飛秒激光憑借其超短脈寬和極高峰值功率,在微納加工中發(fā)揮了重要的優(yōu)勢(shì),而飛秒激光的加工效率制約其在工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用。近年來,研究者成功將空間光調(diào)制器應(yīng)用于飛秒激光加工,實(shí)現(xiàn)飛秒激光加工效率和靈活性的進(jìn)一步提高。本文綜述了近年來硅基液晶空間光調(diào)制器在飛秒激光加工領(lǐng)域的研究進(jìn)展,主要包括多焦點(diǎn)并行加工、結(jié)構(gòu)光場(chǎng)并行加工和矢量光場(chǎng)加工,分析了三種方法的優(yōu)勢(shì)和不足。并從光場(chǎng)均勻性和衍射效率兩個(gè)方面,討論了近年來對(duì)光場(chǎng)質(zhì)量的研究。最后探討了該領(lǐng)域目前存在的問題,并對(duì)未來提出了展望。 

【文章來源】：激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2020,57(11)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：20 頁

【部分圖文】：

多焦點(diǎn)并行加工微透鏡陣列電鏡圖（SEM)[1]。（a）三角形分布微透鏡陣列；（b）圖（a）以45°觀察的局部圖像；（c）六邊形分布微透鏡陣列；（d)4×4微透鏡陣列

圖1 多焦點(diǎn)并行加工微透鏡陣列電鏡圖（SEM)[1]。（a）三角形分布微透鏡陣列；（b）圖（a）以45°觀察的局部圖像；（c）六邊形分布微透鏡陣列；（d)4×4微透鏡陣列圖3 三焦點(diǎn)加工正弦結(jié)構(gòu)電鏡圖[5]

圖2 多焦點(diǎn)在微通道內(nèi)部集成不同微過濾器及過濾器微孔尺寸與激光能量的關(guān)系[3]。（a)(b）五焦點(diǎn)和七焦點(diǎn)集成微過濾器示意圖；（c)(d）五焦點(diǎn)和七焦點(diǎn)在微通道集成微過濾器電鏡圖；（e）激光功率與微過濾器孔徑的關(guān)系2.2 燒蝕加工

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]飛秒激光高效并行微孔加工技術(shù)研究[J]. 張駱,翟中生,呂清花,陳波,劉頓.  湖北工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào). 2018(04)
[2]水凝膠支架的飛秒激光全息加工[J]. 潘登,李家文,楊亮,胡衍雷,吳東,黃文浩,褚家如.  光學(xué)精密工程. 2017(09)
[3]基于空間光調(diào)制器的飛秒并行加工方法研究[J]. 胡勇濤,翟中生,呂清花,陳列,婁德元,楊奇彪,Peter Bennett,劉頓.  應(yīng)用光學(xué). 2016(02)
[4]基于空間光調(diào)制器的光束偏振態(tài)控制方法研究[J]. 翟中生,胡勇濤,呂清花,陳列,婁德元,楊奇彪,Peter Bennett,劉頓.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2016(03)
[5]飛秒激光全息并行加工中的多焦點(diǎn)均一性[J]. 蘇亞輝,汪金禮,楊亮,李家文,黃文浩.  光學(xué)精密工程. 2013(08)

博士論文
[1]基于空間光調(diào)制器的飛秒激光加工微光學(xué)元件技術(shù)研究[D]. 曹小文.吉林大學(xué) 2019
[2]基于空間光調(diào)制技術(shù)的高速高分辨飛秒激光加工[D]. 張晨初.中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2016
[3]基于空間光調(diào)制器的飛秒激光并行加工技術(shù)研究[D]. 楊亮.中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2015
[4]飛秒矢量光場(chǎng)空間調(diào)控及其在微納加工中的應(yīng)用[D]. 婁凱.南開大學(xué) 2013

碩士論文
[1]不同偏振光對(duì)FPC打孔加工技術(shù)研究[D]. 郭釗.湖北工業(yè)大學(xué) 2017
[2]飛秒激光可控彎曲結(jié)構(gòu)加工新方法及其應(yīng)用[D]. 劉毅.北京理工大學(xué) 2016
[3]飛秒激光制備單晶硅表面微結(jié)構(gòu)研究[D]. 周強(qiáng).西安郵電大學(xué) 2013



本文編號(hào)：3493477