Nb:SrTiO 3 /ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)研究
發(fā)布時(shí)間:2021-04-13 14:05
當(dāng)今社會是一個(gè)高速發(fā)展的信息化的社會。伴隨著網(wǎng)絡(luò)以及各種電子產(chǎn)品的快速發(fā)展,越來越多的人渴望新材料出現(xiàn)來改善目前單一材料的現(xiàn)狀,從而更多的科研工作者計(jì)劃并開展了各種異質(zhì)結(jié)的相關(guān)研究工作。ZnO作為一種寬禁帶(3.3 eV)、直接帶隙的Ⅱ-Ⅵ族化合物,是具有六方纖鋅礦結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體,因?yàn)槠鋼碛休^高的激子結(jié)合能以及透明導(dǎo)電性,在藍(lán)紫外發(fā)光器件、光電轉(zhuǎn)換器件、稀磁半導(dǎo)體和透明導(dǎo)電材料等有著廣闊的應(yīng)用前景。SrTiO3(STO)單晶通常用于沉積氧化物薄膜,屬于鈣鈦礦氧化物結(jié)構(gòu),特別注意的是,ZnO和Nb:SrTiO3(NSTO)所組成的外延異質(zhì)結(jié)已發(fā)現(xiàn)有電阻開關(guān)、負(fù)微分電阻的特性,NSTO單晶襯底上ZnO納米棒的施加光和電之后的電學(xué)特性,從而吸引了越來越多的關(guān)注。此外,由非磁性元素所組成的異質(zhì)結(jié)的磁性研究,已成為近幾年研究的熱點(diǎn),尤其是兩個(gè)非磁性氧化物絕緣體界面的研究,就產(chǎn)生了一個(gè)有趣的外延異質(zhì)結(jié)構(gòu),現(xiàn)已發(fā)現(xiàn)的有超導(dǎo)、鐵磁性的異質(zhì)結(jié)以及超導(dǎo)和鐵磁性共存的異質(zhì)結(jié)。尤其是磁場調(diào)制的非磁性氧化物異質(zhì)結(jié)的電遷移現(xiàn)象,因?yàn)槠鋸V闊的應(yīng)用前景而備受關(guān)注,例如磁阻在巨磁...
【文章來源】:河南大學(xué)河南省
【文章頁數(shù)】:72 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【文章目錄】:
摘要
ABSTRACT
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的研究現(xiàn)狀">第1章 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的研究現(xiàn)狀
1.1 引言
1.2 ZnO的基本介紹
1.2.1 ZnO的晶體結(jié)構(gòu)
1.2.2 ZnO的應(yīng)用
3的基本介紹"> 1.3 SrTiO3的基本介紹
3的結(jié)構(gòu)"> 1.3.1 SrTiO3的結(jié)構(gòu)
3的應(yīng)用"> 1.3.2 SrTiO3的應(yīng)用
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的研究現(xiàn)狀"> 1.4 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的研究現(xiàn)狀
1.5 本文的主要研究內(nèi)容
參考文獻(xiàn)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的生長與表征">第2章 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的生長與表征
3/ZnO器件的制備方法"> 2.1 Nb:SrTiO3/ZnO器件的制備方法
2.2 磁控濺射技術(shù)
2.3 表征手段
2.3.1 X射線衍射
2.3.2 Keithley 2400
2.3.3 Aglient 4294A
2.3.4 變溫系統(tǒng)
2.3.5 綜合物性測量系統(tǒng)(PPMS)
2.3.6 深能級瞬態(tài)譜(DLTS)
2.4 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)">第3章 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的生長"> 3.1 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的生長
3.1.1 襯底的選擇
3.1.2 利用磁控濺射儀生長ZnO薄膜
3.2 XRD表征
3.3 形貌表征
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的電學(xué)性質(zhì)"> 3.4 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的電學(xué)性質(zhì)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的I-V特性"> 3.4.1 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的I-V特性
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的C-V特性"> 3.4.2 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的C-V特性
3.5 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)的影響">第4章 磁場/溫度/光照對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)電學(xué)性質(zhì)的影響"> 4.1 磁場對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)電學(xué)性質(zhì)的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)I-V特性的影響"> 4.1.1 磁場對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)I-V特性的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)C-V特性的影響"> 4.1.2 磁場對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)C-V特性的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的磁性測試"> 4.1.3 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的磁性測試
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)的影響"> 4.2 溫度對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的變溫I-V測試"> 4.2.1 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的變溫I-V測試
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的變溫C-V測試"> 4.2.2 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的變溫C-V測試
