可用于工件內(nèi)腔尺寸測量的共焦式激光測量方法研究
發(fā)布時(shí)間:2021-07-22 18:07
工件內(nèi)腔尺寸的測量一直都是生產(chǎn)企業(yè)的難點(diǎn),因此開展工件內(nèi)腔尺寸測量方法的研究至關(guān)重要。非接觸式測量技術(shù)廣泛應(yīng)用于工件尺寸的測量,而其中激光共焦測量方法因其獨(dú)特的光學(xué)層析能力和良好的測量精度具有獨(dú)特的優(yōu)勢。本文主要針對(duì)內(nèi)腔式零部件尺寸的測量開展了一種共焦式激光測量方法研究。論文的主要工作如下:1.介紹了激光共焦測量原理,在分析動(dòng)態(tài)主動(dòng)調(diào)焦法測量原理的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步闡述了單光路共焦技術(shù)的理論。與此同時(shí),為了更好地研究激光共焦技術(shù)的檢測特性,先期對(duì)激光測量系統(tǒng)的光路進(jìn)行了相關(guān)仿真與設(shè)計(jì),在后文中再用實(shí)驗(yàn)進(jìn)一步說明理論的正確性及實(shí)驗(yàn)的可行性。并從理論上分析了點(diǎn)探測器軸向偏移量及針孔光闌尺寸對(duì)共焦測量系統(tǒng)的影響。2.對(duì)器件進(jìn)行了選型。重點(diǎn)對(duì)光電信息轉(zhuǎn)換與處理系統(tǒng)進(jìn)行了深入的研究和探討,設(shè)計(jì)了光電信號(hào)處理電路、A/D采集電路和單片機(jī)控制電路,并通過單片機(jī)編程實(shí)現(xiàn)了光強(qiáng)信號(hào)的檢測。3.設(shè)計(jì)了自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng),采用宏動(dòng)與微動(dòng)相結(jié)合的調(diào)焦控制方法,實(shí)現(xiàn)了大行程、高精度的自動(dòng)調(diào)焦。設(shè)計(jì)了兩級(jí)進(jìn)給臺(tái)的單片機(jī)控制電路及驅(qū)動(dòng)電路,同時(shí)進(jìn)行了兩級(jí)進(jìn)給臺(tái)的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使得聚焦透鏡可以快速精確的進(jìn)行調(diào)焦。4.搭建了共焦...
【文章來源】:西安理工大學(xué)陜西省
【文章頁數(shù)】:70 頁
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
復(fù)雜內(nèi)孔
和幾何要素的形狀,值得注意的是,零件表面的尺寸測量是至關(guān)重要的關(guān)鍵點(diǎn)種程度上決定了零部件的互換性,產(chǎn)品的質(zhì)量也因此被影響[1]。因此,表面尺復(fù)制、記錄和比較物體形態(tài)特點(diǎn)的基礎(chǔ),它在機(jī)械加工、工業(yè)檢測、生物及醫(yī)有十分重要的意義和極其廣闊的應(yīng)用前景。而內(nèi)腔式零部件由于接觸式探頭不易伸進(jìn)去,如圖 1-1 及圖 1-2 所示,零件內(nèi)孔及內(nèi)槽的情況,其內(nèi)壁尺寸難以測量,因此一直是生產(chǎn)企業(yè)的難點(diǎn)。內(nèi)腔式內(nèi)腔表面尺寸測量的精度要求非常高,但是大多數(shù)傳統(tǒng)測量方式是通過探針和觸來進(jìn)行測量,這種方法有非常多的限制,就像它在測量中無法規(guī)避地會(huì)損傷面從而引起測量誤差,同時(shí)這種方法測量效率低下,對(duì)測量速度造成很大困擾工件內(nèi)腔尺寸檢測的研究一種非接觸測量方法是極其重要的[2]。它能有效解決件的尺寸檢測問題,這對(duì)確保精密零件的質(zhì)量、增強(qiáng)精密零件的競爭力有舉足。非接觸式測量技術(shù)中的光電檢測技術(shù)因?yàn)槠渚雀、量程大和更加智能化等越來越多的青睞。其使用光學(xué)器件作為基礎(chǔ),光電檢測器件檢測包含被測信息計(jì)算機(jī)再處理光電檢測器件輸出的電信號(hào),最后得到需要的幾何量。
式零部件輪廓非接觸測量方法的國內(nèi)外研零部件內(nèi)壁輪廓非接觸測量的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀進(jìn)行分激光三角法、光環(huán)截面法及激光共焦測量法,進(jìn)行優(yōu)作為本課題的系統(tǒng)測量方法。量法式零部件內(nèi)壁輪廓的測量,大部分采用光電檢測技術(shù)同。激光三角法最常被使用。原理是測量探測器與光光器發(fā)射 LD 光線,經(jīng)會(huì)聚透鏡,產(chǎn)生散射,L2 接成像。如果被測物體表面產(chǎn)生位移,就會(huì)引起光線產(chǎn)變,其變化值就為測量位移值,就可計(jì)算得到實(shí)際位
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于51單片機(jī)的步進(jìn)電機(jī)控制系統(tǒng)[J]. 孔祥煜. 內(nèi)燃機(jī)與配件. 2019(05)
