近些年,激光誘導(dǎo)轉(zhuǎn)移技術(shù)已經(jīng)成為激光加工技術(shù)的研究熱點(diǎn),其具有應(yīng)性強(qiáng)、高效、無(wú)污染、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn),其中的激光誘導(dǎo)向后轉(zhuǎn)移技術(shù)可以利用短脈沖激光向后轉(zhuǎn)移獲得特征尺寸遠(yuǎn)小于激光波長(zhǎng)的納米粒子,在金屬、半導(dǎo)體材料、陶瓷等微納結(jié)構(gòu)制備方面展現(xiàn)出了潛在的應(yīng)用價(jià)值。本文結(jié)合激光干涉與激光誘導(dǎo)向后轉(zhuǎn)移的優(yōu)勢(shì),形成激光干涉誘導(dǎo)向后轉(zhuǎn)移微納制造新技術(shù),實(shí)現(xiàn)了在普通環(huán)境條件下,高效、廉價(jià)制備微納結(jié)構(gòu)的新方法。本文基于激光干涉和激光誘導(dǎo)向后轉(zhuǎn)移相結(jié)合實(shí)現(xiàn)微納制造的新思路,利用Nd:YAG納秒激光器,將單晶硅和金分別作為被轉(zhuǎn)移對(duì)象進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。主要工作如下:1.研究了激光與半導(dǎo)體材料的作用機(jī)理,分析了多脈沖激光累積對(duì)半導(dǎo)體材料閾值能量的影響,并通過(guò)MATLAB模擬了雙光束干涉下的光強(qiáng)分布。利用雙光束激光干涉系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了激光誘導(dǎo)向后轉(zhuǎn)移微納結(jié)構(gòu)制備,并對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了測(cè)試表征。激光能量密度為45¹15mJ/cm²,脈沖數(shù)量為100和200,轉(zhuǎn)移襯底為硅單晶,在ITO玻璃表面實(shí)現(xiàn)了硅納米粒子均勻分布的微米尺度周期性條紋結(jié)構(gòu)的制備,并通過(guò)SEM、EDS、拉曼光譜和光致發(fā)光... 

【文章來(lái)源】：長(zhǎng)春理工大學(xué)吉林省

【文章頁(yè)數(shù)】：65 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

激光誘導(dǎo)轉(zhuǎn)移示意圖

面積大、環(huán)境條件要求低、制備工序簡(jiǎn)便、安全無(wú)污染以及制，在制備微納結(jié)構(gòu)的同時(shí)達(dá)到轉(zhuǎn)移特定材料納米粒子的目的。材料并具有廣泛應(yīng)用前景的一步法微納結(jié)構(gòu)制備技術(shù)。外研究現(xiàn)狀，J. Bohandy 等人[34]首次利用高能量準(zhǔn)分子激光器在真空環(huán)沖在不同激光能量條件下沉積到硅基底上，通過(guò)掃描電子顯微尺寸一致的納米粒子。如圖 1.2 所示。該轉(zhuǎn)移沉積納米粒子的定，并基于此研究首次提出了激光誘導(dǎo)轉(zhuǎn)移方法模型[34]，為激術(shù)的奠定了基礎(chǔ)。，F(xiàn). J. Adrian 等人[35]在激光轉(zhuǎn)移誘導(dǎo)模型的基礎(chǔ)上提出了 LI術(shù)對(duì)于金屬材料的誘導(dǎo)轉(zhuǎn)移機(jī)理。通過(guò)理論模擬分析了不同的物理性質(zhì)和不同的沉積時(shí)間在真空環(huán)境的模型條件下對(duì)于激影響。該研究為今后的激光誘導(dǎo)轉(zhuǎn)移的發(fā)展提供了理論依據(jù)。

光誘導(dǎo)轉(zhuǎn)移的進(jìn)一步發(fā)展，被認(rèn)為是一種可應(yīng)備方法，為短脈沖激光的微納結(jié)構(gòu)制備提供了依人首次提出了激光誘導(dǎo)向后轉(zhuǎn)移技術(shù)，使用 8薄膜轉(zhuǎn)移襯底到玻璃表面，通過(guò) SEM 觀察到olina 等人[11]利用激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移技術(shù)實(shí)現(xiàn)了的定向轉(zhuǎn)移。通過(guò)熒光掃描分析，證明了激光構(gòu)在生物信號(hào)強(qiáng)度和生物基因識(shí)別能力與 pin 了激光誘導(dǎo)轉(zhuǎn)移技術(shù)可以拓展至生物分子學(xué)具有一定的潛在應(yīng)用價(jià)值。


本文編號(hào)：3419117