多波長(zhǎng)顯微干涉的光強(qiáng)一致性控制方法
發(fā)布時(shí)間:2021-02-28 17:08
提出一種多波長(zhǎng)顯微干涉光強(qiáng)一致性的控制方法。將光強(qiáng)可調(diào)的白光LED作為多波長(zhǎng)光源,在顯微干涉光路中加入光強(qiáng)探測(cè)器,將從不同濾光片出射光的光強(qiáng)實(shí)時(shí)反饋到STM32單片機(jī)中,通過(guò)PID(Proportion Integration Differentiation)控制快速調(diào)整LED輸出光強(qiáng),實(shí)現(xiàn)不同波長(zhǎng)光強(qiáng)的一致性,進(jìn)而得到灰度分布一致的多波長(zhǎng)干涉圖像。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,本文方法能夠使不同波長(zhǎng)的光強(qiáng)快速準(zhǔn)確地穩(wěn)定在設(shè)定值,將對(duì)應(yīng)的不同波長(zhǎng)干涉圖像對(duì)比度誤差從18%減小到2%。
【文章來(lái)源】:激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2020,57(03)北大核心
【文章頁(yè)數(shù)】:8 頁(yè)
【部分圖文】:
光強(qiáng)一致性干涉測(cè)量系統(tǒng)原理圖
本文多波長(zhǎng)的獲得方式是利用白光光源和中心波長(zhǎng)不一樣的多種窄帶濾光片組合的方式,該方式可以在不切換光源的情況下得到不同的單波長(zhǎng)光束。白光LED一般具有較寬的光譜范圍,圖2為T(mén)HORLABS公司生產(chǎn)的型號(hào)為L(zhǎng)EDW25E的白光光源光譜圖,該白光光源的波長(zhǎng)范圍為430~660nm。本文選擇的三種濾光片的中心波長(zhǎng)分別為λ1=510nm、λ2=540nm、λ3=640nm。從圖2中可看出,λ3強(qiáng)度范圍最小,以λ3為基準(zhǔn),通過(guò)調(diào)整光源電壓,使λ1、λ2的強(qiáng)度與λ3一致。這三種波長(zhǎng)的光強(qiáng)差異,會(huì)導(dǎo)致在白光光源位置及輸入電壓固定的情況下,通過(guò)切換不同的波長(zhǎng)濾光片使得所產(chǎn)生的干涉圖像對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)不相同,在CCD上呈現(xiàn)的干涉圖樣的亮暗程度差別很大,造成最終的計(jì)算結(jié)果存在誤差。因此必須保持不同波長(zhǎng)的光強(qiáng)一致性,本文采用光強(qiáng)實(shí)時(shí)反饋調(diào)節(jié)對(duì)白光經(jīng)濾波片的干涉光光強(qiáng)進(jìn)行控制,以保證不同波長(zhǎng)的光強(qiáng)處于相對(duì)平衡狀態(tài)。2.3 光強(qiáng)控制系統(tǒng)
利用光強(qiáng)傳感器BH1750FVI檢測(cè)出光強(qiáng),此器件能直接輸出光強(qiáng)值,無(wú)需標(biāo)定。相較于光敏電阻,集成度高的光強(qiáng)傳感器不需要進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換,很大程度上降低了電路的復(fù)雜度[20]。將轉(zhuǎn)換完成后的電信號(hào)輸入到STM32單片機(jī)中,將設(shè)定的光強(qiáng)值r(t)與實(shí)際的光強(qiáng)值y(t)進(jìn)行比較得到偏差e(t),通過(guò)數(shù)字PID控制得出控制量u(t),使數(shù)/模轉(zhuǎn)換器(DAC)輸出合適的電壓值,進(jìn)而控制LED驅(qū)動(dòng)電路,使每種濾光片出射的光強(qiáng)都能穩(wěn)定到設(shè)定值。觀測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)信息由ATK-0.96OLED顯示模塊進(jìn)行顯示。系統(tǒng)控制框圖如圖3所示。LED的輸入電壓范圍為3.2~5 V,STM32F103RCT6的DAC輸出電壓范圍為0~3.3V。通過(guò)放大電路對(duì)3.3V電壓進(jìn)行放大處理。利用LM317穩(wěn)壓后的最終電壓輸出范圍為1.25~7.85V,最大電流能達(dá)1.5A。通過(guò)控制DAC輸出電壓,可實(shí)現(xiàn)1.25~7.85V電壓連續(xù)可調(diào),調(diào)整精度為±0.01V,可以滿足使用要求。LED驅(qū)動(dòng)電路如圖4所示。