[2]基于單片機(jī)的步進(jìn)電機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法探究[J]. 姜昊,鄭穎. 南方農(nóng)機(jī). 2019(04)
[3]單片機(jī)控制步進(jìn)電機(jī)研究[J]. 黃兆波,李姿. 南方農(nóng)機(jī). 2019(04)
[4]高精度共焦自準(zhǔn)直中心偏測量裝置[J]. 葛洪,王允,邱麗榮. 光學(xué)技術(shù). 2018(06)
[5]一種應(yīng)用于數(shù)字共焦顯微系統(tǒng)的壓電陶瓷物鏡驅(qū)動(dòng)器控制電源[J]. 邱釗鵬,范晶彥,張莉莉. 電子器件. 2018(04)
[6]壓電陶瓷微位移的光干涉測量與控制系統(tǒng)[J]. 齊艷強(qiáng),趙曉丹,李孟陽,張明達(dá),陳智輝,楊毅彪. 太原理工大學(xué)學(xué)報(bào). 2018(04)
[7]差動(dòng)共焦顯微成像高穩(wěn)定三維掃描技術(shù)與系統(tǒng)[J]. 舒攀,盛忠,邱麗榮,趙偉瑞,趙維謙. 光學(xué)技術(shù). 2017(03)
[8]光電檢測技術(shù)的發(fā)展趨勢及應(yīng)用前景[J]. 王紫,陳杰,艾若涵. 四川水泥. 2017(03)
[9]共焦法在不同環(huán)境對(duì)定焦間距精度的影響[J]. 原泉,任寰,楊一,張霖,石振東,馬驊. 科學(xué)技術(shù)與工程. 2016(11)
[10]激光差動(dòng)共焦顯微成像中的軸向快速定焦方法[J]. 毛新越,趙維謙,王允,劉大禮,王蕾. 光學(xué)技術(shù). 2015(05)
博士論文
[1]微靶裝配在線監(jiān)測系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 王婷.天津大學(xué) 2009
[2]多功能共焦表面測量系統(tǒng)研究[D]. 李海燕.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2009
碩士論文
[1]基于空間光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)探測共焦橫向超分辨方法研究[D]. 周夢姣.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2016
[2]激光差動(dòng)共焦傳感器傳感特性研究[D]. 路曉明.北京理工大學(xué) 2015
[3]步進(jìn)式精密直線壓電驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與研究[D]. 連安志.長安大學(xué) 2015
[4]基于聚焦光針干涉和共焦成像的多功能表面形貌測量系統(tǒng)[D]. 林芬芬.華中科技大學(xué) 2015
[5]單片機(jī)控制的步進(jìn)電機(jī)文檢系統(tǒng)[D]. 李晴.北京交通大學(xué) 2014
[6]高精度內(nèi)徑測量系統(tǒng)的研究與設(shè)計(jì)[D]. 崔唯佳.中北大學(xué) 2013
[7]激光雷達(dá)的激光自動(dòng)聚焦控制系統(tǒng)研究[D]. 回英超.長春理工大學(xué) 2013
[8]共焦測頭中音叉振動(dòng)與時(shí)間差檢測問題的研究[D]. 陳本軒.天津大學(xué) 2009
[9]光探針測量系統(tǒng)中瞄準(zhǔn)信號(hào)的檢測與處理的研究[D]. 劉卿卿.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2008
[10]基于時(shí)間差法的光學(xué)共焦測頭的研究[D]. 呂東伏.天津大學(xué) 2007
本文編號(hào):3297636
【文章來源】:西安理工大學(xué)陜西省
【文章頁數(shù)】:70 頁
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
復(fù)雜內(nèi)孔
和幾何要素的形狀,值得注意的是,零件表面的尺寸測量是至關(guān)重要的關(guān)鍵點(diǎn)種程度上決定了零部件的互換性,產(chǎn)品的質(zhì)量也因此被影響[1]。因此,表面尺復(fù)制、記錄和比較物體形態(tài)特點(diǎn)的基礎(chǔ),它在機(jī)械加工、工業(yè)檢測、生物及醫(yī)有十分重要的意義和極其廣闊的應(yīng)用前景。而內(nèi)腔式零部件由于接觸式探頭不易伸進(jìn)去,如圖 1-1 及圖 1-2 所示,零件內(nèi)孔及內(nèi)槽的情況,其內(nèi)壁尺寸難以測量,因此一直是生產(chǎn)企業(yè)的難點(diǎn)。內(nèi)腔式內(nèi)腔表面尺寸測量的精度要求非常高,但是大多數(shù)傳統(tǒng)測量方式是通過探針和觸來進(jìn)行測量,這種方法有非常多的限制,就像它在測量中無法規(guī)避地會(huì)損傷面從而引起測量誤差,同時(shí)這種方法測量效率低下,對(duì)測量速度造成很大困擾工件內(nèi)腔尺寸檢測的研究一種非接觸測量方法是極其重要的[2]。它能有效解決件的尺寸檢測問題,這對(duì)確保精密零件的質(zhì)量、增強(qiáng)精密零件的競爭力有舉足。非接觸式測量技術(shù)中的光電檢測技術(shù)因?yàn)槠渚雀、量程大和更加智能化等越來越多的青睞。其使用光學(xué)器件作為基礎(chǔ),光電檢測器件檢測包含被測信息計(jì)算機(jī)再處理光電檢測器件輸出的電信號(hào),最后得到需要的幾何量。
