在片微波參數(shù)測量系統(tǒng)主要通過探針臺建立微波儀器與半導(dǎo)體裸芯片之間的信號連接通道,從而測量半導(dǎo)體裸芯片的微波參數(shù)。在片微波參數(shù)測量系統(tǒng)對提升芯片的性能,控制質(zhì)量,保證芯片的一致性和穩(wěn)定性方面具有重要的意義。國外相關(guān)的計量技術(shù)與測量系統(tǒng)同步發(fā)展,我國由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步較晚,測試系統(tǒng)大多采用進口,相關(guān)計量測試技術(shù)在過去很長一段時間發(fā)展相對緩慢。最近10年我國奮起直追,不斷縮小與世界先進水平的差距,目前已經(jīng)完成40 GHz以內(nèi)的主要在片微波參數(shù)測量系統(tǒng)計量能力。文中回顧了本領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展歷程,介紹國內(nèi)外技術(shù)發(fā)展特點,對于進一步發(fā)展相關(guān)計量技術(shù)具有指導(dǎo)意義。 

【文章來源】：微波學(xué)報. 2020,36(04)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【部分圖文】：

在片S參數(shù)測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)組成圖

當(dāng)前最具代表性的在片噪聲參數(shù)測量系統(tǒng)如圖2所示,其組成包括帶內(nèi)置噪聲選件的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、噪聲源、偏置網(wǎng)絡(luò)、阻抗調(diào)配器、探針臺、前置低噪放。2.2 國外計量技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢

隨著科學(xué)技術(shù)的進步和信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,微波功率器件廣泛應(yīng)用于雷達、電子對抗、基站、廣播電視等系統(tǒng),微波功率器件的需求在快速增長,因此,功率器件參數(shù)的測量技術(shù)日益重要。測量參數(shù)中的功率、附加效率、增益、線性度等都與阻抗有關(guān)[23]。為解決上述測量需求,在片負(fù)載牽引測量系統(tǒng)應(yīng)運而生,其主要由阻抗調(diào)配器、微波功率計、探針臺、微波探針、功率放大器、信號源、偏置網(wǎng)絡(luò)、衰減器等組成,見圖3。3.2 國外計量技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3145182