發(fā)布時(shí)間：2021-08-27 09:05

　　隨著現(xiàn)代通信技術(shù)的快速發(fā)展,移動(dòng)通信系統(tǒng)提出了更快的傳輸速率、更高的頻譜利用率、更多的設(shè)備接入量和更低的時(shí)延等發(fā)展目標(biāo),對(duì)現(xiàn)有的各種元器件在性能上提出了更高的需求。其中,傳統(tǒng)的聲表面波濾波器由于自身結(jié)構(gòu)的限制,工作頻率較低,難以滿足通信系統(tǒng)高頻化的發(fā)展趨勢,因此,人們開始研究新的濾波器解決方案。基于薄膜體聲波諧振器（Thin Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR）的濾波器憑借Q值高、體積小、功耗低、可靠性好和穩(wěn)定性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)逐漸受到了人們的重視和認(rèn)可,并且由于制備工藝的兼容性強(qiáng),FBAR濾波器在集成化方面還有巨大的潛力,因此成為了濾波器領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。本文將對(duì)FBAR濾波器進(jìn)行理論分析、構(gòu)建模型并仿真,最后再通過實(shí)際制備對(duì)比理論分析作出優(yōu)化。本文首先從壓電效應(yīng)出發(fā),介紹了諧振器的基本結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步基于諧振器引出了FBAR濾波器的基本結(jié)構(gòu)和工作原理,并通過對(duì)比不同結(jié)構(gòu)的優(yōu)缺點(diǎn)分別確立了諧振器為空腔型結(jié)構(gòu),濾波器為階梯型結(jié)構(gòu)。然后基于FBAR諧振器的工作原理,結(jié)合電學(xué)和力學(xué)分析,得到了 FBAR諧振器的阻抗模型,并在阻抗模型的基礎(chǔ)上推導(dǎo)出等效電路模型。進(jìn)一步通過阻... 

【文章來源】：重慶郵電大學(xué)重慶市

【文章頁數(shù)】：73 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

FBAR諧振器的三層基本結(jié)構(gòu)

FBAR諧振器的三種主流結(jié)構(gòu)

(c) 層疊型結(jié)構(gòu) (d) 耦合型結(jié)構(gòu)圖 2.3 FBAR 濾波器的四種結(jié)構(gòu)在 FBAR 濾波器的四種組成結(jié)構(gòu)中，階梯型和網(wǎng)格型結(jié)構(gòu)較為簡單，都是利用電理，將諧振器以簡單的電路連接方式組成濾波器，因此二者還可以結(jié)合使用；而二

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]X波段FBAR用AlN薄膜制備研究[J]. 彭華東,徐陽,張永川,杜波,司美菊,蔣欣,趙明.  壓電與聲光. 2019(02)
[2]一種新型FBAR結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)[J]. 張浩,張志杰,翟宇鵬,程皓,吳永盛.  電子元件與材料. 2019(03)
[3]稀土元素Er摻雜AlN的壓電性能[J]. 泰智薇,楊成韜,胡現(xiàn)偉,謝易微.  壓電與聲光. 2018(06)
[4]薄膜體聲波諧振器調(diào)頻工藝研究[J]. 彭興文,徐陽,杜波,張永川,司美菊,劉婭,何西良,盧丹丹.  壓電與聲光. 2018(02)
[5]S波段溫度補(bǔ)償型FBAR窄帶濾波器的研制[J]. 賈英茜,李麗,李宏軍,高彥彥.  半導(dǎo)體技術(shù). 2017(07)
[6]摻鎂ZnO基薄膜體聲波諧振器的制備和性能研究[J]. 盧學(xué)良,段力,劉一劍,汪軍,張亞非.  壓電與聲光. 2017(01)
[7]AlN薄膜制備技術(shù)研究[J]. 金成飛,司美菊,徐陽,杜波,陳云祥.  壓電與聲光. 2016(04)
[8]干法刻蝕條件對(duì)Mo側(cè)壁角度的影響[J]. 田本朗,徐陽,曹家強(qiáng),杜波,馬晉毅,米佳,冷俊林.  壓電與聲光. 2016(02)
[9]FBAR用氮化鋁壓電薄膜研究[J]. 陳運(yùn)祥,董加和,司美菊,李洪平,趙雪梅,張永川,于新曉,劉善群.  壓電與聲光. 2015(06)
[10]5G愿景和需求[J]. 竇笠,孫震強(qiáng),李艷芬.  電信技術(shù). 2013(12)

博士論文
[1]薄膜體聲波諧振器（FBAR）技術(shù)的若干問題研究[D]. 金浩.浙江大學(xué) 2006

碩士論文
[1]薄膜體聲波諧振器結(jié)構(gòu)分析與仿真[D]. 吳勇.電子科技大學(xué) 2007



本文編號(hào)：3366064