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)電學(xué)性質(zhì)的影響"> 4.3 光照對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)電學(xué)性質(zhì)的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)I-V特性的影響"> 4.3.1 光照對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)I-V特性的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)C-V特性的影響"> 4.3.2 光照對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)C-V特性的影響
4.4 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的深能級瞬態(tài)譜">第5章 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的深能級瞬態(tài)譜
5.1 深能級瞬態(tài)譜(DLTS)測試原理
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的深能級測試"> 5.2 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的深能級測試
3/外延異質(zhì)結(jié)的制備"> 5.2.1 Nb:SrTiO3/外延異質(zhì)結(jié)的制備
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)DLTS測試"> 5.2.2 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)DLTS測試
5.3 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
總結(jié)與展望
致謝
攻讀學(xué)位期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文目錄
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]InAlN材料表面態(tài)性質(zhì)研究[J]. 楊彥楠,王新強(qiáng),盧勵(lì)吾,黃呈橙,許福軍,沈波. 物理學(xué)報(bào). 2013(17)
[2]Al摻雜ZnO薄膜的厚度對其結(jié)構(gòu)及磁學(xué)性能的影響[J]. 豈云開,顧建軍,劉力虎,張海峰,徐芹,孫會元. 物理學(xué)報(bào). 2011(06)
[3]摻雜透明導(dǎo)電半導(dǎo)體薄膜的光電性能研究[J]. 葛春橋,郭愛云,胡小峰. 應(yīng)用光學(xué). 2006(01)
[4]濺射法制備納米薄膜材料及進(jìn)展[J]. 賈嘉. 半導(dǎo)體技術(shù). 2004(07)
[5]磁控濺射法制備防水透濕織物[J]. 孫銀潔,馬林,齊宏進(jìn). 高分子材料科學(xué)與工程. 2003(04)
[6]高速鋼鍍氮化碳超硬涂層及其應(yīng)用研究[J]. 吳大維,曾昭元,劉傳勝,張友珍,彭友貴,范湘軍. 核技術(shù). 2003(04)
[7]高速、大容量需求殷切光存儲產(chǎn)業(yè)將進(jìn)入世代轉(zhuǎn)換年代[J]. 張英信,黃欣怡. 電子測試. 2003(04)
[8]真空鍍膜技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展[J]. 王銀川. 現(xiàn)代儀器. 2000(06)
碩士論文
[1]ZnO/Nb:SrTiO3(BaTiO3)異質(zhì)結(jié)的電輸運(yùn)性質(zhì)[D]. 方應(yīng)龍.河南大學(xué) 2015
[2]鈦酸鋇薄膜的阻變開關(guān)現(xiàn)象和負(fù)微分電阻現(xiàn)象的研究[D]. 楊光.河南大學(xué) 2014
[3]AlGaN/AlN/GaN 異質(zhì)結(jié)二維電子氣的磁輸運(yùn)特性研究[D]. 焦莎莎.西安電子科技大學(xué) 2011
[4]藍(lán)寶石襯底上高質(zhì)量AlN材料生長研究[D]. 馮超.華中科技大學(xué) 2011
[5]磁控濺射法制備ZnO薄膜及光電導(dǎo)探測器的研制[D]. 范曉玲.山東理工大學(xué) 2010
[6]ZnO薄膜的溶膠凝膠法制備工藝及其性能的研究[D]. 謝學(xué)武.中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2009
本文編號:3135434
【文章來源】:河南大學(xué)河南省
【文章頁數(shù)】:72 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【文章目錄】:
摘要
ABSTRACT
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的研究現(xiàn)狀">第1章 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的研究現(xiàn)狀
1.1 引言
1.2 ZnO的基本介紹
1.2.1 ZnO的晶體結(jié)構(gòu)
1.2.2 ZnO的應(yīng)用
3的基本介紹"> 1.3 SrTiO3的基本介紹
3的結(jié)構(gòu)"> 1.3.1 SrTiO3的結(jié)構(gòu)
3的應(yīng)用"> 1.3.2 SrTiO3的應(yīng)用
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的研究現(xiàn)狀"> 1.4 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的研究現(xiàn)狀
1.5 本文的主要研究內(nèi)容
參考文獻(xiàn)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的生長與表征">第2章 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的生長與表征
3/ZnO器件的制備方法"> 2.1 Nb:SrTiO3/ZnO器件的制備方法
2.2 磁控濺射技術(shù)
2.3 表征手段
2.3.1 X射線衍射
2.3.2 Keithley 2400
2.3.3 Aglient 4294A
2.3.4 變溫系統(tǒng)
2.3.5 綜合物性測量系統(tǒng)(PPMS)
2.3.6 深能級瞬態(tài)譜(DLTS)
2.4 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)">第3章 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的生長"> 3.1 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的生長
3.1.1 襯底的選擇
3.1.2 利用磁控濺射儀生長ZnO薄膜
3.2 XRD表征
3.3 形貌表征
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的電學(xué)性質(zhì)"> 3.4 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的電學(xué)性質(zhì)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的I-V特性"> 3.4.1 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的I-V特性
