飛秒激光曝光PTR玻璃機(jī)理與應(yīng)用研究
發(fā)布時(shí)間:2022-01-10 04:24
飛秒激光由于具備超短脈寬和超高峰值功率等極端物理?xiàng)l件,可誘導(dǎo)產(chǎn)生一系列不同于傳統(tǒng)激光器與物質(zhì)相互作用時(shí)的實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象,這些新效應(yīng)和新現(xiàn)象極大豐富了人們對(duì)光與物質(zhì)相互作用的認(rèn)知,并促進(jìn)了激光領(lǐng)域的發(fā)展。同時(shí),通過聚焦飛秒激光可以空間選擇性地調(diào)制透明材料的局部折射率,從而實(shí)現(xiàn)復(fù)雜三維嵌入式光路的開發(fā)。光熱敏折變(Photo-thermo refractive,PTR)玻璃是制備衍射光學(xué)器件、微流器件、微光機(jī)電系統(tǒng)等常用的多功能基底。本文基于光學(xué)與光子學(xué)領(lǐng)域的實(shí)際需求,利用飛秒激光選擇性曝光材料,結(jié)合后續(xù)熱處理工藝,制備了高性能高質(zhì)量光學(xué)器件,為集成器件的設(shè)計(jì)與制造提供了新思路,同時(shí)也促進(jìn)了PTR玻璃器件的應(yīng)用拓展。主要研究?jī)?nèi)容與成果如下:研究了脈沖激光與PTR玻璃的相互作用特征,通過對(duì)光功率、脈沖寬度和熱處理時(shí)間等參數(shù)的聯(lián)合控制,實(shí)現(xiàn)了對(duì)激光誘導(dǎo)生成的納米結(jié)晶顆粒密度分布與尺寸的有效調(diào)控。通過掃描電鏡分析得出,曝光區(qū)域內(nèi)生成的納米結(jié)晶顆粒的密度分布與聚焦于PTR玻璃內(nèi)部的飛秒激光能量密度分布密切相關(guān),而納米結(jié)晶顆粒的尺寸與寫入激光參數(shù)無關(guān)。隨著寫入功率的增大,納米顆粒分布由分散式轉(zhuǎn)變?yōu)槊芗?...
【文章來源】:西北工業(yè)大學(xué)陜西省 211工程院校 985工程院校
【文章頁數(shù)】:128 頁
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【部分圖文】:
DBR和DFB固態(tài)激光器示意圖:(a)DBR激光器;(b)DFB激光器[45]
圖 1-2 啁啾脈沖放大技術(shù)的基本原理圖[49]Fig. 1-2 Schematic of fundamental principle of chirped pulse amplification[49]伴隨光纖產(chǎn)業(yè)的提升,CPA 技術(shù)也已擴(kuò)展至光纖激光放大,該技術(shù)提升了主振[55-59]
2003 年,Nolte 使用低重復(fù)頻率的飛秒脈沖激光在石英玻璃中刻寫了 1 ×3 分束器,第一次實(shí)現(xiàn)了飛秒激光直寫三維光子結(jié)構(gòu)。如圖1-3所示,該分束器的三臂間隔為120°[67]。圖 1-3 (a) 1 ×3 分束器示意圖;(b)分束器出口處近場(chǎng)光強(qiáng)度分布圖;(c)分束器出口處近場(chǎng)光強(qiáng)度分布仿真圖[67]Fig. 1-3 (a) Schematic of 1 × 3 beam splitter; (b) Near-field intensity distribution;(c) Calculated near-field intensity distribution[67]另外,使用飛秒脈沖激光直寫技術(shù)可以在摻雜稀土離子或過渡族離子的玻璃基質(zhì)內(nèi)空間選擇性地制備具有增益功能的光波導(dǎo)。2004 年意大利科研團(tuán)隊(duì)利用飛秒激光在摻雜有鉺(Er)和鐿(Yb)的磷酸鹽玻璃中制備了長(zhǎng) 20 cm的光學(xué)增益波導(dǎo),在波導(dǎo)的前后兩端采用 975 nm 的半導(dǎo)體激光器進(jìn)行雙向泵浦,可以得到波長(zhǎng)為 1533.5 nm、最高輸出功率 1.7 mW 的紅外輸出光[68]。2007 年,Psaila 使用飛秒脈沖激光在摻 Yb 的硫化物介質(zhì)中制備了波導(dǎo),如圖 1-4 所示,在中心波長(zhǎng)為 1500 nm、譜寬為 100 nm 的泵浦光作用下