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于ARM Cortex-M3光照強(qiáng)度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J]. 周金芝,楊明. 安慶師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2018(03)
[2]基于白光干涉頻域分析的高精度表面形貌測(cè)量[J]. 鄧欽元,唐燕,周毅,楊勇,胡松. 中國(guó)激光. 2018(06)
[3]非接觸式三維重建測(cè)量方法綜述[J]. 丁少聞,張小虎,于起峰,楊夏. 激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2017(07)
[4]快速穩(wěn)定的白光干涉測(cè)量法[J]. 董一帆,萬(wàn)新軍,孟涵,解樹(shù)平. 激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2017(05)
[5]光學(xué)非球面面形非零位檢測(cè)的回程誤差校正[J]. 師途,臧仲明,劉東,楊甬英,種詩(shī)堯,張磊,白劍,沈亦兵,苗亮,黃瑋. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2016(08)
[6]基于白光干涉彩色圖像的微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量[J]. 郭彤,李峰,倪連峰,陳津平,傅星,胡小唐. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2014(02)
[7]基于PID控制的照度自動(dòng)控制系統(tǒng)[J]. 邢思銳,莊嚴(yán),梁國(guó)泓. 計(jì)算機(jī)與數(shù)字工程. 2010(05)
[8]邁克耳遜干涉儀干涉條紋分析及調(diào)整[J]. 周達(dá)林,黃篤之. 大學(xué)物理實(shí)驗(yàn). 2008(02)
[9]納米級(jí)微間距的多波長(zhǎng)干涉測(cè)量方法[J]. 沈邦興,汪威,張海波. 光學(xué)精密工程. 2005(S1)
[10]ME MS的光學(xué)檢測(cè)方法和儀器[J]. 趙旭輝,曲興華,葉聲華,何瀅,宋麗梅. 光學(xué)技術(shù). 2003(02)
碩士論文
[1]表面形貌多波長(zhǎng)干涉測(cè)量中相移驅(qū)動(dòng)及識(shí)別方法的研究[D]. 周立.湖北工業(yè)大學(xué) 2018
本文編號(hào):3056173
【文章來(lái)源】:激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2020,57(03)北大核心
【文章頁(yè)數(shù)】:8 頁(yè)
【部分圖文】:
光強(qiáng)一致性干涉測(cè)量系統(tǒng)原理圖
本文多波長(zhǎng)的獲得方式是利用白光光源和中心波長(zhǎng)不一樣的多種窄帶濾光片組合的方式,該方式可以在不切換光源的情況下得到不同的單波長(zhǎng)光束。白光LED一般具有較寬的光譜范圍,圖2為T(mén)HORLABS公司生產(chǎn)的型號(hào)為L(zhǎng)EDW25E的白光光源光譜圖,該白光光源的波長(zhǎng)范圍為430~660nm。本文選擇的三種濾光片的中心波長(zhǎng)分別為λ1=510nm、λ2=540nm、λ3=640nm。從圖2中可看出,λ3強(qiáng)度范圍最小,以λ3為基準(zhǔn),通過(guò)調(diào)整光源電壓,使λ1、λ2的強(qiáng)度與λ3一致。這三種波長(zhǎng)的光強(qiáng)差異,會(huì)導(dǎo)致在白光光源位置及輸入電壓固定的情況下,通過(guò)切換不同的波長(zhǎng)濾光片使得所產(chǎn)生的干涉圖像對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)不相同,在CCD上呈現(xiàn)的干涉圖樣的亮暗程度差別很大,造成最終的計(jì)算結(jié)果存在誤差。因此必須保持不同波長(zhǎng)的光強(qiáng)一致性,本文采用光強(qiáng)實(shí)時(shí)反饋調(diào)節(jié)對(duì)白光經(jīng)濾波片的干涉光光強(qiáng)進(jìn)行控制,以保證不同波長(zhǎng)的光強(qiáng)處于相對(duì)平衡狀態(tài)。2.3 光強(qiáng)控制系統(tǒng)
