發(fā)布時(shí)間：2022-01-11 01:14

　　當(dāng)器件特征尺寸不斷微縮至深納米時(shí),短溝道效應(yīng)嚴(yán)重惡化了傳統(tǒng)平面MOSFET器件的性能,非平面鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管（FinFET）成為了20納米工藝節(jié)點(diǎn)以下普遍采用的器件。隨著集成電路工藝技術(shù)持續(xù)進(jìn)步,FinFET結(jié)構(gòu)尺寸縮減進(jìn)一步受到限制,環(huán)柵場(chǎng)效應(yīng)晶體管（GAAFET）因其強(qiáng)柵控能力以及良好的短溝道抑制能力被廣泛認(rèn)為在5納米工藝節(jié)點(diǎn)以下將取代FinFET。與此同時(shí),可靠性問(wèn)題一直是制約納米器件和電路性能的關(guān)鍵,GAAFET的新結(jié)構(gòu)和新工藝將會(huì)使得其可靠性出現(xiàn)新的特征。因此,研究GAAFET器件的可靠性并分析其失效機(jī)理對(duì)高性能、高可靠性集成電路設(shè)計(jì)至關(guān)重要。本文在分析深納米級(jí)FinFET和GAAFET器件性能基礎(chǔ)上,對(duì)GAAFET器件的NBTI和HCI效應(yīng)進(jìn)行了深入研究。論文主要工作如下:1)采用Sentaurus TCAD軟件比較分析了5納米和7納米工藝節(jié)點(diǎn)下FinFET和GAAFET器件的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)特性以及其可靠性特性。結(jié)果表明,增加GAAFET垂直堆疊的納米線通道數(shù)可將器件驅(qū)動(dòng)電流從12.844μA提高到40.318μA,DIBL和SS分別從47.11 mV/V和76.58 mV/d... 

【文章來(lái)源】：華東師范大學(xué)上海市 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：83 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

垂直堆疊的納米線GAAFET器件工藝流程圖

9表中num代表GAAFET納米線通道數(shù)。在相同工藝節(jié)點(diǎn)，F(xiàn)inFET和GAAFET器件總等效高度相同。GAAFET和FinFET器件橫向截面圖如圖2.2所示。在給定的縮放長(zhǎng)度下，通過(guò)調(diào)整GAAFET器件的溝道寬Wsi和溝道高Hsi來(lái)改變納米線的寬高比AR=Wsi/Hsi。本章仿真的器件結(jié)構(gòu)均遵循ITRS結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)。兩種工藝節(jié)點(diǎn)下器件的源漏極摻雜、溝道摻雜均相同分別為2e20cm-3、1e15cm-3，Spacer材料和柵電極材料也相同分別為Si3N4和TiN。不同工藝節(jié)點(diǎn)下不同器件結(jié)構(gòu)的Ioff均小于100nA。表2.1器件結(jié)構(gòu)參數(shù)器件結(jié)構(gòu)參數(shù)正方形GAA圓形GAA矩形GAAFinFET工藝節(jié)點(diǎn)7nm5nm7nm5nm7nm5nm7nm5nmPitch(nm)555555//Pitch_Z(nm)55555555Wsi(nm)76761212.53.773.3Hsi(nm)767654num*(pitch+HGAA_si)num*(pitch+HGAA_si)Vdd（V）0.70.650.70.650.70.650.70.65圖2.2（a）FinFET；（b）納米線橫截面形狀為正方形、（c）圓形和（d）矩形GAAFET器件結(jié)構(gòu)的二維截面圖為了確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，本文對(duì)比了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)[56]和TCAD仿真模擬的

10Vds=50mV時(shí)轉(zhuǎn)移特性曲線如圖2.3所示。對(duì)比的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)來(lái)源于與本文具有相同溝道長(zhǎng)度、摻雜濃度、柵氧化層厚度、縮放長(zhǎng)度和納米線截面形狀均為方形的GAAFET。調(diào)整了器件的金屬功函數(shù)和高斯摻雜分布使得n型GAAFET器件Vds=50mV時(shí)的轉(zhuǎn)移特性曲線最終接近實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。圖2.3GAAFETIds-Vgs仿真曲線和實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的對(duì)比圖2.4展示了本文仿真的7nm節(jié)點(diǎn)n型GAAFET線性區(qū)轉(zhuǎn)移特性曲線與5~7納米節(jié)點(diǎn)納米線形狀為正方形的n型GAAFET與p型GAAFET的線性區(qū)和飽和區(qū)的Ids-Vgs特性。從圖中可看出5納米工藝節(jié)點(diǎn)的GAAFET器件具有更高的歸一化電流。圖2.45~7納米節(jié)點(diǎn)n型和p型GAAFET在（a）線性坐標(biāo)和（b）對(duì)數(shù)坐標(biāo)中的Ids-Vgs曲線圖2.5展示了5納米和7納米工藝節(jié)點(diǎn)下垂直堆疊的正方形橫截面納米線GAAFET器件通道數(shù)與亞閾值擺幅（SS）以及漏致勢(shì)壘下降（DIBL）的關(guān)系。其中，SS從器件的飽和區(qū)特性曲線中提齲從圖中可以看出，GAAFET結(jié)構(gòu)在5納米工藝節(jié)點(diǎn)下具有更低的DIBL和SS，且隨著納米線垂直堆疊通道數(shù)增多，

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]中科院“Post-FinFET”納米線器件集成研究獲進(jìn)展[J]. 科大.  軍民兩用技術(shù)與產(chǎn)品. 2015(19)
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博士論文
[1]低開銷高可靠性電源門控SRAM設(shè)計(jì)[D]. 黃平.國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2013



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