磁電聲表面波（MESAW）傳感器以其巨大的實用價值越來越受到人們的重視,在科研、生產(chǎn)、軍事等領(lǐng)域?qū)l(fā)揮越來越重要的作用。磁電聲表面波傳感器通過磁敏感薄膜（或襯底）改變SAW的諧振頻率,具有靈敏度高、體積小、易批量生產(chǎn)等優(yōu)點。本論文主要開展了以下三方面的工作:首先,設(shè)計并制作了一種單端口諧振型的磁電聲表面波傳感器。該傳感器主要由四部分組成,分別是聲表面波諧振器、絕緣層、磁敏感層和保護層,其中磁敏感層采用具有巨楊氏模量效應(yīng)的FeCoSiB薄膜。通過優(yōu)化FeCoSiB/SiO₂薄膜的軟磁性能與厚度,成功使磁敏傳感器的靈敏度（△f/H）提升了2個數(shù)量級,達到41900 Hz/Oe（419 Hz/μT）,最終制得的磁電聲表面波傳感器的諧振頻率為289.37 MHz,Q值為1205.71。其次,設(shè)計了一種具有高速、高精度、低功耗特性,適應(yīng)陣列化傳感器需求的信號檢測系統(tǒng)用于檢測MESAW傳感器的諧振頻率。該系統(tǒng)由五部分組成:起振電路、濾波器、分頻部分、整形器和數(shù)據(jù)處理部分。系統(tǒng)包含兩支信號通路:測量通路與參考通路,這兩支信號通路中除起振電路中的SAW傳感器外,其余各部分均相同... 

【文章來源】：電子科技大學四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：82 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

武器裝備磁異常變化規(guī)律

各類磁傳感器分辨力水平及潛力[20,21]

霍爾效應(yīng)原理圖

【參考文獻】：
期刊論文
[1]基于ScAlN/FeGa結(jié)構(gòu)的磁電聲表面波諧振器[J]. 姜建利,楊雪梅,劉婉,白飛明.  壓電與聲光. 2019(01)
[2]穩(wěn)態(tài)磁場對真核生物細胞骨架的影響[J]. 張磊,李志元,張欣.  科學通報. 2019(08)
[3]基于FPGA的等精度多功能頻率計的設(shè)計[J]. 周松江,王立華,高世皓,張恒.  儀表技術(shù). 2017(03)
[4]磁傳感器技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展[J]. 胡佳飛,李裴森,于洋,田武剛,陳棣湘,潘孟春.  國防科技. 2015(04)
[5]SAW生物傳感器掃頻檢測系統(tǒng)[J]. 張峰,李雙明,吳志強,蘇巖,朱欣華.  自動化儀表. 2015(06)
[6]現(xiàn)代傳感技術(shù)在信息科學中的地位[J]. 張開遜.  工業(yè)計量. 2006(01)
[7]聲表面波器件的研究進展[J]. 李暉,潘峰.  真空科學與技術(shù). 2001(05)
[8]聲表面波用基片材料[J]. 郝俊杰,徐廷獻.  硅酸鹽通報. 2000(06)
[9]磁通門技術(shù)及其應(yīng)用[J]. 郭愛煌,傅君眉.  傳感器技術(shù). 2000(04)
[10]磁通門式磁力儀測磁傾角的方位誤差[J]. 顧子明,黃鶴齡.  地球物理學報. 1979(01)

碩士論文
[1]聲表面波（SAW）傳感器信號檢測電路的設(shè)計與研究[D]. 潘航.南京理工大學 2016
[2]高靈敏度磁電聲表面波磁場傳感器研究[D]. 黃亮.電子科技大學 2015
[3]聲表面波氣體傳感器陣列信號采集電路設(shè)計[D]. 李川.電子科技大學 2012



本文編號：3444074