的成果


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]一種毫米波基片集成波導(dǎo)濾波器設(shè)計(jì)[J]. 鐘麗,張先榮.  移動(dòng)通信. 2017(15)
[2]毫米波硅片集成MEMS濾波器[J]. 沈平,底海英,施朝著,彭艷君,賈寶富.  微波學(xué)報(bào). 2016(S1)
[3]一種基于SIW的Ka波段窄帶濾波器[J]. 尹華,王志剛,延波.  微波學(xué)報(bào). 2016(S2)
[4]4H-SiC ICP深刻蝕工藝研究[J]. 喻蘭芳,梁庭,熊繼軍,崔海波,劉雨濤,張瑞.  傳感器與微系統(tǒng). 2014(10)
[5]二氧化硅的反應(yīng)離子刻蝕工藝研究[J]. 楊光,茍君,李偉,袁凱.  微處理機(jī). 2012(03)

博士論文
[1]無線通信中微波濾波器的比較設(shè)計(jì)法與應(yīng)用研究[D]. 吳邊.西安電子科技大學(xué) 2008

碩士論文
[1]SIW帶通濾波器研究與設(shè)計(jì)[D]. 宋秋雨.西安電子科技大學(xué) 2010



本文編號(hào)：3710622