Si基近紅外光電探測(cè)器由于具有和CMOS技術(shù)良好的兼容性,一直以來受到廣泛的關(guān)注和研究。各類Si基光電探測(cè)器（如肖特基結(jié)型、P-N結(jié)型、P-I-N結(jié)型等）中,肖特基結(jié)型器件由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)速度快、寄生電容小,是制備光電探測(cè)器的優(yōu)異選擇。與薄膜和塊狀光電探測(cè)器件相比半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)器件響應(yīng)度高、功耗低、響應(yīng)速度快;因?yàn)槠浞瓷渎实汀⒈缺砻娣e大使其光收集效率高,同載流子輸運(yùn)時(shí)間短。所以一維Si納米結(jié)構(gòu)特別是具有陷光效應(yīng)的Si納米線陣列結(jié)構(gòu)在高性能紅外光電探測(cè)器領(lǐng)域有巨大應(yīng)用前景。此外,Cu對(duì)于半導(dǎo)體而言是一種重要的金屬,其電阻率低,電子遷移率高。有了上面的啟示我們研究基于Cu/Si納米線陣列肖特基結(jié)近紅外光電探測(cè)器并且取得的成果如下:1.通過Ag離子輔助反應(yīng)刻蝕法,在n型輕摻Si基底上,實(shí)現(xiàn)了 Si納米線陣列的可控生長。SEM表征顯示納米線陣列為垂直的有序陣列形貌,長度均一,約為4 μm,平均直徑約為150 nm （直徑的分布為100-300 nm）。2.以Cu（NO₃）₂為銅源,在水、乙二醇、水合肼的混合體系中,100℃水熱反應(yīng)30min,在Si... 

【文章來源】：合肥工業(yè)大學(xué)安徽省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：62 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．１電磁波圖譜??Ｆｉｇｌ．ｌ?Ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ?ｓｐｅｃｔｒｕｍ??紅外光又被稱“紅外輻射”、紅外線

圖１．２紅外探測(cè)器技術(shù)在軍事領(lǐng)域應(yīng)用實(shí)例??Ｆｉｇ?１．２?Ｔｙｐｉｃａｌｌｙ?ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ?ｏｆ?ｉｎｆｒａｒｅｄ?ｐｈｏｔｏｄｅｔｅｃｔｏｒｓ?ｉｎ?ｍｉｌｉｔａｒｙ?ｆｉｅｌｄ??１．紅外偵查??戰(zhàn)爭(zhēng)中情況復(fù)雜多變，可利用紅外探測(cè)技術(shù)作各種偵査活動(dòng)來掌握敵方的情??況。比如，為了使攔截來襲導(dǎo)彈有充足的時(shí)間，可以通過導(dǎo)彈預(yù)警衛(wèi)星攜帶的紅外??探測(cè)器偵查推動(dòng)導(dǎo)彈發(fā)射的發(fā)動(dòng)機(jī)尾焰的紅外輻射并發(fā)出警報(bào)；紅外觀察儀能在??不暴露自己的情況下探測(cè)并發(fā)現(xiàn)可見光不能發(fā)現(xiàn)的偽裝人和其他目標(biāo)，并提供目??標(biāo)的圖形，如圖１．２?（ａ）所示；對(duì)于敵人幾小時(shí)前駐過的營地利用紅外偵察設(shè)備??偵察就能確定出敵人武器設(shè)備、運(yùn)輸設(shè)備和燒飯的位置，進(jìn)而準(zhǔn)確、迅速的記錄??敵人軍事部署；通過紅外偵察相機(jī)配合飛機(jī)，白天黑夜都能清晰地拍攝出大面積??的戰(zhàn)地情況以及各種軍事目標(biāo)。??２．紅外制導(dǎo)??為了提髙命中率利用目標(biāo)本身的紅外輻射來引導(dǎo)導(dǎo)彈接近目標(biāo)的技術(shù)被稱為??紅外制導(dǎo)�？諏�(duì)空、空對(duì)地、地對(duì)空、反坦克導(dǎo)彈等一般為了提高命中率都采??

下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，可以說一個(gè)國家紅外探測(cè)的水平?jīng)Q定了紅外技術(shù)的水平。紅外探??測(cè)在軍事領(lǐng)域的應(yīng)用眾多，下面以紅外偵查和紅外制導(dǎo)為例簡(jiǎn)單介紹：??圖１．２紅外探測(cè)器技術(shù)在軍事領(lǐng)域應(yīng)用實(shí)例??Ｆｉｇ?１．２?Ｔｙｐｉｃａｌｌｙ?ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ?ｏｆ?ｉｎｆｒａｒｅｄ?ｐｈｏｔｏｄｅｔｅｃｔｏｒｓ?ｉｎ?ｍｉｌｉｔａｒｙ?ｆｉｅｌｄ??１．

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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