隨著MEMS諧振器應(yīng)用的日益廣泛,業(yè)界對于該器件的設(shè)計(jì)制造也提出了更高的要求。由于諧振器的尺寸較小,在工作時會受到比較大的氣體阻尼效應(yīng)。擠壓膜阻尼作為其中的一種,對器件的工作特性具有較大影響。因此,如何在設(shè)計(jì)階段準(zhǔn)確地預(yù)測器件的擠壓膜阻尼以提高諧振器件的品質(zhì)因數(shù)就成了關(guān)鍵。在利用連續(xù)介質(zhì)理論研究MEMS諧振器件的擠壓膜阻尼時,前人對于矩形板扭轉(zhuǎn)諧振器擠壓膜阻尼的研究雖然成果斐然,但是此類研究僅僅考慮了扭轉(zhuǎn)軸在矩形板中心軸上或者處于矩形板某一邊界上的情況,而缺少一種通用的理論模型來描述扭轉(zhuǎn)軸處于不同位置時器件的擠壓膜阻尼。且查閱當(dāng)前的資料也可以發(fā)現(xiàn),一種對于穿孔及未穿孔兩種狀態(tài)下的通用理論模型也尚未提出,研究模型亟待完善。本文在前人的研究基礎(chǔ)上,利用連續(xù)介質(zhì)理論對扭轉(zhuǎn)軸處于任意位置的MEMS剛性未穿孔和穿孔矩形板扭轉(zhuǎn)微諧振器件的擠壓膜阻尼進(jìn)行了研究。對于扭轉(zhuǎn)軸的任意位置,本文通過定義扭轉(zhuǎn)軸偏移矩形板中心軸的距離變量來進(jìn)行描述,隨后本文利用雙正弦級數(shù)法對間隙氣體的修正雷諾方程進(jìn)行求解得出兩種結(jié)構(gòu)下的擠壓膜阻尼解析模型,并給出阻尼系數(shù)、剛度系數(shù)和品質(zhì)因數(shù)的具體推導(dǎo)過程。同時,本文給定矩形板運(yùn)... 

【文章來源】：東南大學(xué)江蘇省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：93 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

施加載荷后的扭轉(zhuǎn)微矩形板有限元模型（l=100μm）

矩形板扭轉(zhuǎn)諧振器間隙氣體壓強(qiáng)實(shí)部分布圖（l=100μm）

圖 3-4 矩形板扭轉(zhuǎn)諧振器間隙氣體壓強(qiáng)虛部分布圖（l=100μm）據(jù)單元的面積 A 及節(jié)點(diǎn) x 方向的坐標(biāo)，可以得到矩形板扭轉(zhuǎn)擠壓膜阻尼的矩T P A xReRe（

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號：3101920