單頻激光測振儀具有光路簡單、測量精度高、集成度高等優(yōu)點,可實現(xiàn)對振動、位移、加速度等工程量精密測量,被廣泛地應(yīng)用于科學(xué)研究和精密工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域。近年來超精密制造和微機電系統(tǒng)工程的快速發(fā)展對單頻激光干涉測振儀提出了更高的測量速度和精度要求。首先,在高速振動測量場合,由于信號探測單元的帶寬限制,單頻激光干涉測振儀無法對高速振動進行有效測量;其次,由于現(xiàn)有非線性誤差校正算法魯棒性較低,導(dǎo)致其在實際測量中難以對非線性誤差進行有效的校正,使得測振無法達到高精度要求。本課題“單頻激光測振儀信號探測與非線性校正算法優(yōu)化研究”主要圍繞以上兩點問題展開:研究通過實驗設(shè)計和理論分析,確定了限制信號探測單元帶寬的主要影響因素,并針對性地對信號探測單元的進行了優(yōu)化設(shè)計,實現(xiàn)了高帶寬低失真的光電信號探測;通過深入分析現(xiàn)有非線性誤差校正算法的缺陷和不足,并結(jié)合實際測量目標的振動特性,設(shè)計了高魯棒性的非線性校正優(yōu)化算法。最后,設(shè)計研制了一套單頻激光測振儀。本課題主要研究工作如下:針對目前單頻激光測振儀無法測量高速振動的問題,通過實驗分析確定目前光電探測模塊存在三點主要缺陷:跨阻放大電路帶寬較低,測量通道之間相位特性不... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：71 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

軟硬件結(jié)合校正非線性誤差[30]

等相位間隔采樣校正[33]

現(xiàn)有跨阻放大器電路

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3081522