發(fā)布時間：2021-09-15 11:14

　　雙工件臺作為光刻機運動控制系統(tǒng)關鍵機構,在光刻機的硅片對準、調(diào)平調(diào)焦和曝光刻片過程中起到了重要作用。六自由度微動臺作為雙工件臺的核心部件,是系統(tǒng)達到納米級伺服定位精度的關鍵。本文主要針對雙工件臺六自由度微動臺進行運動控制研究。首先,對雙工件臺結構進行詳細的分析,對宏動臺模塊,微動臺模塊和換臺模塊三個子模塊進行控制系統(tǒng)設計,最后分析了工件臺微動臺系統(tǒng)的指標要求,確定典型三階S曲線為微動臺參考曲線。其次,根據(jù)微動臺的幾何尺寸進行六自由度測量解耦,將微位移傳感器的位置測量信息轉(zhuǎn)化成曝光點的六自由度位移信息;并將微動臺動力學耦合分為位置相關耦合和力相關耦合兩部分進行動力學解耦,在此基礎上構建有效的微動臺六自由度動力學模,通過仿真實驗證明六自由度動力學解耦模型的有效性。再次,針對微動臺存在的干擾進行分析,并設計了基于指數(shù)趨近律的傳統(tǒng)滑�？刂扑惴▽Ω蓴_進行抑制,通過仿真分析并與PID控制進行對比,證明了滑模控制在抑制干擾方面的良好作用;針對傳統(tǒng)滑�？刂拼嬖诘拿黠@抖振問題,對原有算法進行改進,設計出基于雙冪次趨近律的快速終端滑模控制,很好地解決了抖振問題,同時對干擾的抑制也很好。最后,對微動臺運動控... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：85 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

NEW6000掃描工件臺結構圖

Anorad公司精密工件臺

圖1-3雙工件臺操作流程圖

【參考文獻】：
期刊論文
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[7]光刻機雙工件臺系統(tǒng)數(shù)學模型的建立與驗證[D]. 項程.哈爾濱工業(yè)大學 2012
[8]音圈電機位置伺服控制系統(tǒng)的研究[D]. 劉麗麗.哈爾濱工業(yè)大學 2010
[9]光刻機掩模臺系統(tǒng)的動力學分析[D]. 陳文樞.華中科技大學 2007
[10]滑模變結構控制系統(tǒng)抖振抑制方法的研究[D]. 李琳.大連理工大學 2006



本文編號：3395976