光刻機(jī)研發(fā)周期長(zhǎng)且結(jié)構(gòu)復(fù)雜,鑒于目前國內(nèi)外缺乏系統(tǒng)、有效的光刻機(jī)可靠性工作水平的評(píng)價(jià)方法,通過對(duì)光刻機(jī)的開發(fā)流程與可靠性工作項(xiàng)目相結(jié)合的研究,提出了一種適用于復(fù)雜系統(tǒng)光刻機(jī)的可靠性指數(shù)模型及相應(yīng)的評(píng)價(jià)體系,主要包含可靠性設(shè)計(jì)、物料優(yōu)選、可靠性試驗(yàn)、故障歸零及現(xiàn)場(chǎng)可靠性數(shù)據(jù)等參數(shù)進(jìn)行可靠性工作水平評(píng)價(jià)。通過實(shí)例表明,該指數(shù)可客觀地用于光刻機(jī)可靠性工作評(píng)價(jià),并有效指導(dǎo)企業(yè)進(jìn)行可靠性的持續(xù)改進(jìn),從而提升光刻機(jī)可靠性系統(tǒng)管理的效率與科學(xué)化。 

【文章來源】：制造技術(shù)與機(jī)床. 2020,(09)北大核心

【文章頁數(shù)】：4 頁

【文章目錄】：
1 可靠性指數(shù)模型
    1.1 可靠性指數(shù)內(nèi)涵
    1.2 可靠性指數(shù)模型
    1.3 可靠性指數(shù)量化及數(shù)據(jù)
2 案例應(yīng)用分析
3 結(jié)語


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3115867