發(fā)布時(shí)間：2021-01-31 06:55

　　微測(cè)輻射熱計(jì)型非制冷紅外探測(cè)器以其低功耗、高性能、低成本等優(yōu)點(diǎn),在軍事上和民用上具有良好的前景。近年來(lái),隨著紅外器件越來(lái)越朝著大規(guī)模、高密度方向發(fā)展,非制冷紅外探測(cè)器所采用的主要規(guī)格已經(jīng)由原來(lái)的320×240元,發(fā)展到現(xiàn)在的640×480元,1024×768元等規(guī)格,像元大小從65μm×65μm到現(xiàn)在的小尺寸15μm×15μm,像元結(jié)構(gòu)也由傳統(tǒng)的單層結(jié)構(gòu)到目前的雙層傘形、雙層S型。但是截止到今天,像元大小為15μm×15μm小尺寸微測(cè)輻射熱計(jì)模型結(jié)構(gòu)的相關(guān)文獻(xiàn)國(guó)內(nèi)外均很少見到,而三層模型結(jié)構(gòu)在國(guó)內(nèi)外更是沒有發(fā)現(xiàn)相關(guān)報(bào)道,所以人們對(duì)小尺寸的器件性能結(jié)構(gòu)了解甚少。為了研究小尺寸微測(cè)輻射熱計(jì)器件的相關(guān)性能,本文采用專業(yè)的微機(jī)電系統(tǒng)軟件Intellisuite,構(gòu)建了15μm×15μm像元大小的微測(cè)輻射熱計(jì)雙層S型隱形橋腿三維有限元分析模型,以及三層S型隱形橋腿三維有限元分析模型。兩種結(jié)構(gòu)均以噪聲等效溫差和熱時(shí)間常數(shù)為主要性能指標(biāo)參數(shù),并在此基礎(chǔ)上對(duì)主要指標(biāo)進(jìn)行計(jì)算,對(duì)兩種結(jié)構(gòu)分別進(jìn)行了相關(guān)的力學(xué)性能仿真、熱學(xué)性能仿真和電學(xué)性能仿真。力學(xué)性能是微測(cè)輻射熱計(jì)穩(wěn)定的基礎(chǔ),本文通過(guò)對(duì)兩種結(jié)構(gòu)的三維模... 

【文章來(lái)源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：68 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 微測(cè)輻射熱計(jì)的研究發(fā)展歷程
        1.2.1 微測(cè)輻射熱計(jì)的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)
        1.2.2 微測(cè)輻射熱計(jì)的仿真設(shè)計(jì)模型發(fā)展
    1.3 本論文的結(jié)構(gòu)安排和研究意義
        1.3.1 論文意義
        1.3.2 結(jié)構(gòu)安排
第二章 微測(cè)輻射熱計(jì)概述及仿真建模
    2.1 微測(cè)輻射熱計(jì)的概述
        2.1.1 微測(cè)輻射熱計(jì)的工作原理
        2.1.2 微測(cè)輻射熱計(jì)的基本性能
        2.1.3 微測(cè)輻射熱計(jì)的主要性能指標(biāo)參數(shù)
    2.2 微測(cè)輻射熱計(jì)設(shè)計(jì)建模仿真技術(shù)概述
        2.2.1 微測(cè)輻射熱計(jì)的設(shè)計(jì)仿真方法概述
        2.2.2 微測(cè)輻射熱計(jì)雙層S型隱形橋腿模型的建立
        2.2.3 微測(cè)輻射熱計(jì)三層S型隱形橋腿模型的建立
    2.3 本章小結(jié)
第三章 微測(cè)輻射熱計(jì)的力學(xué)有限元分析
    3.1 微測(cè)輻射熱計(jì)應(yīng)力的來(lái)源分析
    3.2 微測(cè)輻射熱計(jì)“雙層S型隱形橋腿模型”的應(yīng)力分析
        3.2.1 敏感層殘余應(yīng)力對(duì)模型的力學(xué)形變分析
        3.2.2 電極層殘余應(yīng)力對(duì)模型的力學(xué)形變分析
        3.2.3 支撐層殘余應(yīng)力對(duì)模型的力學(xué)形變分析
    3.3 微測(cè)輻射熱計(jì)“三層S型隱形橋腿模型”力學(xué)有限元分析
        3.3.1 敏感層殘余應(yīng)力對(duì)模型的力學(xué)形變分析
        3.3.2 電極層殘余應(yīng)力對(duì)模型的力學(xué)形變分析
        3.3.3 支撐層殘余應(yīng)力對(duì)模型的力學(xué)形變分析
    3.4 本章小結(jié)
第四章 微測(cè)輻射熱計(jì)的熱學(xué)有限元分析
    4.1 微測(cè)輻射熱計(jì)“雙層S型隱形橋腿模型”的熱學(xué)分析
        4.1.1 微測(cè)輻射熱計(jì)的熱學(xué)性能仿真
        4.1.2 微測(cè)輻射熱計(jì)的熱時(shí)間常數(shù)計(jì)算
    4.2 微測(cè)輻射熱計(jì)“三層S型隱形橋腿模型”的熱學(xué)分析
        4.2.1 微測(cè)輻射熱計(jì)的熱學(xué)性能仿真
        4.2.2 微測(cè)輻射熱計(jì)的熱時(shí)間常數(shù)計(jì)算
    4.3 本章小結(jié)
第五章 微測(cè)輻射熱計(jì)的電學(xué)有限元分析
    5.1 微測(cè)輻射熱計(jì)“雙層S型隱形橋腿模型”的電學(xué)分析
        5.1.1 微測(cè)輻射熱計(jì)的電學(xué)性能仿真
        5.1.2 微測(cè)輻射熱計(jì)的熱電耦合仿真
        5.1.3 初始電阻、器件TCR、N ETD的提取計(jì)算
    5.2 微測(cè)輻射熱計(jì)“三層S型隱形橋腿模型”的電學(xué)分析
        5.2.1 微測(cè)輻射熱計(jì)的電學(xué)性能仿真
        5.2.2 微測(cè)輻射熱計(jì)的熱電耦合仿真
        5.2.3 初始電阻、器件TCR、N ETD的提取計(jì)算
    5.3 本章小結(jié)
第六章 結(jié)論與展望
    6.1 論文結(jié)論
    6.2 未來(lái)展望
致謝
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間取得的成果


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[10]非致冷紅外微測(cè)輻射熱計(jì)的自熱效應(yīng)分析及重要參數(shù)測(cè)定[J]. 劉西釘,梁平治,沈?qū)W礎(chǔ).  紅外與毫米波學(xué)報(bào). 1999(01)

碩士論文
[1]新型雙層微測(cè)輻射熱計(jì)結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)[D]. 楊卓.電子科技大學(xué) 2012



本文編號(hào)：3010404