發(fā)布時間：2021-07-28 04:57

　　隨著人類需求的增加和新興工藝的出現(xiàn),半導體制造業(yè)的混合生產(chǎn)特性愈加明顯,即一臺設備用來加工多種產(chǎn)品。指數(shù)加權移動平均（Exponentially Weighted Moving Average,EWMA）控制器是半導體制造業(yè)中應用最廣泛的一種批間控制器。但是,傳統(tǒng)的EWMA控制器多數(shù)是為單一產(chǎn)品制程設計的,并不適用于混合半導體制程。針對該問題,本課題提出了混合半導體制程的優(yōu)化批間控制方法研究。首先,本課題建立了一種更加準確的混合半導體制程的數(shù)學模型,在此基礎上深入分析了混合半導體制程的兩種主要控制器（基于機臺的EWMA控制器和基于產(chǎn)品的EWMA控制器）的性能。新的分析結果對前人的研究成果進行了補充與擴展。仿真實驗驗證了所得結論的正確性�；谏鲜鲅芯砍晒�,本課題為混合半導體制程設計了一種新型EWMA控制器,能夠同時克服基于機臺與基于產(chǎn)品的EWMA控制器的缺點。在該控制器中,若某個批次的產(chǎn)品種類與上一批次的相同,則該批次的擾動估計值由EWMA估計器根據(jù)上一批次的數(shù)據(jù)得到;否則,該批次的擾動估計值由同種產(chǎn)品在之前最近批次的擾動估計值加上兩個批次間其它產(chǎn)品生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的漂移值得到。同時,本課... 

【文章來源】：蘇州大學江蘇省 211工程院校

【文章頁數(shù)】：95 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
中文摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 課題背景及意義
    1.2 課題國內外研究現(xiàn)狀分析
        1.2.1 狀態(tài)估計器的研究現(xiàn)狀
        1.2.2 整體狀態(tài)估計算法的研究現(xiàn)狀
    1.3 課題研究目標及內容
    1.4 本文結構安排
第二章 EWMA控制器
    2.1 EWMA算法
    2.2 半導體制程中的EWMA控制器
    2.3 性能分析
    2.4 仿真實驗
    2.5 本章小結
第三章 混合半導體制程EWMA控制器研究
    3.1 混合半導體制程簡介
    3.2 混合半導體制程模型
    3.3 基于機臺的EWMA控制器研究
        3.3.1 算法介紹
        3.3.2 性能分析
        3.3.3 仿真實驗
    3.4 基于產(chǎn)品的EWMA控制器研究
        3.4.1 算法介紹
        3.4.2 性能分析
        3.4.3 仿真實驗
    3.5 本章小結
第四章 新型EWMA控制器的設計
    4.1 整體方案的設計
    4.2 漂移項的估計算法
    4.3 性能分析
    4.4 仿真實驗
    4.5 本章小結
第五章 性能評價器的研究與設計
    5.1 控制器性能評價流程
    5.2 性能評價基準的選擇與確定
        5.2.1 最小方差基準
        5.2.2 方差基準
        5.2.3 均方誤差基準
    5.3 EWMA控制器基于均方誤差的性能評價算法
    5.4 模型參數(shù)辨識和估計方法
    5.5 仿真實驗
    5.6 本章小結
第六章 總結與展望
    6.1 總結
    6.2 展望
參考文獻
攻讀學位期間本人出版或公開發(fā)表的論著、論文
致謝
附錄A：基于機臺的EWMA控制系統(tǒng)的輸出表達式推導過程
附錄B：基于產(chǎn)品的EWMA控制系統(tǒng)的輸出表達式推導過程
附錄C：新型EWMA控制系統(tǒng)的輸出表達式推導過程


【參考文獻】：
期刊論文
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[3]小批量多品種的芯片研制生產(chǎn)線的質量控制[J]. 胡玲,潘宏菽.  半導體技術. 2011(07)
[4]面向可持續(xù)發(fā)展的半導體制造的集成產(chǎn)品和過程控制(英文)[J]. 陳良.  Chinese Journal of Chemical Engineering. 2011(02)
[5]數(shù)字邏輯技術[J]. 范哲超,武劍.  科技信息. 2010(08)
[6]基于變折扣因子EWMA的混合產(chǎn)品批間控制方法[J]. 侯明陽,鄭英,艾兵,鄭燕,張杰.  控制理論與應用. 2009(10)
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[8]SPC在多品種小批量生產(chǎn)線的應用研究[J]. 徐嵐,劉嶸侃,陳亞蘭,賈新章.  微電子學. 2007(05)
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碩士論文
[1]多品種小批量生產(chǎn)方式下基于約束理論的生產(chǎn)計劃與控制研究[D]. 游海波.合肥工業(yè)大學 2009
[2]基于變權值EWMA的混和產(chǎn)品批間控制方法研究[D]. 侯明陽.華中科技大學 2008
[3]我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的現(xiàn)狀分析與對策研究[D]. 燕斌.天津大學 2004



本文編號：3307262