激光具有亮度高、方向性好、峰值功率高、光斑尺寸小等優(yōu)點,在科學研究和工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著重要的作用。近年來,激光誘導沉積技術得到了越來越多的關注和研究,被廣泛地應用于薄膜制備、微型器件制作、電路修復等領域。激光誘導等離子體沉積技術是激光誘導沉積技術的重要研究方向之一,它具有工序簡單、使用靈活、容易實現(xiàn)等突出優(yōu)點,應用前景巨大。本文利用兩種廉價、易維護和加工效率高的激光,即波長為355nm的納秒脈沖激光和波長為1064nm的納秒脈沖激光,在普通硅酸鹽玻璃表面進行銅材料的沉積實驗,較系統(tǒng)地研究了激光能量密度、掃描速度、離焦量、加工次數(shù)、光斑搭接率等工藝參數(shù)對沉積結果的影響。通過單線條激光誘導等離子體沉積銅實驗,確定了紫外激光和紅外激光對銅材料的沉積閾值。當紫外激光能量密度達到約8J/cm~2,紅外激光能量密度達到約12.5J/cm~2時,才會有明顯的沉積現(xiàn)象發(fā)生。此外,激光掃描速度、離焦量、加工次數(shù)等都會對沉積線條的線寬和形貌有明顯影響,而且這兩種激光作用下沉積線條的尺寸變化規(guī)律類似。在大面積銅層沉積過程中,對比研究了這兩種激光在不同激光參數(shù)下銅沉積層的微觀形貌、沉積厚度、表面粗糙度的變化情況... 

【文章頁數(shù)】：76 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 引言
    1.2 激光誘導沉積技術
    1.3 激光誘導等離子體沉積技術的國內外研究現(xiàn)狀
    1.4 研究意義、研究內容及創(chuàng)新點
2 實驗材料、設備及方法
    2.1 實驗材料及儀器
    2.2 激光加工設備
    2.3 測試表征方法
    2.4 本章小結
3 激光誘導等離子體沉積的影響因素及機理分析
    3.1 前言
    3.2 紫外納秒激光誘導等離子體沉積實驗
    3.3 紅外納秒激光誘導等離子體沉積實驗
    3.4 大面積銅層制備
    3.5 實驗機理分析
    3.6 本章小結
4 激光誘導等離子體沉積結構性能分析及應用
    4.1 前言
    4.2 銅沉積層結構性能分析
    4.3 玻璃表面結構性能分析
    4.4 銅層結合強度分析
    4.5 銅圖案制作
    4.6 本章小結
5 全文總結與展望
    5.1 全文總結
    5.2 目前存在的問題和今后工作展望
致謝
參考文獻


【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3701818