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]Wavelength combining with volume Bragg gratings in photo-thermo-refractive glasses[J]. 張翔,高帆,封建勝,鄒快盛,熊寶星,袁孝. Chinese Optics Letters. 2014(03)
[2]基于光熱敏折變玻璃的透射型體布拉格光柵角度選擇性研究[J]. 吳青晴,張翔,封建勝,吳尚,張桂菊,鄒快盛,袁孝. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2012(12)
[3]光熱敏折變玻璃及其布拉格體光柵特性研究[J]. 熊寶星,袁孝,張翔,封建勝,張桂菊,鄒快盛. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2012(08)
[4]基于透射型體布拉格光柵衍射效率的研究[J]. 李松柏,楊敏. 西南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2011(09)
[5]透鏡軸棱錐產(chǎn)生近似無衍射貝塞爾光束[J]. 盧文和,吳逢鐵,鄭維濤. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2010(06)
[6]基于透射體布拉格光柵頻譜組束的研究[J]. 占生寶,趙尚弘,胥杰,吳卓亮,李云霞. 光電子.激光. 2008(03)
[7]衍射理論對(duì)局域空心光束及無衍射光束重建的描述[J]. 劉嵐,吳逢鐵. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2008(02)
[8]體全息光柵外腔半導(dǎo)體激光器列陣的光譜特性[J]. 康治軍,王智勇,劉學(xué)勝,左鐵釧. 半導(dǎo)體光電. 2007(06)
[9]納秒無衍射貝塞耳光脈沖參量的分析與測(cè)定[J]. 吳逢鐵,陳云彬,郭東棟,張建榮. 中國(guó)激光. 2007(08)
[10]光軸方向任意時(shí)光折變晶體中體全息光柵的衍射性質(zhì)[J]. 閆愛民,劉立人,劉德安,周煜,欒竹. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2006(03)
博士論文
[1]飛秒激光光刻波導(dǎo)技術(shù)及其應(yīng)用研究[D]. 白晶.中國(guó)科學(xué)院研究生院(西安光學(xué)精密機(jī)械研究所) 2014
[2]摻雜二氧化硅玻璃光敏性及光纖光柵器件研究[D]. 陳光輝.復(fù)旦大學(xué) 2005
碩士論文
[1]光熱敏微晶玻璃研究[D]. 張曉亮.長(zhǎng)春理工大學(xué) 2010
[2]光致熱敏折射率玻璃的制備及其特性研究[D]. 張昱.華中科技大學(xué) 2008
[3]摻鍺石英光纖紫外光敏性的研究[D]. 李劍芝.武漢理工大學(xué) 2004
本文編號(hào):3580046
【文章來源】:西北工業(yè)大學(xué)陜西省 211工程院校 985工程院校
【文章頁數(shù)】:128 頁
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【部分圖文】:
DBR和DFB固態(tài)激光器示意圖:(a)DBR激光器;(b)DFB激光器[45]
圖 1-2 啁啾脈沖放大技術(shù)的基本原理圖[49]Fig. 1-2 Schematic of fundamental principle of chirped pulse amplification[49]伴隨光纖產(chǎn)業(yè)的提升,CPA 技術(shù)也已擴(kuò)展至光纖激光放大,該技術(shù)提升了主振[55-59]
