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4-inch藍寶石圖形襯底上GaN基白光LED制備及表征

發(fā)布時間:2021-04-27 05:58
  在4-inch藍寶石圖形襯底上,基于InGaN/GaN多量子阱結(jié)構(gòu)制備了藍光LED芯片,并通過與釔鋁石榴石黃色熒光粉(YAG∶Ce3+)結(jié)合,封裝成白光LED器件。簡要介紹了外延生長和芯片工藝及封裝流程,并對材料特性及器件性能進行了表征。外延片表面形貌良好,藍光外延片熒光光譜(PL)顯示峰值波長為442 nm。對封裝后白光芯片進行電學特性測試,得出其開啟與限流電壓分別為2.7 V與3.6 V。此外,電致發(fā)光光譜(EL)含有兩個主要的發(fā)光峰,分別是440 nm的藍光峰以及540 nm的黃綠光峰,而隨著注入電流的增加,藍光峰位先藍移后紅移,黃綠光峰位先紅移后藍移再紅移。本文中相關(guān)的芯片制備及表征技術(shù)將對固態(tài)照明研究起到一定的促進作用。 

【文章來源】:發(fā)光學報. 2020,41(07)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】:5 頁

【文章目錄】:
1 引 言
2 實 驗
3 結(jié)果與討論
4 結(jié) 論


【參考文獻】:
期刊論文
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[2]階梯狀量子阱結(jié)構(gòu)對藍光GaN基LED性能的改善[J]. 劉軒,王美玉,李毅,朱友華.  半導體技術(shù). 2019(10)
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博士論文
[1]Ⅲ-Ⅴ族半導體材料及AlGaN/GaN HEMT器件輻照效應研究[D]. 胡培培.中國科學院大學(中國科學院近代物理研究所) 2019
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碩士論文
[1]鈦酸鋇基熒光粉的制備及其光致發(fā)光性能研究[D]. 劉婉露.中國科學院大學(中國科學院上海硅酸鹽研究所) 2018
[2]白光LED用YAG系列熒光材料的制備及光學性質(zhì)研究[D]. 楊程.溫州大學 2017



本文編號:3162906

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