利用流體模型對(duì)ArF準(zhǔn)分子激光氣體放電過程進(jìn)行了數(shù)值模擬,通過對(duì)比不同初始預(yù)電離強(qiáng)度下的氣體放電情況,分析了預(yù)電離效應(yīng)對(duì)準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)放電特性的影響,并探究了不同氣體參數(shù)下的預(yù)電離效果。結(jié)果表明,初始預(yù)電離強(qiáng)度對(duì)于極間擊穿電壓、ArF準(zhǔn)分子的形成以及光輸出特性均有顯著影響。在保證均勻電場(chǎng)且有效放電的情況下,低的初始預(yù)電離強(qiáng)度難以"點(diǎn)燃"氣體,但可以獲得較高的激光輸出能量,而提高初始預(yù)電離強(qiáng)度能有效降低擊穿電壓,卻不利于氣體對(duì)能量的吸收轉(zhuǎn)化。此外,預(yù)電離效果受工作氣壓與F2比例的影響,氣壓的升高或F2濃度的增加,均會(huì)降低預(yù)電離的有效性。 

【文章來源】：半導(dǎo)體光電. 2020,41(04)北大核心

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 模型描述
    1.1 基本方程
    1.2 放電電路
    1.3 邊界條件
    1.4 模型參數(shù)
2 結(jié)果與討論
    2.1 氣體放電的演化過程
    2.2 初始預(yù)電離強(qiáng)度對(duì)氣體放電的影響
        2.2.1 電學(xué)特性的變化情況
        2.2.2 粒子密度的變化情況
        2.2.3 激光輸出的變化情況
    2.3 氣體工作參數(shù)對(duì)預(yù)電離效果的影響
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[4]介質(zhì)阻擋放電中的紫外線預(yù)電離[J]. 詹花茂,李明,李成榕.  高電壓技術(shù). 2005(02)
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碩士論文
[1]低氣壓輝光放電等離子體模擬與特性研究[D]. 付強(qiáng)新.西安電子科技大學(xué) 2013



本文編號(hào)：3202020