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InAs納米線的可控生長及新型光電器件研究

發(fā)布時間:2022-01-23 10:53
  半導體納米線以其獨特的結(jié)構(gòu)特征和新穎的物理特性成為當前半導體光電子領(lǐng)域的研究熱點。InAs納米線具有較窄的直接帶隙和極高的電子遷移率,在高速光電子器件中有重要應(yīng)用潛力。本論文的研究工作主要圍繞InAs納米線展開,重點研究了純相InAs納米線的可控生長以及基于InAs納米線的新型光電器件的制備與應(yīng)用。主要創(chuàng)新工作如下:(1)利用金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)技術(shù)進行了 InP襯底上金催化InAs納米線的生長研究。結(jié)果表明生長溫度和Ⅴ/Ⅲ比對InAs納米線的晶體結(jié)構(gòu)有顯著影響。在生長溫度為450 oC、Ⅴ/Ⅲ比為70的優(yōu)化條件下,InAs納米線在極寬的直徑范圍內(nèi)(70~420 nm)均呈現(xiàn)純纖鋅礦(WZ)結(jié)構(gòu),顯著增加了可實現(xiàn)的纖鋅礦InAs納米線的直徑(一般小于100nm)。分析認為除了較優(yōu)的生長條件,InP襯底對In原子的吸附作用導致實際Ⅴ/Ⅲ比增大是實現(xiàn)大直徑范圍WZ晶相InAs納米線的重要原因(2)利用MOCVD技術(shù)開展了 InP襯底上InAs納米線的自催化生長研究。發(fā)現(xiàn)表面擴散效應(yīng)會影響催化液滴中In原子濃度的穩(wěn)定性,導致自催化InAs納米線中存在大量層錯;同時,在一定的Ⅴ... 

【文章來源】:北京郵電大學北京市 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】:121 頁

【學位級別】:博士

【部分圖文】:

InAs納米線的可控生長及新型光電器件研究


圖1-1?“光漏斗”現(xiàn)象示意圖[53]

示意圖,原子模型,晶胞,示意圖


數(shù)3=6.058人,111-八5原子鍵長為2.623人,本征電阻率0.16£1〇11,熱導率為0.27??W/cm.°C,德拜溫度280?K,熱擴散系數(shù)0.19?cm2/s[74]。WZ結(jié)構(gòu)InAs是具有六??角密排結(jié)構(gòu),如圖1-2?(b)所示。通常其晶格常數(shù)為a=4.284?A,c=6.995?A,??c/a=?1.63[74]。??(a)?(b)?rWli??圖1-2?(a)?ZB結(jié)構(gòu)晶胞的原子模型示意圖,(b)?WZ結(jié)構(gòu)晶胞的原子模型示意圖??InAs材料為直接帶隙半導體,其禁帶寬度為0.35?eV。由于InAs材料的的禁??帶寬度相對較窄,其本征載流子濃度較高。在電子器件中,未摻雜的InAs體材??料通常表現(xiàn)為n型半導體并具有很高的電子遷移率[75],室溫下電子遷移率達到??3xl04cm2/^S。此外,在半導體材料的表面,隨著晶格延伸的終止,晶格的不完??整使晶體的周期勢場發(fā)生變化,進而在禁帶中產(chǎn)生附加能級。這種附加能級被稱??為表面能級,相應(yīng)的,在表面能級中的載流子狀態(tài)被稱為表面態(tài)。表面態(tài)的“元??兇”通常為材料的表面的懸掛鍵

示意圖,納米線,晶體結(jié)構(gòu),原子模型


數(shù)3=6.058人,111-八5原子鍵長為2.623人,本征電阻率0.16£1〇11,熱導率為0.27??W/cm.°C,德拜溫度280?K,熱擴散系數(shù)0.19?cm2/s[74]。WZ結(jié)構(gòu)InAs是具有六??角密排結(jié)構(gòu),如圖1-2?(b)所示。通常其晶格常數(shù)為a=4.284?A,c=6.995?A,??c/a=?1.63[74]。??(a)?(b)?rWli??圖1-2?(a)?ZB結(jié)構(gòu)晶胞的原子模型示意圖,(b)?WZ結(jié)構(gòu)晶胞的原子模型示意圖??InAs材料為直接帶隙半導體,其禁帶寬度為0.35?eV。由于InAs材料的的禁??帶寬度相對較窄,其本征載流子濃度較高。在電子器件中,未摻雜的InAs體材??料通常表現(xiàn)為n型半導體并具有很高的電子遷移率[75],室溫下電子遷移率達到??3xl04cm2/^S。此外,在半導體材料的表面,隨著晶格延伸的終止,晶格的不完??整使晶體的周期勢場發(fā)生變化,進而在禁帶中產(chǎn)生附加能級。這種附加能級被稱??為表面能級,相應(yīng)的,在表面能級中的載流子狀態(tài)被稱為表面態(tài)。表面態(tài)的“元??兇”通常為材料的表面的懸掛鍵

【參考文獻】:
期刊論文
[1]High-Performance Photo-Modulated Thin-Film Transistor Based on Quantum dots/Reduced Graphene Oxide Fragment-Decorated ZnO Nanowires[J]. Zhi Tao,Yi-an Huang,Xiang Liu,Jing Chen,Wei Lei,Xiaofeng Wang,Lingfeng Pan,Jiangyong Pan,Qianqian Huang,Zichen Zhang.  Nano-Micro Letters. 2016(03)
[2]磁控濺射鍍膜技術(shù)的發(fā)展[J]. 余東海,王成勇,成曉玲,宋月賢.  真空. 2009(02)
[3]硅靶中頻反應(yīng)磁控濺射二氧化硅薄膜的特性研究[J]. 許生,侯曉波,范垂禎,趙來,周海軍,吳克堅,高文波,顏遠全,查良鎮(zhèn).  真空. 2001(05)
[4]電子束曝光技術(shù)發(fā)展動態(tài)[J]. 劉明,陳寶欽,梁俊厚,李友,徐連生,張建宏,張衛(wèi)紅.  微電子學. 2000(02)



本文編號:3604203

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