大尺寸、電子級(jí)直拉硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程中物理變化復(fù)雜、多場(chǎng)多相耦合、模型不確定且存在大滯后和非線性等特性,因此如何實(shí)現(xiàn)硅單晶直徑控制是一個(gè)具有理論意義和實(shí)際價(jià)值的問(wèn)題.本文結(jié)合工程實(shí)際提出一種基于混合集成建模的晶體直徑自適應(yīng)非線性預(yù)測(cè)控制方法.首先,為了準(zhǔn)確辨識(shí)晶體直徑模型,提出基于互相關(guān)函數(shù)的時(shí)滯優(yōu)化估計(jì)方法和基于Lipschitz商準(zhǔn)則與模型擬合優(yōu)度的模型階次辨識(shí)方法;其次,基于"分而治之"原理構(gòu)建晶體直徑混合集成模型.其中,采用小波包分解（Wavelet packet decomposition, WPD）方法將原始數(shù)據(jù)分解成若干個(gè)子序列,以減少其非平穩(wěn)性和隨機(jī)噪聲.極限學(xué)習(xí)機(jī)（Extreme learning machine, ELM）和長(zhǎng)短時(shí)記憶網(wǎng)絡(luò)（Long-short-term memory networks, LSTM）分別建立近似（低頻）子序列和細(xì)節(jié)（高頻）子序列的預(yù)測(cè)模型,最終晶體直徑預(yù)測(cè)輸出由各子序列的預(yù)測(cè)結(jié)果匯總而成;然后,針對(duì)晶體直徑混合集成模型失配問(wèn)題以及目標(biāo)函數(shù)難以求解問(wèn)題,提出一種基于蟻獅優(yōu)化（Ant lion optimizer, ALO）的自適應(yīng)非線性預(yù)測(cè)... 

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【文章目錄】：
1 數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)晶體直徑預(yù)測(cè)建模
    1.1 晶體直徑預(yù)測(cè)模型結(jié)構(gòu)辨識(shí)
    1.2 基于WPD-ELM-LSTM的混合集成預(yù)測(cè)模型
2 晶體直徑自適應(yīng)非線性預(yù)測(cè)控制
    2.1 晶體直徑預(yù)測(cè)控制結(jié)構(gòu)
    2.2 模型參數(shù)自適應(yīng)更新
    2.3 實(shí)現(xiàn)步驟
3 工業(yè)數(shù)據(jù)實(shí)驗(yàn)與分析
    3.1 模型建立
    3.2 預(yù)測(cè)性能
    3.3 控制測(cè)試
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[2]基于數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)多輸出ARMAX建模的高爐十字測(cè)溫中心溫度在線估計(jì)[J]. 周平,劉記平.  自動(dòng)化學(xué)報(bào). 2018(03)
[3]直拉硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程建模與控制研究綜述[J]. 劉丁,趙小國(guó),趙躍.  控制理論與應(yīng)用. 2017(01)
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[5]基于集合經(jīng)驗(yàn)?zāi)B(tài)分解和改進(jìn)極限學(xué)習(xí)機(jī)的短期風(fēng)速組合預(yù)測(cè)研究[J]. 張翌暉,王賀,胡志堅(jiān),王凱,黃東山,寧文輝,張承學(xué).  電力系統(tǒng)保護(hù)與控制. 2014(10)
[6]模型預(yù)測(cè)控制——現(xiàn)狀與挑戰(zhàn)[J]. 席裕庚,李德偉,林姝.  自動(dòng)化學(xué)報(bào). 2013(03)



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