第五代移動通信（5G）技術(shù)對小體積、高頻、寬帶和高性能的空腔型體聲波諧振濾波器（FBAR filter）提出了迫切需求。該技術(shù)融合了聲學(xué)、射頻和MEMS工藝。目前存在著無專用的設(shè)計平臺,對薄膜材料要求高、工藝復(fù)雜等研究困難。同時,FBAR濾波器是一類典型的窄帶器件,如何增加其工作帶寬,滿足寬帶信號處理要求,也是近年來的研究熱點。本文通過建立有限元（FEM）模型、等效電路模型和全波仿真模型,系統(tǒng)地闡述材料和結(jié)構(gòu)對體聲波諧振器性能的影響規(guī)律,以及壓電材料、封裝、寄生振動和電路結(jié)構(gòu)對體聲波濾波器性能的影響,建立全套高精度仿真平臺,并為寬帶FBAR的實現(xiàn)提供理論指導(dǎo)。通過對空腔結(jié)構(gòu)、壓電和電極薄膜制備、頻率修調(diào)等關(guān)鍵工藝的微觀（如結(jié)構(gòu)、形貌等）和宏觀（如應(yīng)力、均勻性等）特性研究,獲得滿足FBAR優(yōu)異壓電性、高結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性及低能量耗散等要求的材料及工藝基礎(chǔ)。最后,研制、測試和分析了常規(guī)、高Q、高有效機電耦合系數(shù)(kt²_eff)結(jié)構(gòu)體聲波諧振器和高頻、高Q、寬帶體聲波濾波器。本文從模擬仿真、材料制備、器件工藝和測試等方面進行研究,取得系列成果和創(chuàng)新。1.空... 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：141 頁

【學(xué)位級別】：博士

【部分圖文】：

超外差結(jié)構(gòu)射頻前端示意圖

圖 1-2 三頻段零中頻射頻前端示意圖[3]圖 1-3 目前手機射頻前端示意圖[3]SAW 濾波器是一種基于聲表面波理論，利用叉指換能器實現(xiàn)頻率選擇的器件工作頻率是由聲表面波的聲速和叉指換能器周期共同決定[12]。由于壓電單晶聲速較低，在目前的金屬指條加工精度下，量產(chǎn) SAW 濾波器最高頻率小

2圖 1-3 目前手機射頻前端示意圖[3]SAW 濾波器是一種基于聲表面波理論，利用叉指換能器實現(xiàn)頻率選擇的器件工作頻率是由聲表面波的聲速和叉指換能器周期共同決定[12]。由于壓電單晶聲速較低，在目前的金屬指條加工精度下，量產(chǎn) SAW 濾波器最高頻率小

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3007555