氧化物薄膜晶體管由于其高遷移率、高光透過率和可彎折等良好特性,在柔性顯示領(lǐng)域收到廣泛關(guān)注。近年來,隨著噴墨打印技術(shù)在電子器件領(lǐng)域的應(yīng)用,其能耗低、污染小、成本低、可制備精密圖案和大面積連續(xù)打印等諸多優(yōu)點(diǎn)而備受青睞。本文通過噴墨打印技術(shù)進(jìn)行圖案化薄膜制備（包括薄膜晶體管有源層和源漏電極層）,并對其制備工藝進(jìn)行優(yōu)化,最終得到高質(zhì)量銦摻氧化鋅（IZO）薄膜晶體管。具體工作內(nèi)容如下:（1）控制有機(jī)溶劑的揮發(fā)速率,在有源層薄膜固化定型過程中,減小咖啡環(huán)效應(yīng)的影響;將各溶質(zhì)及有機(jī)溶劑的受熱分解步驟拆分,使其單獨(dú)進(jìn)行反應(yīng),避免同時(shí)反應(yīng)劇烈放熱的過程對薄膜圖案形態(tài)的破壞。通過多次分步退火方法,利用噴墨打印技術(shù)制備了表面平整、結(jié)構(gòu)緊密的TFT有源層圖案化薄膜,是制備性能良好的TFT器件關(guān)鍵因素的。同時(shí),也為后續(xù)噴墨打印源漏電極提供良好的打印條件。（2）通過改變打印速度、出墨量、出墨頻率、線間距等條件,成功制備除形態(tài)清晰,邊界規(guī)則整齊的正方形銀電極圖案,為制備較高精度的TFT器件提供了良好條件。隨后采用優(yōu)化后的工藝條件,在噴墨打印制備得到的有源層圖案上,覆蓋正方形銀電極,制備完整的TFT器件。實(shí)現(xiàn)不同打印... 

【文章來源】：吉林建筑大學(xué)吉林省

【文章頁數(shù)】：79 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

(a)PM和(b)AM驅(qū)動的液晶顯示圖

圖 1-2 (a)P. K. Weimer 等人在 1962 年提出的 TFT 結(jié)構(gòu)示意圖(b)P. K. Weimer 等人制備 TFT 器件實(shí)物圖[1]Fig. 1-2 (a) P. K. Weimer et al. proposed a schematic TFT structure in 1962.

圖 1-4 溝道薄膜層數(shù)對襯底表面形貌及器件電學(xué)性能的影響Fig. 1-4 Effect of Channel Film Layer Number on Substrate Surface Morphology and DeviceElectrical Properties

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[4]柔性基底導(dǎo)電銀墨水噴墨打印工藝分析[J]. 曹威武,潘開林,韓旭峰,李婷婷,王文佳.  微納電子技術(shù). 2017(11)
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碩士論文
[1]基于電-液耦合動力學(xué)原理（EHD）的噴墨印刷研究[D]. 王莎莎.江南大學(xué) 2015
[2]噴墨印刷制備有機(jī)場效應(yīng)晶體管的研究[D]. 謝業(yè)磊.南京郵電大學(xué) 2015



本文編號：3356411