鐵電負電容場效應晶體管可以突破傳統(tǒng)金屬氧化物半導體場效應晶體管中的玻爾茲曼限制,將亞閾值擺幅降低到60 m V/dec以下,極大地改善了晶體管的開關電流比和短溝道效應,有效地降低了器件的功耗,為實現晶體管特征尺寸的減小和摩爾定律的延續(xù)提供了選擇.本文分析總結了國內外近年來關于鐵電負電容場效應晶體管代表性的研究進展,為進一步研究提供參考.首先介紹了鐵電負電容場效應晶體管的研究背景及其意義;然后總結了鐵電材料的基本性質和種類,并對鐵電材料負電容的物理機制和鐵電負電容場效應晶體管的工作原理進行了討論;接下來從器件溝道材料維度的角度,分別總結了最近幾年基于三維溝道材料和二維溝道材料且與氧化鉿基鐵電體結合的鐵電負電容場效應晶體管的研究成果,并對器件的亞閾值擺幅、開關電流比、回滯電壓和漏電流等性能的改善進行了分析概述;最后對鐵電負電容場效應晶體管目前存在的問題和未來的發(fā)展方向作了總結與展望. 

【文章來源】：物理學報. 2020,69(13)北大核心

【文章頁數】：29 頁


本文編號：3051375