在過去數(shù)十年里,紫外探測由于在眾多民生或軍事領(lǐng)域中有諸多應(yīng)用,一直以來都是一個深受科學(xué)家和工程師關(guān)注的課題.跨學(xué)科研究的快速發(fā)展使得基于多種不同原理的紫外探測器得以實(shí)現(xiàn).在這些不同類型的紫外探測器中,基于聲表面波（SAW）技術(shù)的紫外探測器具有允許遠(yuǎn)程無線操作和零功耗的獨(dú)特優(yōu)勢.本文綜述了基于SAW技術(shù)紫外探測器的主要工作原理、關(guān)鍵的性能指標(biāo)以及常被使用到的一些不同種類的聲波和材料,介紹了這種紫外探測器的研究和發(fā)展現(xiàn)狀,總結(jié)了一些常用的優(yōu)化器件性能的方法.另外也簡單介紹了新型聲波紫外探測器,例如薄膜體聲波諧振器（FBARs）型聲紫外探測器和蘭姆波諧振器（LMRs）型聲紫外探測器.最后,本文指出未來發(fā)展所面臨的挑戰(zhàn),并對未來的發(fā)展方向提供了若干建議,希望可以促進(jìn)這一重要研究領(lǐng)域的發(fā)展. 

【文章來源】：Science Bulletin. 2020,65(07)EISCICSCD

【文章頁數(shù)】：14 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號：3231361