為了實現(xiàn)機床在加工狀態(tài)下主軸徑向跳動非接觸、高精度的測量,采用光外差法光路的激光多普勒差分檢測方法,進行了理論分析和實驗驗證。直接耦合和透鏡耦合的全光纖光路的應(yīng)用,降低了布喇格衍射光路的調(diào)節(jié)難度,提高了測量分辨率和抗干擾能力,減小了噪聲;光纖分光器實現(xiàn)了同一軸線上的差分測量,抑制了因測量光路本身的振動帶來的干擾。得到了相對誤差為0. 0838%的主軸徑向跳動測量結(jié)果,實現(xiàn)了納米級跳動誤差測量。結(jié)果表明,系統(tǒng)的相對誤差和測量不確定度均小于0. 1%。該研究對主軸徑向跳動的實時測量有一定的指導(dǎo)意義。 

【文章來源】：激光技術(shù). 2020,44(01)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：4 頁

【文章目錄】：
引言
1 測量系統(tǒng)設(shè)計
    1.1 測量基本原理
    1.2 聲光全光纖光路的應(yīng)用
    1.3 總體測量模型建立
2 實驗和不確定度分析
    2.1 實驗分析
    2.2 不確定度評定[19-20]
        2.2.1 激光光源引起的不確定度u(λ)
        2.2.2 夾角θ引起的不確定度u(θ)
        2.2.3 光電探測器引起的不確定度u(d)
        2.2.4 信號處理過程引起的不確定度u(i)
        2.2.5 外界因素引起的不確定度u(o)
3 結(jié)論


【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3629614