高密度超薄柔性集成電路封裝基板覆銅表面缺陷檢測系統(tǒng)研究
發(fā)布時間：2022-01-14 03:11
柔性集成電路封裝基板（Flexible Integrated Circuit Substrate,簡稱FICS）,是一種在聚酰亞胺介質(zhì)材料表面使用銅箔腐蝕形成線路的印刷線路基板。FICS制造工藝涉及IC制程、封裝和組裝等三大電子信息制造業(yè)關鍵工序,具有重量輕、體積小、高密度和可彎曲等特點,在航天、軍事、移動終端等領域得到非常廣泛的應用。隨著人們對電子產(chǎn)品微型化的要求,FICS線路尺寸已達到微米級別,并隨著IC制程的技術進步向納米級方向發(fā)展,其制造過程中質(zhì)量和缺陷的控制也越來越嚴格。傳統(tǒng)的人工目檢的方式和普通的CCD相機自動光學檢測系統(tǒng)已經(jīng)無法滿足高密度超薄FICS的精密檢測需求。針對這些難點,本文搭建了基于超精密顯微成像的FICS缺陷檢測系統(tǒng)。針對FICS覆銅表面氧化等幾種常見的缺陷,研究其高精度檢測算法。本文主要工作如下:（1）針對高密度超薄FICS精密檢測需求,搭建基于超精密顯微成像的FICS缺陷檢測系統(tǒng),并介紹改進后的基于金相顯微鏡與變倍鏡的雙CCD組合二代機系統(tǒng)。根據(jù)FICS覆銅表面缺陷特點,設計穩(wěn)定的光源系統(tǒng),運用金相顯微鏡與變倍鏡的雙CCD組合系統(tǒng)改進圖像采集結構,采用XY...
【文章來源】：華南理工大學廣東省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁數(shù)】：68 頁
【學位級別】：碩士
【部分圖文】：
基于精密顯微視覺的FICS檢測系統(tǒng)實物圖
改進后的二代機實物圖
b 灰度直方圖 系統(tǒng)采集圖像及其特征圖自適應閾值的銅箔表面快速分割方法。針對顏色分割方法，并取得了一定的分割效果。但，本人進一步提出了一種基于單高斯模型（Sing氧化缺陷檢測算法，能快速檢測出氧化缺陷，的氧化區(qū)域，設計一種基于 8 維顏色特征的氧。算法分為離線建模與在線監(jiān)測，具體流程圖在線監(jiān)測采集待檢測FICS圖像銅箔分割顏色建模
【參考文獻】：
期刊論文
[1]深度強化學習進展:從AlphaGo到AlphaGo Zero[J]. 唐振韜,邵坤,趙冬斌,朱圓恒. 控制理論與應用. 2017(12)
[2]基于骨架特征的柔性電路板缺陷檢測方法[J]. 苑瑋琦,姚雙. 計算機應用. 2016(S1)
[3]柔性技術成為搶占可穿戴設備紅海市場之關鍵[J]. 陳世金. 電子科學技術. 2016(02)
[4]一種FPC缺陷視覺檢測方法[J]. 孫國棟,楊林杰,張楊. 自動化儀表. 2015(12)
[5]基于紋理特征的撓性印制電路板焊盤缺陷檢測[J]. 楊冬濤,黃杰賢,龔昌來,張學成. 計算機測量與控制. 2015(02)
[6]撓性覆銅板行業(yè)與市場現(xiàn)況調(diào)查[J]. 祝大同. 覆銅板資訊. 2014 (02)
[7]HSI顏色模型在鐠釹組分含量檢測中的應用[J]. 陸榮秀,歐陽超明,楊輝,朱璐聞. 計算機與應用化學. 2013(10)
[8]全局缺陷和局部缺陷的FPC檢測算法研究[J]. 孔令丹,譚勁,褚娜. 中國計量學院學報. 2012(03)
[9]基于圖像處理和支持向量機的初烤煙葉顏色特征區(qū)域分類[J]. 潘治利,祁萌,魏春陽,李鋒,張仕祥,王建偉,過偉民,艾志錄. 作物學報. 2012(02)
[10]基于彩色圖像特征的銅成分軟測量模型[J]. 張宏偉,宋執(zhí)環(huán). 上海交通大學學報. 2011(08)
博士論文
[1]基于圖像分析的廢雜銅熔煉過程控制[D]. 張宏偉.浙江大學 2014
[2]FPC外觀缺陷自動光學檢測關鍵技術研究[D]. 黃杰賢.華南理工大學 2012
[3]基于小波的紋理分析及其在FPC金面缺陷檢測中的應用[D]. 王慶香.華南理工大學 2011
碩士論文
[1]高密度柔性基板視覺檢測中的圖像分割與圓孔檢測技術研究[D]. 陳緒超.華南理工大學 2018
[2]高密度集成電路超薄柔性基板的精密顯微成像檢測系統(tǒng)[D]. 李翼.華南理工大學 2018
[3]高密度柔性基板視覺檢測中的幾個關鍵技術研究[D]. 林暢赫.華南理工大學 2017
[4]基于機器視覺FPC缺陷檢測系統(tǒng)的研究與應用[D]. 原振方.湖北工業(yè)大學 2016
