808nm高功率半導體激光器封裝熱特性研究
發(fā)布時間:2021-10-18 12:08
半導體激光器在激光泵浦、工業(yè)、醫(yī)療、軍事等領域得到廣泛應用。隨著高功率半導體激光器輸出功率的不斷提高,產生的熱量也逐漸增多,熱問題成為相關科研人員研究的焦點。如何提高輸出功率、降低閾值電流、減少熱量的產生,成為重要的研究方向。本論文對808nm波段高功率半導體激光器單管器件,通過ANSYS Workbench軟件進行穩(wěn)態(tài)熱分析及熱應力分析。本論文的主要研究內容如下:首先,針對C-mount封裝熱沉結構,通過添加新型Si C材料作為過渡熱沉。利用ANSYS軟件對未添加過渡熱沉結構和添加Si C過渡熱沉結構,進行理論模擬及對比分析,優(yōu)化結構參數,確定最佳的過渡熱沉尺寸。理論模擬結果表明,添加Si C過渡熱沉單管器件結溫及熱阻降低,熱應力減小,輸出功率明顯提高。其次,針對雙孔大型無氧銅熱沉結構對高功率單管器件進行封裝。利用ANSYS軟件分析焊料層厚度對激光器散熱效果的影響,確定最佳結構參數。以此焊料厚度,分別模擬Al N、Wu Cu兩種過渡熱沉材料對激光器熱特性的改善,模擬結果表明添加Al N過渡熱器件的熱阻低、應力小、輸出功率高。最后,根據理論模擬結果及優(yōu)化設計尺寸,分別對兩種熱沉結構單管...
【文章來源】:長春理工大學吉林省
【文章頁數】:69 頁
【學位級別】:碩士
【部分圖文】:
圖1.1粒子數反轉示意圖
第1章緒論2能級空穴產生光子,產生光子的特征值要與入射光子一致,從而實現(xiàn)光放大,圖1.1為粒子數反轉示意圖。圖1.1粒子數反轉示意圖(2)諧振腔諧振腔是介質波導腔,主要作用是產生與維持光放大,改變激光的方向性,使受激輻射達到多次反饋,形成激光振蕩的腔體稱之為諧振腔。法布里-珀羅諧振腔如圖1.2,作為半導體激光器常用的腔型,是由兩個反射鏡構成[3]。圖1.2法布里-珀羅諧振腔示意圖諧振腔為激光輸出產生穩(wěn)定的振蕩條件(相位條件),只有滿足特定頻率的光,才可以在兩個反射面中來回進行反射。根據公式:2mlnλ=(1-1)式中:l為腔長,m為縱膜的數量,λ為波長,n為半導體材料的折射率。半波長的整數倍與共振腔腔長相等的駐波可以存在腔內,其余的波會在腔內反復傳播損耗殆荊(3)增益與閾值條件如果想要在穩(wěn)定振蕩輸出的環(huán)境下實現(xiàn)光放大,激光器內部的工作介質就必然需要對入射光供給一定的增益,統(tǒng)稱為閾值增益。當達到閾值增益時,注入的電流稱之為閾值電流。當激光器進行增益時,增益數值需要大于或者等于內部與外部損耗的總時,激光器會建立起穩(wěn)定的振蕩效果[4],表達公式為:gthiout≥g=a+a(1-2)式中:g為增益數值,thg為損耗總和,ia為內部有源區(qū)進行光子吸收和光子散射的損耗,outa為外部損耗。
第1章緒論31.2.2高功率半導體激光器發(fā)展現(xiàn)狀從上個世紀60年代至今,半導體激光器逐漸開始進入人們的視線,并且一直研究至今[5],圖1.3為半導體激光器結構簡圖。圖1.3半導體激光器結構簡圖目前在半導體行業(yè)中,大家關注的問題是如何提高電光轉換效率、輸出功率以及相關性能參數。近年來,在800~1100nm的紅外波段,電光轉換效率、輸出功率有明顯的提高,并且808nm高功率半導體激光同樣成為了國內外研究的重點。表1.1是近年來國外808nm高功率半導體激光器發(fā)展現(xiàn)狀。表1.1近年來國外808nm高功率半導體激光器發(fā)展現(xiàn)狀年份研究單位波長nm類型功率電光轉換效率2007nLight808bar55W71.5(at15℃)2008FBH808bar81W67.7(at15℃)2016Coherrnt808bar60W63%(at60W)2009Coherent808單管25W61%(C-mount)63%(COS)2007年,美國nLight激光公司研制出的808nm半導體激光器陣列。以傳導冷卻型進行封裝在15℃工作溫度下,達到55W輸出功率,71.5%電光轉換效率。迄今為止,這是光電轉換率所能做到的最高標準[6]。2008年,F(xiàn)BH公司研制出的新型808nm激光陣列。在15℃工作溫度下功率達到81W,電光轉換效率為67.7%[7]。2009年,nLight激光公司研制出的808nm單管半導體激光器。最大功率達到25W,在C-mount封裝下轉換功率可為61%,以COS型式封裝轉換功率為63%[8]。2016年,世界第一大激光器公司Coherent研制出的808nm激光陣列。僅18%的填充因子,連續(xù)在25℃工作溫度下,達到60W輸出功率,63%電光轉換效率,另外激光器壽命長達5萬小時[9]。雖然近年來國外的多家公司,對808nm高功率半導體激光器的研究趨近成熟。但
