三維激光球桿儀是自研發(fā)的一種被動(dòng)式激光跟蹤儀,為了提高其測量精度,該文系統(tǒng)地分析了其主要誤差源及補(bǔ)償方法。首先,通過誤差源分析,基于多體系統(tǒng)誤差建模理論對儀器進(jìn)行精度建模;其次,針對誤差補(bǔ)償模型,提出了簡單有效的模型參數(shù)測量方法,即多齒分度臺(tái)和光電自準(zhǔn)直儀標(biāo)定二維轉(zhuǎn)臺(tái)兩測角誤差,正倒鏡法測量兩旋轉(zhuǎn)軸的不相交度,精密三軸機(jī)床測量軸系不垂直度誤差;最后,完成精度補(bǔ)償驗(yàn)證。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在有效測量范圍內(nèi),補(bǔ)償后的垂直度誤差從120μm減小到28μm,X軸定位誤差從20μm減小到8μm,Z軸定位誤差從60μm減小到25μm。研究表明該補(bǔ)償方法在不改變硬件結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上能有效提高儀器的精度。 

【文章來源】：儀表技術(shù)與傳感器. 2020,(03)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 三維激光球桿儀誤差建模
    1.1 三維激光球桿坐標(biāo)系的建立
    1.2 三維激光球桿儀主要誤差源分析與定義
    1.3 三維激光球桿儀誤差補(bǔ)償模型
    1.4 不同坐標(biāo)系間的坐標(biāo)關(guān)系
2 模型參數(shù)的測量原理
    2.1 二維轉(zhuǎn)臺(tái)兩旋轉(zhuǎn)角度測角誤差標(biāo)定與補(bǔ)償
    2.2 垂直度誤差α和β的標(biāo)定
    2.3 豎直軸與水平軸不相交度標(biāo)定
    2.4 導(dǎo)軌直線度誤差δx和δz的測量
3 參數(shù)測量與校正
    3.1 二維轉(zhuǎn)臺(tái)兩編碼器測角誤差測量與補(bǔ)償
    3.2 豎直軸與水平軸不相交度Δy測量
    3.3 垂直度誤差α和β的測量
4 模型補(bǔ)償效果驗(yàn)證
5 結(jié)束語


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]一種導(dǎo)軌直線度與平行度測量系統(tǒng)的研究與應(yīng)用[J]. 王明海,婁志峰,黃余彬,王躍.  現(xiàn)代機(jī)械. 2018(05)
[2]面向激光追蹤測量系統(tǒng)二維回轉(zhuǎn)軸系的誤差分析及精度保證[J]. 宋輝旭,石照耀,陳洪芳,孫衍強(qiáng).  中國激光. 2018(05)
[3]飛秒激光跟蹤儀光軸與豎軸同軸度的標(biāo)定[J]. 崔成君,勞達(dá)寶,高書苑,郝春艷,周維虎.  光學(xué)精密工程. 2016(11)
[4]激光跟蹤儀轉(zhuǎn)鏡傾斜誤差的標(biāo)定及修正[J]. 張滋黎,朱涵,周維虎.  光學(xué)精密工程. 2015(05)
[5]激光跟蹤儀測角誤差補(bǔ)償[J]. 盧榮勝,李萬紅,勞達(dá)寶,周維虎,丁功明.  光學(xué)精密工程. 2014(09)



本文編號(hào)：3174613