鐵電負(fù)電容場效應(yīng)晶體管可以突破傳統(tǒng)金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管中的玻爾茲曼限制,將亞閾值擺幅降低到60 m V/dec以下,極大地改善了晶體管的開關(guān)電流比和短溝道效應(yīng),有效地降低了器件的功耗,為實(shí)現(xiàn)晶體管特征尺寸的減小和摩爾定律的延續(xù)提供了選擇.本文分析總結(jié)了國內(nèi)外近年來關(guān)于鐵電負(fù)電容場效應(yīng)晶體管代表性的研究進(jìn)展,為進(jìn)一步研究提供參考.首先介紹了鐵電負(fù)電容場效應(yīng)晶體管的研究背景及其意義;然后總結(jié)了鐵電材料的基本性質(zhì)和種類,并對鐵電材料負(fù)電容的物理機(jī)制和鐵電負(fù)電容場效應(yīng)晶體管的工作原理進(jìn)行了討論;接下來從器件溝道材料維度的角度,分別總結(jié)了最近幾年基于三維溝道材料和二維溝道材料且與氧化鉿基鐵電體結(jié)合的鐵電負(fù)電容場效應(yīng)晶體管的研究成果,并對器件的亞閾值擺幅、開關(guān)電流比、回滯電壓和漏電流等性能的改善進(jìn)行了分析概述;最后對鐵電負(fù)電容場效應(yīng)晶體管目前存在的問題和未來的發(fā)展方向作了總結(jié)與展望. 

【文章來源】：物理學(xué)報(bào). 2020,69(13)北大核心

【文章頁數(shù)】：29 頁


本文編號：3051375