[5]基于顯微視覺的柔性基板檢測系統(tǒng)及關鍵技術研究[D]. 呂斯俊.華南理工大學 2016
[6]柔性印刷線路板缺陷檢測方法研究[D]. 姚雙.沈陽工業(yè)大學 2016
[7]大幅面柔性印刷線路板缺陷在線視覺檢測系統(tǒng)[D]. 劉曉婷.沈陽工業(yè)大學 2016
[8]FPC光學缺陷檢測平臺中的關鍵圖像處理技術[D]. 陳澤武.華南理工大學 2015
[9]柔性印刷電路板缺陷檢測系統(tǒng)研究[D]. 何繼賢.華南理工大學 2015
[10]基于顏色特征的皮革分類方法研究[D]. 趙海.浙江工業(yè)大學 2015
本文編號：3587689
【文章來源】：華南理工大學廣東省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁數(shù)】：68 頁
【學位級別】：碩士
【部分圖文】：
基于精密顯微視覺的FICS檢測系統(tǒng)實物圖
改進后的二代機實物圖
b 灰度直方圖 系統(tǒng)采集圖像及其特征圖自適應閾值的銅箔表面快速分割方法。針對顏色分割方法，并取得了一定的分割效果。但，本人進一步提出了一種基于單高斯模型（Sing氧化缺陷檢測算法，能快速檢測出氧化缺陷，的氧化區(qū)域，設計一種基于 8 維顏色特征的氧。算法分為離線建模與在線監(jiān)測，具體流程圖在線監(jiān)測采集待檢測FICS圖像銅箔分割顏色建模
【參考文獻】：
期刊論文
[1]深度強化學習進展:從AlphaGo到AlphaGo Zero[J]. 唐振韜,邵坤,趙冬斌,朱圓恒. 控制理論與應用. 2017(12)
[2]基于骨架特征的柔性電路板缺陷檢測方法[J]. 苑瑋琦,姚雙. 計算機應用. 2016(S1)
[3]柔性技術成為搶占可穿戴設備紅海市場之關鍵[J]. 陳世金. 電子科學技術. 2016(02)
[4]一種FPC缺陷視覺檢測方法[J]. 孫國棟,楊林杰,張楊. 自動化儀表. 2015(12)
[5]基于紋理特征的撓性印制電路板焊盤缺陷檢測[J]. 楊冬濤,黃杰賢,龔昌來,張學成. 計算機測量與控制. 2015(02)
[6]撓性覆銅板行業(yè)與市場現(xiàn)況調(diào)查[J]. 祝大同. 覆銅板資訊. 2014 (02)
[7]HSI顏色模型在鐠釹組分含量檢測中的應用[J]. 陸榮秀,歐陽超明,楊輝,朱璐聞. 計算機與應用化學. 2013(10)
[8]全局缺陷和局部缺陷的FPC檢測算法研究[J]. 孔令丹,譚勁,褚娜. 中國計量學院學報. 2012(03)
[9]基于圖像處理和支持向量機的初烤煙葉顏色特征區(qū)域分類[J]. 潘治利,祁萌,魏春陽,李鋒,張仕祥,王建偉,過偉民,艾志錄. 作物學報. 2012(02)
[10]基于彩色圖像特征的銅成分軟測量模型[J]. 張宏偉,宋執(zhí)環(huán). 上海交通大學學報. 2011(08)
博士論文
[1]基于圖像分析的廢雜銅熔煉過程控制[D]. 張宏偉.浙江大學 2014
[2]FPC外觀缺陷自動光學檢測關鍵技術研究[D]. 黃杰賢.華南理工大學 2012
[3]基于小波的紋理分析及其在FPC金面缺陷檢測中的應用[D]. 王慶香.華南理工大學 2011
碩士論文
[1]高密度柔性基板視覺檢測中的圖像分割與圓孔檢測技術研究[D]. 陳緒超.華南理工大學 2018
[2]高密度集成電路超薄柔性基板的精密顯微成像檢測系統(tǒng)[D]. 李翼.華南理工大學 2018
[3]高密度柔性基板視覺檢測中的幾個關鍵技術研究[D]. 林暢赫.華南理工大學 2017
[4]基于機器視覺FPC缺陷檢測系統(tǒng)的研究與應用[D]. 原振方.湖北工業(yè)大學 2016
[5]基于顯微視覺的柔性基板檢測系統(tǒng)及關鍵技術研究[D]. 呂斯俊.華南理工大學 2016
[6]柔性印刷線路板缺陷檢測方法研究[D]. 姚雙.沈陽工業(yè)大學 2016
[7]大幅面柔性印刷線路板缺陷在線視覺檢測系統(tǒng)[D]. 劉曉婷.沈陽工業(yè)大學 2016
[8]FPC光學缺陷檢測平臺中的關鍵圖像處理技術[D]. 陳澤武.華南理工大學 2015
[9]柔性印刷電路板缺陷檢測系統(tǒng)研究[D]. 何繼賢.華南理工大學 2015
[10]基于顏色特征的皮革分類方法研究[D]. 趙海.浙江工業(yè)大學 2015
本文編號：3587689
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