近場掃描微波顯微鏡是近場測量技術(shù)與微波測量技術(shù)的結(jié)合體。它將近場測試與微波測試兩種測量方式的優(yōu)點有效結(jié)合在一起,即可以在更小的圍觀尺度范圍內(nèi)測量材料的電磁特性參數(shù)。其所具有的高空間分辨率、高測試靈敏度以及無損測量的優(yōu)點,使其近年來被廣泛應(yīng)用于微米、納米結(jié)構(gòu)材料樣品的表征測試,以及生物細(xì)胞掃描等微觀研究領(lǐng)域中。本文根據(jù)近場微波測試原理,設(shè)計了一套近場掃描微波成像測試系統(tǒng)。通過對諧振腔的微擾理論、成像理論的介紹,以及以麥克斯韋方程作為依據(jù)對兩種理論的推導(dǎo)證明了同軸諧振腔方案的可行性。利用HFSS軟件建模仿真本測試系統(tǒng)的核心組成單元—同軸諧振腔,結(jié)合諧振腔與系統(tǒng)功能需求,設(shè)計并裝配了相關(guān)硬件結(jié)構(gòu),從而組成完整的近場微波掃描成像測試系統(tǒng)。基于圖形化編程軟件LabVIEW,編寫開發(fā)了相關(guān)控制軟件�？梢詽M足高度掃描、線掃描、平面掃描等功能,實現(xiàn)了測試的自動化。隨后基于此系統(tǒng)對單一材料但表面形貌凹凸不平、表面平整但表面有不同材料分布、有不同材料分布且表面不平,三種不同類型的樣品進(jìn)行成像測試,分析系統(tǒng)的成像機(jī)理。然后從兩個方面研究了優(yōu)化測試的方法:準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域以及糾正樣品載物臺傾斜的影響。對于定位... 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：71 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

掃描探針顯微鏡示意圖

“鏡像電荷法”示意圖和摻雜材料樣品庫測試圖

A.P.Gregory等人NSMM系統(tǒng)改進(jìn)圖和針尖-樣品模型圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]近場微波顯微鏡測量介電常數(shù)的研究[J]. 楊山,吳喆,張兆鏜,曾葆青.  真空電子技術(shù). 2016(02)

博士論文
[1]磁電特性的定量近場微波顯微術(shù)[D]. 胡泊.中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2006
[2]近場光學(xué)理論和非探針近場光學(xué)顯微鏡關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 吳才章.華中科技大學(xué) 2005

碩士論文
[1]掃描近場光學(xué)顯微鏡的搭建與應(yīng)用[D]. 胡睿璇.南京大學(xué) 2018
[2]汽車發(fā)動機(jī)微波點火技術(shù)研究[D]. 彭志偉.電子科技大學(xué) 2014
[3]超高頻激光全息RFID標(biāo)簽設(shè)計與實現(xiàn)[D]. 潘鑫.華中科技大學(xué) 2013
[4]微波反射率弓形法測試技術(shù)研究[D]. 李智.電子科技大學(xué) 2008



本文編號：3319350