利用光強(qiáng)傳感器BH1750FVI檢測(cè)出光強(qiáng),此器件能直接輸出光強(qiáng)值,無(wú)需標(biāo)定。相較于光敏電阻,集成度高的光強(qiáng)傳感器不需要進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換,很大程度上降低了電路的復(fù)雜度[20]。將轉(zhuǎn)換完成后的電信號(hào)輸入到STM32單片機(jī)中,將設(shè)定的光強(qiáng)值r(t)與實(shí)際的光強(qiáng)值y(t)進(jìn)行比較得到偏差e(t),通過(guò)數(shù)字PID控制得出控制量u(t),使數(shù)/模轉(zhuǎn)換器(DAC)輸出合適的電壓值,進(jìn)而控制LED驅(qū)動(dòng)電路,使每種濾光片出射的光強(qiáng)都能穩(wěn)定到設(shè)定值。觀測(cè)點(diǎn)的光強(qiáng)信息由ATK-0.96OLED顯示模塊進(jìn)行顯示。系統(tǒng)控制框圖如圖3所示。LED的輸入電壓范圍為3.2~5 V,STM32F103RCT6的DAC輸出電壓范圍為0~3.3V。通過(guò)放大電路對(duì)3.3V電壓進(jìn)行放大處理。利用LM317穩(wěn)壓后的最終電壓輸出范圍為1.25~7.85V,最大電流能達(dá)1.5A。通過(guò)控制DAC輸出電壓,可實(shí)現(xiàn)1.25~7.85V電壓連續(xù)可調(diào),調(diào)整精度為±0.01V,可以滿足使用要求。LED驅(qū)動(dòng)電路如圖4所示。
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于ARM Cortex-M3光照強(qiáng)度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J]. 周金芝,楊明. 安慶師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2018(03)
[2]基于白光干涉頻域分析的高精度表面形貌測(cè)量[J]. 鄧欽元,唐燕,周毅,楊勇,胡松. 中國(guó)激光. 2018(06)
[3]非接觸式三維重建測(cè)量方法綜述[J]. 丁少聞,張小虎,于起峰,楊夏. 激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2017(07)
[4]快速穩(wěn)定的白光干涉測(cè)量法[J]. 董一帆,萬(wàn)新軍,孟涵,解樹(shù)平. 激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2017(05)
[5]光學(xué)非球面面形非零位檢測(cè)的回程誤差校正[J]. 師途,臧仲明,劉東,楊甬英,種詩(shī)堯,張磊,白劍,沈亦兵,苗亮,黃瑋. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2016(08)
[6]基于白光干涉彩色圖像的微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量[J]. 郭彤,李峰,倪連峰,陳津平,傅星,胡小唐. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2014(02)
[7]基于PID控制的照度自動(dòng)控制系統(tǒng)[J]. 邢思銳,莊嚴(yán),梁國(guó)泓. 計(jì)算機(jī)與數(shù)字工程. 2010(05)
[8]邁克耳遜干涉儀干涉條紋分析及調(diào)整[J]. 周達(dá)林,黃篤之. 大學(xué)物理實(shí)驗(yàn). 2008(02)
[9]納米級(jí)微間距的多波長(zhǎng)干涉測(cè)量方法[J]. 沈邦興,汪威,張海波. 光學(xué)精密工程. 2005(S1)
[10]ME MS的光學(xué)檢測(cè)方法和儀器[J]. 趙旭輝,曲興華,葉聲華,何瀅,宋麗梅. 光學(xué)技術(shù). 2003(02)
碩士論文
[1]表面形貌多波長(zhǎng)干涉測(cè)量中相移驅(qū)動(dòng)及識(shí)別方法的研究[D]. 周立.湖北工業(yè)大學(xué) 2018
本文編號(hào):3056173
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