以一維納米線和二維納米片為代表的微納半導(dǎo)體材料以其獨(dú)特的光電特性成為光電子材料研究的重要方向。其中基于單根納米線和單個(gè)納米片的原型電子器件制作及其光電響應(yīng)特性研究成為研究的熱點(diǎn)。在器件制作方面,電子束曝光因其較高的線寬精度,被廣泛應(yīng)用于微器件的加工,相對(duì)于電子束直寫技術(shù),激光直寫具有低成本、環(huán)境要求低等優(yōu)勢(shì);在器件光響應(yīng)特性方面,位置相關(guān)的光電流成像技術(shù)為研究分析微納光電子器件中的光生載流子傳輸、分離與復(fù)合過程、從而為進(jìn)一步優(yōu)化器件結(jié)構(gòu),提高器件光電轉(zhuǎn)換效率提供了一種性能測(cè)試方法。上述兩種方面均可通過光束移動(dòng)或位移臺(tái)移動(dòng)實(shí)現(xiàn),本論文主要以面向?qū)嶒?yàn)室微納器件制備與光電流位置成像測(cè)試需要,設(shè)計(jì)并搭建了一套基于二維振鏡的微區(qū)激光直寫與光電流掃描成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)相對(duì)與傳統(tǒng)位移臺(tái)方式的光電流掃描成像系統(tǒng)有更快的掃描速度。我們首先利用Myrio-1900設(shè)備的可編程重配I/O功能進(jìn)行LabVIEW編程完成對(duì)手柄控制,并實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化移動(dòng)觀察待測(cè)樣品。接著,通過LabVIEW程序控制二維振鏡進(jìn)行激光偏轉(zhuǎn),使光束在光刻膠表面的掃描,在優(yōu)化曝光參數(shù)的基礎(chǔ)上,在NA值為0.5的50倍物鏡以及樣品臺(tái)保持靜止下,... 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：73 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

二維材料的原子結(jié)構(gòu)圖

不同種類激光光刻示意圖

直角坐標(biāo)型激光直寫系統(tǒng)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]二維振鏡掃描系統(tǒng)調(diào)向誤差分析[J]. 陳志斌,范磊,肖文健,秦夢(mèng)澤,肖程,張冬曉.  應(yīng)用光學(xué). 2018(02)
[2]基于振鏡掃描方式的光學(xué)元件表面損傷檢測(cè)[J]. 郭亞晶,唐順興,姜秀青,朱寶強(qiáng),林尊琪.  光學(xué)學(xué)報(bào). 2017(06)
[3]基于二維振鏡掃描的激光眩目器光束整形研究[J]. 羅忠新,戰(zhàn)仁軍,賀志發(fā),朱光濤.  激光雜志. 2016(04)
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[6]上海光機(jī)所研制成功多路并行激光直寫系統(tǒng)[J].   光機(jī)電信息. 2011(01)
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[8]激光直寫技術(shù)制備SiO2-TiO2條形光波導(dǎo)工藝研究[J]. 李愛魁,王澤敏,劉家駿,曾曉雁.  激光技術(shù). 2008(03)
[9]極坐標(biāo)激光直寫技術(shù)制作微結(jié)構(gòu)[J]. 王多書,羅崇泰,陳燾,劉宏開,馬勉軍,黃良甫.  激光與紅外. 2006(07)
[10]激光直寫調(diào)焦系統(tǒng)特性及離焦應(yīng)用研究[J]. 梁宜勇,楊國(guó)光,孫戎.  浙江大學(xué)學(xué)報(bào)(工學(xué)版). 2005(02)

碩士論文
[1]基于激光直寫的TMDC-FET研究[D]. 周智飛.電子科技大學(xué) 2018
[2]大氣顆粒物測(cè)量系統(tǒng)研究[D]. 黃猛.合肥工業(yè)大學(xué) 2017
[3]基于雙振鏡的單色激光矢量掃描器設(shè)計(jì)[D]. 程孝龍.中國(guó)海洋大學(xué) 2013



本文編號(hào)：3424389