飛秒激光在加工單晶硅過程中伴隨著等離子體衍生發(fā)光現(xiàn)象,并以激光光斑形式表現(xiàn)出來,激光燒蝕效果受激光脈沖能量、光學(xué)設(shè)置、材料特性、環(huán)境參數(shù)等因素的影響,參數(shù)的選擇是實現(xiàn)理想加工的關(guān)鍵,由此引入光斑質(zhì)心的提取,研究光斑的變化規(guī)律以提高加工精度的目的。常用的質(zhì)心提取算法有灰度質(zhì)心法、高斯曲面擬合法等,但由于受到噪聲的影響,光斑的灰度峰值可能發(fā)生偏差,提取的質(zhì)心同真實質(zhì)心相比誤差較大,由此引入多元正態(tài)分布,在多個方向擬合高斯曲面,通過極大似然法估計質(zhì)心,在精度方面得到了很大的改善。 

【文章來源】：激光與紅外. 2020,50(08)北大核心

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
1 引 言
2 基于多元正態(tài)分布的光斑質(zhì)心提取過程
    2.1 光斑質(zhì)心提取方案
    2.2 光斑質(zhì)心提取方法
        2.2.1 灰度質(zhì)心法
        2.2.2 多元正態(tài)分布的極大似然估計
3 仿真實驗
    3.1 三種方法的標(biāo)準(zhǔn)差比較
    3.2 質(zhì)心坐標(biāo)分析
4 結(jié) 論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[2]改進(jìn)閾值分割的光斑中心定位方法[J]. 趙琦,郝士琦,張岱.  激光與紅外. 2018(05)
[3]飛秒激光燒蝕硅材料表面形成周期波紋形貌研究[J]. 李志明,王璽,聶勁松.  物理學(xué)報. 2017(10)
[4]基于各向異性高斯曲面擬合的星點質(zhì)心提取算法[J]. 王敏,趙金宇,陳濤.  光學(xué)學(xué)報. 2017(05)
[5]星點亞像元細(xì)分定位精度分析[J]. 連月勇,張超,謝宗特.  測繪科學(xué)技術(shù)學(xué)報. 2015(06)
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博士論文
[1]大型裝備裝配位姿視覺檢測的關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 楊博文.南京航空航天大學(xué) 2013

碩士論文
[1]基于分子動力學(xué)的飛秒激光燒蝕硅的研究[D]. 周衛(wèi)國.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2014
[2]面向?qū)崟r高精度三維測量的光斑圖像提取與誤差補償[D]. 馮新星.南京航空航天大學(xué) 2012
[3]星圖定位與識別技術(shù)研究[D]. 程征.西安電子科技大學(xué) 2010



本文編號：3054036