【參考文獻】:
期刊論文
[1]大功率半導體激光器封裝熱應力研究[J]. 袁慶賀,井紅旗,仲莉,劉素平,馬驍宇. 中國激光. 2019(10)
[2]半導體激光器的物理特性分析及研究[J]. 張鵬. 激光雜志. 2018(12)
[3]碳化硅材料研究現(xiàn)狀與應用展望[J]. 王家鵬,賀東葛,趙婉云. 電子工業(yè)專用設備. 2018(04)
[4]半導體激光器波長溫度特性的建模與試驗研究[J]. 辛倩倩,萬熠,畢文波,張平清. 工具技術. 2017(12)
[5]碳化硅封裝高功率半導體激光器散熱性能研究[J]. 倪羽茜,井紅旗,孔金霞,王翠鸞,劉素平,馬驍宇. 中國激光. 2018(01)
[6]水平腔面發(fā)射半導體激光器研究進展[J]. 海一娜,鄒永剛,田錕,馬曉輝,王海珠,范杰,白云峰. 中國光學. 2017(02)
[7]高功率、高效率808nm半導體激光器陣列[J]. 王貞福,楊國文,吳建耀,宋克昌,李秀山,宋云菲. 物理學報. 2016(16)
[8]環(huán)境溫度對半導體激光器輸出功率的影響[J]. 何培文. 科技視界. 2016(07)
[9]大功率半導體激光器研究進展[J]. 王立軍,寧永強,秦莉,佟存柱,陳泳屹. 發(fā)光學報. 2015(01)
[10]高功率半導體巴條激光器的熱特性分析[J]. 李江,李超,徐昊,章強,周旻超. 發(fā)光學報. 2014(12)
碩士論文
[1]808nm高功率半導體激光器芯片研究[D]. 祁魯漢.陜西師范大學 2019
[2]基于ANSYS的半導體激光器熱特性研究[D]. 張曉磊.長春理工大學 2018
[3]852nm半導體激光器的工藝制備及其特性分析[D]. 廖翌如.北京工業(yè)大學 2017
[4]某型光纖激光器有限元熱分析與改進設計研究[D]. 彭興文.國防科學技術大學 2015
[5]TO-CAN封裝的半導體激光器的熱分析及溫控研究[D]. 韓文志.山東大學 2015
[6]半導體激光器熱特性分析研究[D]. 何海強.長春理工大學 2015
[7]高功率半導體激光器封裝熱特性的分析研究[D]. 王文.長春理工大學 2014
[8]半導體激光器的熱特性及封裝技術研究[D]. 何友軍.中國科學院研究生院(上海微系統(tǒng)與信息技術研究所) 2003
本文編號:3442773
【文章來源】:長春理工大學吉林省
【文章頁數】:69 頁
【學位級別】:碩士
【部分圖文】:
圖1.1粒子數反轉示意圖
第1章緒論2能級空穴產生光子,產生光子的特征值要與入射光子一致,從而實現(xiàn)光放大,圖1.1為粒子數反轉示意圖。圖1.1粒子數反轉示意圖(2)諧振腔諧振腔是介質波導腔,主要作用是產生與維持光放大,改變激光的方向性,使受激輻射達到多次反饋,形成激光振蕩的腔體稱之為諧振腔。法布里-珀羅諧振腔如圖1.2,作為半導體激光器常用的腔型,是由兩個反射鏡構成[3]。圖1.2法布里-珀羅諧振腔示意圖諧振腔為激光輸出產生穩(wěn)定的振蕩條件(相位條件),只有滿足特定頻率的光,才可以在兩個反射面中來回進行反射。根據公式:2mlnλ=(1-1)式中:l為腔長,m為縱膜的數量,λ為波長,n為半導體材料的折射率。半波長的整數倍與共振腔腔長相等的駐波可以存在腔內,其余的波會在腔內反復傳播損耗殆荊(3)增益與閾值條件如果想要在穩(wěn)定振蕩輸出的環(huán)境下實現(xiàn)光放大,激光器內部的工作介質就必然需要對入射光供給一定的增益,統(tǒng)稱為閾值增益。當達到閾值增益時,注入的電流稱之為閾值電流。當激光器進行增益時,增益數值需要大于或者等于內部與外部損耗的總時,激光器會建立起穩(wěn)定的振蕩效果[4],表達公式為:gthiout≥g=a+a(1-2)式中:g為增益數值,thg為損耗總和,ia為內部有源區(qū)進行光子吸收和光子散射的損耗,outa為外部損耗。
