非制冷紅外焦平面探測器（Uncooled IRFPA）像元結(jié)構(gòu)從單層結(jié)構(gòu)向雙層結(jié)構(gòu)的發(fā)展降低了探測器噪聲,提升了性能。介紹了像元的MEMS結(jié)構(gòu)及主要物理參數(shù),指出雙層結(jié)構(gòu)與單層結(jié)構(gòu)的主要差異在于像元有效面積和橋臂熱導的不同。三維噪聲模型是對IRFPA噪聲進行分析的有效手段,其中時空隨機噪聲是非制冷IRFPA最主要的噪聲成份。分析了非制冷IRFPA時空隨機噪聲的產(chǎn)生機理,建立了時空隨機噪聲模型,得到時空隨機噪聲與像元有效面積和橋臂熱導的關系。將某款單層像元結(jié)構(gòu)探測器改進為雙層像元結(jié)構(gòu)并進行噪聲測試,實測數(shù)據(jù)證明了非制冷IRFPA時空隨機噪聲模型的有效性。 

【文章來源】：紅外與毫米波學報. 2020,39(02)北大核心

【文章頁數(shù)】：7 頁

【部分圖文】：

圖１微測輻射熱計像元典型結(jié)構(gòu)示意圖［２］??

１４４??紅外與毫米波學報??３９卷??ｂｌｅ－ｌａｙｅｒ?ｐｉｘｅｌ?ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ?ｈａｓ?ｂｅｃｏｍｅ?ｔｈｅ?ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ??ｔｒｅｎｄ?ｉｎ?ｕｎｃｏｏｌｅｄ?ＩＲＦＰＡ?ｐｉｘｅｌ?ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ?ｒｅｓｅａｒｃｈ．??⑷?（ｂ）??Ｆｉｇ．?２?Ｐｉｘｅｌ?ＭＥＭＳ?ａｒｃｈｉｔｅｃｔｕｒｅ?（ａ）?ｓｉｎｇｌｅ?ｌａｙｅｒ，?（ｂ）?ｄｏｕｂｌｅ??ｌａｙｅｒｓ??圖２像元ＭＥＭＳ結(jié)構(gòu)（ａ）單層結(jié)構(gòu)，（ｂ）雙層結(jié)構(gòu)??Ｔｈｅ?ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ?ｂｅｔｗｅｅｎ?ｔｈｅ?ｄｏｕｂｌｅ－ｌａｙｅｒ?ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ??ａｎｄ?ｓｉｎｇｌｅ－ｌａｙｅｒ?ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ?ｉｓ?ｍａｉｎｌｙ?ｅｘｐｒｅｓｓｅｄ?ｏｎ?ｔｈｅ??ｍｅｍｂｒａｎｅ?ａｎｄ?ｌｅｇ．?Ｔｈｅ?ｅｆｆｅｃｔ?ｏｆ?ｔｈｅ?ｍｅｍｂｒａｎｅ?ｉｓ?ｔｏ?ａｂ？??ｓｏｒｂ?ｉｎｆｒａｒｅｄ?ｒａｄｉａｔｉｏｎ?ａｎｄ?ｃｏｎｖｅｒｔ?ｈｅａｔ?ｉｎｔｏ?ｔｈｅ?ｃｈａｎｇｅ?ｉｎ??ｖａｌｕｅ?ｏｆ?ｔｈｅ?ｐｉｘｅｌ?ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ．?Ｔｈｅ?ａｒｅａ?ｏｆ?ｔｈｅ?ｍｅｍｂｒａｎｅ??ｗｉｔｈ?ｉｎｆｒａｒｅｄ?ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ?ａｂｉｌｉｔｙ?ｉｓ?ｃａｌｌｅｄ?ｔｈｅ?ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ?ａｒｅａ??ｏｆ?ｔｈｅ?ｐｉｘｅｌ．?Ｔｈｅ?ｌａｒｇｅｒ?ｔｈｅ?ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ?ａｒｅａ，?ｔｈｅ?ｓｔｒｏｎｇｅｒ??ｔｈｅ?ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ?ａｂｉｌｉｔｙ?ｆｏｒ?ｉｎｆｒａｒｅｄ?ｒａｄｉａｔｉｏｎ．?Ｆｏｒ?ａ?ｓｉｎｇｌｅ？??ｌａｙｅｒ?ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，?ｔｈｅ?ｔｏｔａｌ?ａｒｅａ?

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【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3058010