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基于激光散射的表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)研究

發(fā)布時(shí)間:2021-03-24 03:08
  為了測(cè)量金屬和絕緣表面兩種材料的粗糙度參量,采用了基于激光散射法的斜入射粗糙度測(cè)量系統(tǒng)。用半導(dǎo)體激光器作光源,用互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體工業(yè)相機(jī)拍攝粗糙度表面的散射光斑,分析光斑特征參量與粗糙度之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系,通過(guò)理論分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了特征參量與粗糙度值之間存在單調(diào)性關(guān)系,利用MATLAB設(shè)計(jì)圖形用戶界面,實(shí)現(xiàn)粗糙度值的一鍵式測(cè)量功能。結(jié)果表明,該系統(tǒng)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,對(duì)金屬樣品和塑料絕緣表面進(jìn)行測(cè)試,測(cè)量結(jié)果與觸針式測(cè)量之間的誤差小于8%(其中絕緣表面小于5%),能夠?qū)崿F(xiàn)不同材料表面的粗糙度值測(cè)量。這一結(jié)果對(duì)物體表面的粗糙度測(cè)量研究是有幫助的。 

【文章來(lái)源】:激光技術(shù). 2020,44(05)北大核心CSCD

【文章頁(yè)數(shù)】:5 頁(yè)

【文章目錄】:
引言
1 工作原理
2 系統(tǒng)設(shè)計(jì)
    2.1 光路設(shè)計(jì)
    2.2 軟件設(shè)計(jì)
3 驗(yàn)證試驗(yàn)
    3.1 參量驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)
    3.2 粗糙度測(cè)量實(shí)驗(yàn)
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
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本文編號(hào):3096939

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