第1章緒論31.2.2高功率半導體激光器發(fā)展現(xiàn)狀從上個世紀60年代至今,半導體激光器逐漸開始進入人們的視線,并且一直研究至今[5],圖1.3為半導體激光器結構簡圖。圖1.3半導體激光器結構簡圖目前在半導體行業(yè)中,大家關注的問題是如何提高電光轉換效率、輸出功率以及相關性能參數。近年來,在800~1100nm的紅外波段,電光轉換效率、輸出功率有明顯的提高,并且808nm高功率半導體激光同樣成為了國內外研究的重點。表1.1是近年來國外808nm高功率半導體激光器發(fā)展現(xiàn)狀。表1.1近年來國外808nm高功率半導體激光器發(fā)展現(xiàn)狀年份研究單位波長nm類型功率電光轉換效率2007nLight808bar55W71.5(at15℃)2008FBH808bar81W67.7(at15℃)2016Coherrnt808bar60W63%(at60W)2009Coherent808單管25W61%(C-mount)63%(COS)2007年,美國nLight激光公司研制出的808nm半導體激光器陣列。以傳導冷卻型進行封裝在15℃工作溫度下,達到55W輸出功率,71.5%電光轉換效率。迄今為止,這是光電轉換率所能做到的最高標準[6]。2008年,F(xiàn)BH公司研制出的新型808nm激光陣列。在15℃工作溫度下功率達到81W,電光轉換效率為67.7%[7]。2009年,nLight激光公司研制出的808nm單管半導體激光器。最大功率達到25W,在C-mount封裝下轉換功率可為61%,以COS型式封裝轉換功率為63%[8]。2016年,世界第一大激光器公司Coherent研制出的808nm激光陣列。僅18%的填充因子,連續(xù)在25℃工作溫度下,達到60W輸出功率,63%電光轉換效率,另外激光器壽命長達5萬小時[9]。雖然近年來國外的多家公司,對808nm高功率半導體激光器的研究趨近成熟。但
【參考文獻】:
期刊論文
[1]大功率半導體激光器封裝熱應力研究[J]. 袁慶賀,井紅旗,仲莉,劉素平,馬驍宇. 中國激光. 2019(10)
[2]半導體激光器的物理特性分析及研究[J]. 張鵬. 激光雜志. 2018(12)
[3]碳化硅材料研究現(xiàn)狀與應用展望[J]. 王家鵬,賀東葛,趙婉云. 電子工業(yè)專用設備. 2018(04)
[4]半導體激光器波長溫度特性的建模與試驗研究[J]. 辛倩倩,萬熠,畢文波,張平清. 工具技術. 2017(12)
[5]碳化硅封裝高功率半導體激光器散熱性能研究[J]. 倪羽茜,井紅旗,孔金霞,王翠鸞,劉素平,馬驍宇. 中國激光. 2018(01)
[6]水平腔面發(fā)射半導體激光器研究進展[J]. 海一娜,鄒永剛,田錕,馬曉輝,王海珠,范杰,白云峰. 中國光學. 2017(02)
[7]高功率、高效率808nm半導體激光器陣列[J]. 王貞福,楊國文,吳建耀,宋克昌,李秀山,宋云菲. 物理學報. 2016(16)
[8]環(huán)境溫度對半導體激光器輸出功率的影響[J]. 何培文. 科技視界. 2016(07)
[9]大功率半導體激光器研究進展[J]. 王立軍,寧永強,秦莉,佟存柱,陳泳屹. 發(fā)光學報. 2015(01)
[10]高功率半導體巴條激光器的熱特性分析[J]. 李江,李超,徐昊,章強,周旻超. 發(fā)光學報. 2014(12)
碩士論文
[1]808nm高功率半導體激光器芯片研究[D]. 祁魯漢.陜西師范大學 2019
[2]基于ANSYS的半導體激光器熱特性研究[D]. 張曉磊.長春理工大學 2018
[3]852nm半導體激光器的工藝制備及其特性分析[D]. 廖翌如.北京工業(yè)大學 2017
[4]某型光纖激光器有限元熱分析與改進設計研究[D]. 彭興文.國防科學技術大學 2015
[5]TO-CAN封裝的半導體激光器的熱分析及溫控研究[D]. 韓文志.山東大學 2015
[6]半導體激光器熱特性分析研究[D]. 何海強.長春理工大學 2015
[7]高功率半導體激光器封裝熱特性的分析研究[D]. 王文.長春理工大學 2014
[8]半導體激光器的熱特性及封裝技術研究[D]. 何友軍.中國科學院研究生院(上海微系統(tǒng)與信息技術研究所) 2003
本文編號:3442773
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