發(fā)布時(shí)間：2021-08-03 09:09

　　近場(chǎng)掃描微波顯微鏡是近場(chǎng)測(cè)量技術(shù)與微波測(cè)量技術(shù)的結(jié)合體。它將近場(chǎng)測(cè)試與微波測(cè)試兩種測(cè)量方式的優(yōu)點(diǎn)有效結(jié)合在一起,即可以在更小的圍觀尺度范圍內(nèi)測(cè)量材料的電磁特性參數(shù)。其所具有的高空間分辨率、高測(cè)試靈敏度以及無損測(cè)量的優(yōu)點(diǎn),使其近年來被廣泛應(yīng)用于微米、納米結(jié)構(gòu)材料樣品的表征測(cè)試,以及生物細(xì)胞掃描等微觀研究領(lǐng)域中。本文根據(jù)近場(chǎng)微波測(cè)試原理,設(shè)計(jì)了一套近場(chǎng)掃描微波成像測(cè)試系統(tǒng)。通過對(duì)諧振腔的微擾理論、成像理論的介紹,以及以麥克斯韋方程作為依據(jù)對(duì)兩種理論的推導(dǎo)證明了同軸諧振腔方案的可行性。利用HFSS軟件建模仿真本測(cè)試系統(tǒng)的核心組成單元—同軸諧振腔,結(jié)合諧振腔與系統(tǒng)功能需求,設(shè)計(jì)并裝配了相關(guān)硬件結(jié)構(gòu),從而組成完整的近場(chǎng)微波掃描成像測(cè)試系統(tǒng)�；趫D形化編程軟件LabVIEW,編寫開發(fā)了相關(guān)控制軟件�？梢詽M足高度掃描、線掃描、平面掃描等功能,實(shí)現(xiàn)了測(cè)試的自動(dòng)化。隨后基于此系統(tǒng)對(duì)單一材料但表面形貌凹凸不平、表面平整但表面有不同材料分布、有不同材料分布且表面不平,三種不同類型的樣品進(jìn)行成像測(cè)試,分析系統(tǒng)的成像機(jī)理。然后從兩個(gè)方面研究了優(yōu)化測(cè)試的方法:準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域以及糾正樣品載物臺(tái)傾斜的影響。對(duì)于定位... 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：71 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

掃描探針顯微鏡示意圖

“鏡像電荷法”示意圖和摻雜材料樣品庫(kù)測(cè)試圖

A.P.Gregory等人NSMM系統(tǒng)改進(jìn)圖和針尖-樣品模型圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]近場(chǎng)微波顯微鏡測(cè)量介電常數(shù)的研究[J]. 楊山,吳喆,張兆鏜,曾葆青.  真空電子技術(shù). 2016(02)

博士論文
[1]磁電特性的定量近場(chǎng)微波顯微術(shù)[D]. 胡泊.中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2006
[2]近場(chǎng)光學(xué)理論和非探針近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 吳才章.華中科技大學(xué) 2005

碩士論文
[1]掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的搭建與應(yīng)用[D]. 胡睿璇.南京大學(xué) 2018
[2]汽車發(fā)動(dòng)機(jī)微波點(diǎn)火技術(shù)研究[D]. 彭志偉.電子科技大學(xué) 2014
[3]超高頻激光全息RFID標(biāo)簽設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[D]. 潘鑫.華中科技大學(xué) 2013
[4]微波反射率弓形法測(cè)試技術(shù)研究[D]. 李智.電子科技大學(xué) 2008



本文編號(hào)：3319350