發(fā)布時(shí)間：2021-09-15 11:14

　　雙工件臺(tái)作為光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)關(guān)鍵機(jī)構(gòu),在光刻機(jī)的硅片對(duì)準(zhǔn)、調(diào)平調(diào)焦和曝光刻片過程中起到了重要作用。六自由度微動(dòng)臺(tái)作為雙工件臺(tái)的核心部件,是系統(tǒng)達(dá)到納米級(jí)伺服定位精度的關(guān)鍵。本文主要針對(duì)雙工件臺(tái)六自由度微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制研究。首先,對(duì)雙工件臺(tái)結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的分析,對(duì)宏動(dòng)臺(tái)模塊,微動(dòng)臺(tái)模塊和換臺(tái)模塊三個(gè)子模塊進(jìn)行控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),最后分析了工件臺(tái)微動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)的指標(biāo)要求,確定典型三階S曲線為微動(dòng)臺(tái)參考曲線。其次,根據(jù)微動(dòng)臺(tái)的幾何尺寸進(jìn)行六自由度測(cè)量解耦,將微位移傳感器的位置測(cè)量信息轉(zhuǎn)化成曝光點(diǎn)的六自由度位移信息;并將微動(dòng)臺(tái)動(dòng)力學(xué)耦合分為位置相關(guān)耦合和力相關(guān)耦合兩部分進(jìn)行動(dòng)力學(xué)解耦,在此基礎(chǔ)上構(gòu)建有效的微動(dòng)臺(tái)六自由度動(dòng)力學(xué)模,通過仿真實(shí)驗(yàn)證明六自由度動(dòng)力學(xué)解耦模型的有效性。再次,針對(duì)微動(dòng)臺(tái)存在的干擾進(jìn)行分析,并設(shè)計(jì)了基于指數(shù)趨近律的傳統(tǒng)滑模控制算法對(duì)干擾進(jìn)行抑制,通過仿真分析并與PID控制進(jìn)行對(duì)比,證明了滑�？刂圃谝种聘蓴_方面的良好作用;針對(duì)傳統(tǒng)滑模控制存在的明顯抖振問題,對(duì)原有算法進(jìn)行改進(jìn),設(shè)計(jì)出基于雙冪次趨近律的快速終端滑�？刂�,很好地解決了抖振問題,同時(shí)對(duì)干擾的抑制也很好。最后,對(duì)微動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)控... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：85 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

NEW6000掃描工件臺(tái)結(jié)構(gòu)圖

Anorad公司精密工件臺(tái)

圖1-3雙工件臺(tái)操作流程圖

【參考文獻(xiàn)】：
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[6]基于XPC的五自由度氣浮平臺(tái)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)及仿真研究[D]. 林曉冬.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2013
[7]光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)數(shù)學(xué)模型的建立與驗(yàn)證[D]. 項(xiàng)程.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2012
[8]音圈電機(jī)位置伺服控制系統(tǒng)的研究[D]. 劉麗麗.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2010
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[10]滑模變結(jié)構(gòu)控制系統(tǒng)抖振抑制方法的研究[D]. 李琳.大連理工大學(xué) 2006



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