激光外差干涉測量技術(shù)是微振動探測的重要手段,隨著微納應(yīng)用的拓展,人們對精密測量系統(tǒng)的相位檢測靈敏度提出了更高的要求.傳統(tǒng)提高測量靈敏度的方法有優(yōu)化外差干涉系統(tǒng)方案、改進相位重建算法和降低關(guān)鍵器件噪聲等.本文提出了一種多光束混合干涉的相位增強方法,經(jīng)過理論推導(dǎo)和實驗驗證得到如下近似條件:校正光與信號光的初相位相差πrad情況下,兩光束的功率越接近,系統(tǒng)對目標的弱振動振幅響應(yīng)越大.實驗設(shè)計的兩光束功率相差1%時,觀察到了最大146倍的增強效果,該方法在微振動物體高靈敏度測量上具有較大的應(yīng)用價值,在現(xiàn)有器件指標和相位解調(diào)算法不變的基礎(chǔ)上可大幅提高外差干涉測量系統(tǒng)的探測能力. 

【文章來源】：物理學(xué)報. 2020,69(19)北大核心EISCICSCD

【文章頁數(shù)】：8 頁

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3290166