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的C-V特性"> 3.4.2 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的C-V特性
3.5 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)的影響">第4章 磁場/溫度/光照對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)電學(xué)性質(zhì)的影響"> 4.1 磁場對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)電學(xué)性質(zhì)的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)I-V特性的影響"> 4.1.1 磁場對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)I-V特性的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)C-V特性的影響"> 4.1.2 磁場對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)C-V特性的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的磁性測試"> 4.1.3 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的磁性測試
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)的影響"> 4.2 溫度對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的整流效應(yīng)的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的變溫I-V測試"> 4.2.1 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的變溫I-V測試
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的變溫C-V測試"> 4.2.2 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的變溫C-V測試
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)電學(xué)性質(zhì)的影響"> 4.3 光照對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)電學(xué)性質(zhì)的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)I-V特性的影響"> 4.3.1 光照對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)I-V特性的影響
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)C-V特性的影響"> 4.3.2 光照對Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)C-V特性的影響
4.4 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的深能級瞬態(tài)譜">第5章 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的深能級瞬態(tài)譜
5.1 深能級瞬態(tài)譜(DLTS)測試原理
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的深能級測試"> 5.2 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)的深能級測試
3/外延異質(zhì)結(jié)的制備"> 5.2.1 Nb:SrTiO3/外延異質(zhì)結(jié)的制備
3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)DLTS測試"> 5.2.2 Nb:SrTiO3/ZnO外延異質(zhì)結(jié)DLTS測試
5.3 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
總結(jié)與展望
致謝
攻讀學(xué)位期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文目錄
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]InAlN材料表面態(tài)性質(zhì)研究[J]. 楊彥楠,王新強(qiáng),盧勵(lì)吾,黃呈橙,許福軍,沈波. 物理學(xué)報(bào). 2013(17)
[2]Al摻雜ZnO薄膜的厚度對其結(jié)構(gòu)及磁學(xué)性能的影響[J]. 豈云開,顧建軍,劉力虎,張海峰,徐芹,孫會元. 物理學(xué)報(bào). 2011(06)
[3]摻雜透明導(dǎo)電半導(dǎo)體薄膜的光電性能研究[J]. 葛春橋,郭愛云,胡小峰. 應(yīng)用光學(xué). 2006(01)
[4]濺射法制備納米薄膜材料及進(jìn)展[J]. 賈嘉. 半導(dǎo)體技術(shù). 2004(07)
[5]磁控濺射法制備防水透濕織物[J]. 孫銀潔,馬林,齊宏進(jìn). 高分子材料科學(xué)與工程. 2003(04)
[6]高速鋼鍍氮化碳超硬涂層及其應(yīng)用研究[J]. 吳大維,曾昭元,劉傳勝,張友珍,彭友貴,范湘軍. 核技術(shù). 2003(04)
[7]高速、大容量需求殷切光存儲產(chǎn)業(yè)將進(jìn)入世代轉(zhuǎn)換年代[J]. 張英信,黃欣怡. 電子測試. 2003(04)
[8]真空鍍膜技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展[J]. 王銀川. 現(xiàn)代儀器. 2000(06)
碩士論文
[1]ZnO/Nb:SrTiO3(BaTiO3)異質(zhì)結(jié)的電輸運(yùn)性質(zhì)[D]. 方應(yīng)龍.河南大學(xué) 2015
[2]鈦酸鋇薄膜的阻變開關(guān)現(xiàn)象和負(fù)微分電阻現(xiàn)象的研究[D]. 楊光.河南大學(xué) 2014
[3]AlGaN/AlN/GaN 異質(zhì)結(jié)二維電子氣的磁輸運(yùn)特性研究[D]. 焦莎莎.西安電子科技大學(xué) 2011
[4]藍(lán)寶石襯底上高質(zhì)量AlN材料生長研究[D]. 馮超.華中科技大學(xué) 2011
[5]磁控濺射法制備ZnO薄膜及光電導(dǎo)探測器的研制[D]. 范曉玲.山東理工大學(xué) 2010
[6]ZnO薄膜的溶膠凝膠法制備工藝及其性能的研究[D]. 謝學(xué)武.中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2009
本文編號:3135434
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