式零部件輪廓非接觸測量方法的國內(nèi)外研零部件內(nèi)壁輪廓非接觸測量的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀進(jìn)行分激光三角法、光環(huán)截面法及激光共焦測量法,進(jìn)行優(yōu)作為本課題的系統(tǒng)測量方法。量法式零部件內(nèi)壁輪廓的測量,大部分采用光電檢測技術(shù)同。激光三角法最常被使用。原理是測量探測器與光光器發(fā)射 LD 光線,經(jīng)會(huì)聚透鏡,產(chǎn)生散射,L2 接成像。如果被測物體表面產(chǎn)生位移,就會(huì)引起光線產(chǎn)變,其變化值就為測量位移值,就可計(jì)算得到實(shí)際位
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于51單片機(jī)的步進(jìn)電機(jī)控制系統(tǒng)[J]. 孔祥煜. 內(nèi)燃機(jī)與配件. 2019(05)
[2]基于單片機(jī)的步進(jìn)電機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法探究[J]. 姜昊,鄭穎. 南方農(nóng)機(jī). 2019(04)
[3]單片機(jī)控制步進(jìn)電機(jī)研究[J]. 黃兆波,李姿. 南方農(nóng)機(jī). 2019(04)
[4]高精度共焦自準(zhǔn)直中心偏測量裝置[J]. 葛洪,王允,邱麗榮. 光學(xué)技術(shù). 2018(06)
[5]一種應(yīng)用于數(shù)字共焦顯微系統(tǒng)的壓電陶瓷物鏡驅(qū)動(dòng)器控制電源[J]. 邱釗鵬,范晶彥,張莉莉. 電子器件. 2018(04)
[6]壓電陶瓷微位移的光干涉測量與控制系統(tǒng)[J]. 齊艷強(qiáng),趙曉丹,李孟陽,張明達(dá),陳智輝,楊毅彪. 太原理工大學(xué)學(xué)報(bào). 2018(04)
[7]差動(dòng)共焦顯微成像高穩(wěn)定三維掃描技術(shù)與系統(tǒng)[J]. 舒攀,盛忠,邱麗榮,趙偉瑞,趙維謙. 光學(xué)技術(shù). 2017(03)
[8]光電檢測技術(shù)的發(fā)展趨勢及應(yīng)用前景[J]. 王紫,陳杰,艾若涵. 四川水泥. 2017(03)
[9]共焦法在不同環(huán)境對(duì)定焦間距精度的影響[J]. 原泉,任寰,楊一,張霖,石振東,馬驊. 科學(xué)技術(shù)與工程. 2016(11)
[10]激光差動(dòng)共焦顯微成像中的軸向快速定焦方法[J]. 毛新越,趙維謙,王允,劉大禮,王蕾. 光學(xué)技術(shù). 2015(05)
博士論文
[1]微靶裝配在線監(jiān)測系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 王婷.天津大學(xué) 2009
[2]多功能共焦表面測量系統(tǒng)研究[D]. 李海燕.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2009
碩士論文
[1]基于空間光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)探測共焦橫向超分辨方法研究[D]. 周夢姣.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2016
[2]激光差動(dòng)共焦傳感器傳感特性研究[D]. 路曉明.北京理工大學(xué) 2015
[3]步進(jìn)式精密直線壓電驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與研究[D]. 連安志.長安大學(xué) 2015
[4]基于聚焦光針干涉和共焦成像的多功能表面形貌測量系統(tǒng)[D]. 林芬芬.華中科技大學(xué) 2015
[5]單片機(jī)控制的步進(jìn)電機(jī)文檢系統(tǒng)[D]. 李晴.北京交通大學(xué) 2014
[6]高精度內(nèi)徑測量系統(tǒng)的研究與設(shè)計(jì)[D]. 崔唯佳.中北大學(xué) 2013
[7]激光雷達(dá)的激光自動(dòng)聚焦控制系統(tǒng)研究[D]. 回英超.長春理工大學(xué) 2013
[8]共焦測頭中音叉振動(dòng)與時(shí)間差檢測問題的研究[D]. 陳本軒.天津大學(xué) 2009
[9]光探針測量系統(tǒng)中瞄準(zhǔn)信號(hào)的檢測與處理的研究[D]. 劉卿卿.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2008
[10]基于時(shí)間差法的光學(xué)共焦測頭的研究[D]. 呂東伏.天津大學(xué) 2007
本文編號(hào):3297636
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