半導(dǎo)體材料的少子壽命是評(píng)價(jià)半導(dǎo)體器件的性能的一項(xiàng)重要指標(biāo),在眾多少子壽命測(cè)量技術(shù)中,微波光電導(dǎo)測(cè)試技術(shù)因具有高精度、無接觸、即時(shí)測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用。微波諧振腔是一種特殊的傳感器,具有高精度、抗干擾能力強(qiáng)、高敏感度的優(yōu)點(diǎn)。微波諧振腔利用微擾探測(cè)理論,利用諧振腔傳感器輸出功率變化和諧振頻率偏移,可實(shí)現(xiàn)材料介電常數(shù)、磁導(dǎo)率和與之相關(guān)的物理過程的探測(cè)。本研究基于微波諧振腔微擾理論,研究目標(biāo)為利用圓柱諧振腔實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體在光激發(fā)后的非平衡載流子瞬態(tài)動(dòng)力學(xué)測(cè)量,在理論方面詳細(xì)闡述了微波微擾法,結(jié)合半導(dǎo)體的能級(jí)結(jié)構(gòu)理論,利用受迫振動(dòng)的諧振子模型分析出,光生載流子分為自由載流子和被陷阱俘獲的載流子,自由載流子主要引起介電常數(shù)虛部變化,消耗微波功率;被束縛的載流子參與極化作用,主要引起介電常數(shù)實(shí)部的變化,使諧振腔的頻率發(fā)生偏移。本工作的重點(diǎn)是諧振腔設(shè)計(jì),耦合,以及阻抗匹配調(diào)節(jié),沒有具體區(qū)分光電導(dǎo)和光介電兩個(gè)效應(yīng)。在諧振腔傳感器設(shè)計(jì)方面,利用電磁場(chǎng)理論分析了圓柱腔內(nèi)的電磁場(chǎng)形態(tài)和分布方式,設(shè)計(jì)了兩個(gè)不同品質(zhì)因數(shù)的表面鍍金的黃銅圓柱體諧振腔,分別諧振TE₀₁₁和TM₀₁₂

【文章來源】：河北大學(xué)河北省

【文章頁數(shù)】：79 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 微波特性及技術(shù)發(fā)展
    1.2 微波無損測(cè)量和材料介電常數(shù)
    1.3 基于微擾法的微波介電測(cè)量技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀
    1.4 微波微擾法和微波光電導(dǎo)測(cè)量的關(guān)系及發(fā)展
    1.5 研究目的和研究?jī)?nèi)容
第二章 相關(guān)理論
    2.1 品質(zhì)因數(shù)Q
    2.2 諧振腔微擾原理
    2.3 光電導(dǎo)和光介電測(cè)量原理
    2.4 本章小結(jié)
第三章 諧振傳感器設(shè)計(jì)
    3.1 金屬波導(dǎo)和諧振腔電磁特性
    3.2 電磁諧振模式
        3.2.1 TM模式
        3.2.2 TE模式
    3.3 單模諧振腔參數(shù)分析與設(shè)計(jì)
        3.3.1 諧振腔形狀和材料
        3.3.2 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    3.4 耦合機(jī)制
    3.5 諧振仿真和耦合優(yōu)化設(shè)計(jì)
    3.6 本章小結(jié)
第四章 儀器搭建與實(shí)驗(yàn)測(cè)量
    4.1 諧振腔輸出信號(hào)分析
    4.2 時(shí)間分辨率
    4.3 數(shù)據(jù)分析
    4.4 本章小結(jié)
第五章 結(jié)論和展望
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間取得的科研成果
致謝


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
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