利用電沉積法制備磁屏蔽薄膜,不僅可以精確控制沉積膜的化學(xué)成分和厚度,而且可以在復(fù)雜幾何形狀的表面上形成薄膜。通過電沉積裝置制備了鐵鎳-銅-鐵鎳多層復(fù)合磁屏蔽薄膜,并探究了磁場強度、厚度、高溫環(huán)境對磁屏蔽薄膜屏蔽效能的影響。實驗結(jié)果表明,50μm和100μm樣品的屏蔽效能隨磁場強度的增大而增大,200μm的屏蔽效能則是先增大后降低;在4～16 Oe磁場中,厚度越大,薄膜屏蔽效果越好;100℃的溫度會降低所有厚度的磁屏蔽薄膜的屏蔽效能。 

【文章來源】：太赫茲科學(xué)與電子信息學(xué)報. 2020,18(02)北大核心

【文章頁數(shù)】：5 頁

【部分圖文】：

樣品外觀圖

電解裝置

2.2 多層復(fù)合磁屏蔽薄膜結(jié)構(gòu)銅磁導(dǎo)率非常低，對于磁場本身屏蔽效果不明顯，但銅也是一種良導(dǎo)體，可以有效屏蔽電場，減少因渦流效應(yīng)而產(chǎn)生的磁場的影響。因此在磁屏蔽體系中，需要加入一定厚度的銅層。Ni80Fe20磁導(dǎo)率遠(yuǎn)大于銅鋁，在鐵鎳體系中屬于高磁導(dǎo)率合金，因此屏蔽磁場體系中需要以Ni80Fe20為主。當(dāng)磁場進(jìn)入屏蔽體系時，外層的Ni80Fe20將大部分磁場通過自身導(dǎo)走，然后銅層將電場導(dǎo)走，減少渦流效應(yīng)產(chǎn)生的磁場，最里層的Ni80Fe20進(jìn)一步弱化磁場，從而實現(xiàn)磁場屏蔽。同時鐵磁/銅/鐵磁多層復(fù)合屏蔽體系中，銅層作為抗磁層可調(diào)節(jié)內(nèi)部磁場的排布。通過多層結(jié)構(gòu)設(shè)計，可以使磁場在薄膜中更好地被導(dǎo)走，強化屏蔽磁場的作用。

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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