在過去數十年里,紫外探測由于在眾多民生或軍事領域中有諸多應用,一直以來都是一個深受科學家和工程師關注的課題.跨學科研究的快速發(fā)展使得基于多種不同原理的紫外探測器得以實現.在這些不同類型的紫外探測器中,基于聲表面波（SAW）技術的紫外探測器具有允許遠程無線操作和零功耗的獨特優(yōu)勢.本文綜述了基于SAW技術紫外探測器的主要工作原理、關鍵的性能指標以及常被使用到的一些不同種類的聲波和材料,介紹了這種紫外探測器的研究和發(fā)展現狀,總結了一些常用的優(yōu)化器件性能的方法.另外也簡單介紹了新型聲波紫外探測器,例如薄膜體聲波諧振器（FBARs）型聲紫外探測器和蘭姆波諧振器（LMRs）型聲紫外探測器.最后,本文指出未來發(fā)展所面臨的挑戰(zhàn),并對未來的發(fā)展方向提供了若干建議,希望可以促進這一重要研究領域的發(fā)展. 

【文章來源】：Science Bulletin. 2020,65(07)EISCICSCD

【文章頁數】：14 頁

【參考文獻】：
期刊論文
[1]基于硫化鉛量子點和氧化鋅納米顆粒異質結的高性能柔性和寬波段光電探測器（英文）[J]. 彭明發(fā),汪永杰,沈青青,謝欣凱,鄭和闖,馬萬里,文震,孫旭輝.  Science China Materials. 2019(02)
[2]Optical Field Confinement Enhanced Single ZnO Microrod UV Photodetector[J]. 魏銘,徐春祥,秦飛飛,Arumugam Gowri Manohari,盧俊峰,祝秋香.  Chinese Physics Letters. 2017(07)
[3]Transparent ZnO/glass surface acoustic wave based high performance ultraviolet light sensors[J]. 王文博,谷航,何興理,軒偉鵬,陳金凱,汪小知,駱季奎.  Chinese Physics B. 2015(05)



本文編號：3231361