研究單晶硅片磨削用陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪的組織結(jié)構(gòu)對砂輪性能的影響,評估砂輪組織結(jié)構(gòu)對砂輪磨損速率、磨床主軸電流、磨削后的單晶硅片表面粗糙度及其表面形貌的影響。試驗結(jié)果顯示:主軸電流隨著砂輪組織中孔隙率的增加呈現(xiàn)下降趨勢,從最高的7.0 A降低至6.3 A;砂輪的磨損速率則表現(xiàn)出相反的規(guī)律,氣孔率最大的砂輪的磨損速率是最小的砂輪的近2倍,分別為2.525 2μm/片和1.423 8μm/片;砂輪組織結(jié)構(gòu)對磨削后工件的表面粗糙度影響不大,工件的表面粗糙度R_a值分別為7.67、7.47和7.37 nm;但當氣孔孔徑過大、孔壁變薄時,會造成磨削工件表面出現(xiàn)深劃痕,導致硅片磨削質(zhì)量惡化。 

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【文章目錄】：
1 試驗
    1.1 砂輪制備
    1.2 磨削試驗及性能表征
2 結(jié)果與分析
    2.1 砂輪組織結(jié)構(gòu)表征
    2.2 砂輪的機械性能對比
    2.3 砂輪磨削性能對比
3 結(jié)論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]燒結(jié)制度對陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪的蜂窩狀組織結(jié)構(gòu)的影響[J]. 苗衛(wèi)朋,丁玉龍,駱苗第,熊華軍.  金剛石與磨料磨具工程. 2020(01)
[2]氟化鈣對單晶硅片磨削用樹脂結(jié)合劑金剛石砂輪磨削性能的影響[J]. 丁玉龍,惠珍,熊華軍,趙延軍,包華.  金剛石與磨料磨具工程. 2019(01)
[3]數(shù)控磨削過程中砂輪電機電流的實時監(jiān)測[J]. 焦陽,李郝林.  上海理工大學學報. 2009(01)
[4]大直徑硅片超精密磨削技術(shù)的研究與應(yīng)用現(xiàn)狀[J]. 康仁科,田業(yè)冰,郭東明,金洙吉.  金剛石與磨料磨具工程. 2003(04)

博士論文
[1]納米級超精密磨削IC硅片的金剛石砂輪材料研究[D]. 李克華.上海大學 2016
[2]硅片超精密磨削減薄工藝基礎(chǔ)研究[D]. 高尚.大連理工大學 2013



本文編號：3671560