為了研究聚酰亞胺薄膜在308nm準(zhǔn)分子激光下的剝離效果,采用實(shí)驗(yàn)研究的方法,分別探究了激光能量密度、光斑重疊率、脈沖頻率、襯底溫度對激光剝離效果的影響,并結(jié)合顯微鏡觀察剝離后的襯底和薄膜形貌。結(jié)果表明,激光剝離能量閾值約為160mJ/cm²,在激光能量密度為180mJ/cm²～190mJ/cm²左右、光斑重疊率為68. 33%時(shí),剝離效果較好;提高襯底溫度有利于激光剝離過程。該研究對聚酰亞胺薄膜在柔性電子領(lǐng)域的工業(yè)化應(yīng)用具有一定意義。 

【文章來源】：激光技術(shù). 2020,44(01)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：8 頁

【文章目錄】：
引言
1 激光剝離過程中的熱力學(xué)過程
    1.1 激光作用過程
    1.2 激光作用后過程
2 準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)簡介
3 308nm準(zhǔn)分子激光剝離聚酰亞胺薄膜實(shí)驗(yàn)
    3.1 激光能量密度對剝離效果的影響與結(jié)果分析
    3.2 光斑重疊率對剝離效果的影響與結(jié)果分析
    3.3 脈沖頻率對剝離效果的影響與結(jié)果分析
    3.3 襯底溫度對剝離效果的影響與結(jié)果分析
4 結(jié)論



本文編號(hào)：3150632