采用脈沖激光沉積法（PLD）在（001）SrTiO₃基片上制備了基于Pb(Zr_0.52Ti_0.48)O₃/SrRuO₃/SrRuO₃（PZT/SRO）的鐵電隧穿結(jié)。利用多種表征手段測試并分析薄膜微觀結(jié)構(gòu)及電性能。結(jié)果表明:PZT和SRO薄膜具有良好的取向結(jié)晶性,實現(xiàn)了薄膜的外延生長。8 nm PZT薄膜具有穩(wěn)定的鐵電性能,在外電場為7 500×10~3 V·cm^–1時,其剩余極化（2P_r）為3.79×10^–6C·cm^–2,矯頑場（2Ec）為4 300×10~3 V·cm^–1。室溫條件下,隧穿結(jié)經(jīng)±7 500×10~3 V·cm^–1電場極化后具有明顯的隧穿電阻（TER）效應(yīng),室溫下TER最高可達(dá)約126。 

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【文章目錄】：
1實驗方法
2實驗結(jié)果與討論
    2.1 PZT/SRO異質(zhì)結(jié)的厚度表征
    2.2 PZT/SRO異質(zhì)結(jié)的微觀結(jié)構(gòu)表征
    2.3 PZT/SRO異質(zhì)結(jié)鐵電性能分析
    2.4 PZT/SRO異質(zhì)結(jié)C-E性能分析
    2.5 PZT/SRO異質(zhì)結(jié)隧穿性能分析
3結(jié)論



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