發(fā)布時(shí)間：2021-03-14 00:06

　　采用離子注入剝離法轉(zhuǎn)移制備了43°Y-切鈮酸鋰（LiNbO₃,LN）單晶壓電薄膜材料,以SiO₂/Mo作為聲反射結(jié)構(gòu)制備了固態(tài)聲反射型薄膜體聲波器件。諧振器工作頻率約為3 GHz,LN薄膜等效機(jī)電耦合系數(shù)達(dá)到14.15%。對(duì)諧振器的頻率溫度特性進(jìn)行了表征,結(jié)果表明,盡管LN單晶的頻率溫度系數(shù)為（-70～-90）×10^-6/℃,但由于聲反射結(jié)構(gòu)中包含有正溫度系數(shù)的SiO₂層,諧振器的頻率溫度系數(shù)降至-18×10^-6/℃,這表明固態(tài)聲反射結(jié)構(gòu)能夠有效抑制單晶LN薄膜的溫漂,獲得低頻率溫度系數(shù)的諧振器器件。 

【文章來(lái)源】：壓電與聲光. 2020,42(04)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：5 頁(yè)

【部分圖文】：

LN BAW的三維模型圖和阻抗-頻率響應(yīng)圖

LN BAW諧振器的實(shí)際測(cè)試結(jié)果

LN BAW諧振器的實(shí)際測(cè)試結(jié)果


本文編號(hào)：3081145