2003 年,Nolte 使用低重復(fù)頻率的飛秒脈沖激光在石英玻璃中刻寫了 1 ×3 分束器,第一次實(shí)現(xiàn)了飛秒激光直寫三維光子結(jié)構(gòu)。如圖1-3所示,該分束器的三臂間隔為120°[67]。圖 1-3 (a) 1 ×3 分束器示意圖;(b)分束器出口處近場(chǎng)光強(qiáng)度分布圖;(c)分束器出口處近場(chǎng)光強(qiáng)度分布仿真圖[67]Fig. 1-3 (a) Schematic of 1 × 3 beam splitter; (b) Near-field intensity distribution;(c) Calculated near-field intensity distribution[67]另外,使用飛秒脈沖激光直寫技術(shù)可以在摻雜稀土離子或過渡族離子的玻璃基質(zhì)內(nèi)空間選擇性地制備具有增益功能的光波導(dǎo)。2004 年意大利科研團(tuán)隊(duì)利用飛秒激光在摻雜有鉺(Er)和鐿(Yb)的磷酸鹽玻璃中制備了長(zhǎng) 20 cm的光學(xué)增益波導(dǎo),在波導(dǎo)的前后兩端采用 975 nm 的半導(dǎo)體激光器進(jìn)行雙向泵浦,可以得到波長(zhǎng)為 1533.5 nm、最高輸出功率 1.7 mW 的紅外輸出光[68]。2007 年,Psaila 使用飛秒脈沖激光在摻 Yb 的硫化物介質(zhì)中制備了波導(dǎo),如圖 1-4 所示,在中心波長(zhǎng)為 1500 nm、譜寬為 100 nm 的泵浦光作用下
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]Wavelength combining with volume Bragg gratings in photo-thermo-refractive glasses[J]. 張翔,高帆,封建勝,鄒快盛,熊寶星,袁孝. Chinese Optics Letters. 2014(03)
[2]基于光熱敏折變玻璃的透射型體布拉格光柵角度選擇性研究[J]. 吳青晴,張翔,封建勝,吳尚,張桂菊,鄒快盛,袁孝. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2012(12)
[3]光熱敏折變玻璃及其布拉格體光柵特性研究[J]. 熊寶星,袁孝,張翔,封建勝,張桂菊,鄒快盛. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2012(08)
[4]基于透射型體布拉格光柵衍射效率的研究[J]. 李松柏,楊敏. 西南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2011(09)
[5]透鏡軸棱錐產(chǎn)生近似無衍射貝塞爾光束[J]. 盧文和,吳逢鐵,鄭維濤. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2010(06)
[6]基于透射體布拉格光柵頻譜組束的研究[J]. 占生寶,趙尚弘,胥杰,吳卓亮,李云霞. 光電子.激光. 2008(03)
[7]衍射理論對(duì)局域空心光束及無衍射光束重建的描述[J]. 劉嵐,吳逢鐵. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2008(02)
[8]體全息光柵外腔半導(dǎo)體激光器列陣的光譜特性[J]. 康治軍,王智勇,劉學(xué)勝,左鐵釧. 半導(dǎo)體光電. 2007(06)
[9]納秒無衍射貝塞耳光脈沖參量的分析與測(cè)定[J]. 吳逢鐵,陳云彬,郭東棟,張建榮. 中國(guó)激光. 2007(08)
[10]光軸方向任意時(shí)光折變晶體中體全息光柵的衍射性質(zhì)[J]. 閆愛民,劉立人,劉德安,周煜,欒竹. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2006(03)
博士論文
[1]飛秒激光光刻波導(dǎo)技術(shù)及其應(yīng)用研究[D]. 白晶.中國(guó)科學(xué)院研究生院(西安光學(xué)精密機(jī)械研究所) 2014
[2]摻雜二氧化硅玻璃光敏性及光纖光柵器件研究[D]. 陳光輝.復(fù)旦大學(xué) 2005
碩士論文
[1]光熱敏微晶玻璃研究[D]. 張曉亮.長(zhǎng)春理工大學(xué) 2010
[2]光致熱敏折射率玻璃的制備及其特性研究[D]. 張昱.華中科技大學(xué) 2008
[3]摻鍺石英光纖紫外光敏性的研究[D]. 李劍芝.武漢理工大學(xué) 2004
本文編號(hào):3580046
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