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基于太赫茲傳播仿真模型的涂層高精度厚度檢測

發(fā)布時間:2021-01-27 12:53
  在太赫茲厚度無損檢測中,針對薄涂層上、下表面回波不可分的問題,測定頻率為0.2~7 THz的普通面漆涂層的光學(xué)參數(shù),根據(jù)其在頻率為0.2~2 THz時的光譜特性,采用折射率常數(shù)模型和消光系數(shù)常數(shù)模型建立了反射式太赫茲波傳播仿真模型。將仿真波形與實際太赫茲檢測波形的差值方程組作為目標(biāo)函數(shù),提出最小二乘厚度優(yōu)化方法,同時引入太赫茲發(fā)射器與樣品間的距離參數(shù)對目標(biāo)函數(shù)進行優(yōu)化。設(shè)計具有不同階梯厚度的面漆涂層樣件進行無損檢測厚度成像實驗。實驗結(jié)果表明:所提方法對定量無損檢測精度有顯著提高效果,對面漆涂層來說,厚度檢測精度達到了7.9μm,相較于現(xiàn)有方法提升了2個數(shù)量級;距離參數(shù)的引入實現(xiàn)了對檢測過程中太赫茲發(fā)射器與樣品間距離分布的可視化分析。 

【文章來源】:光學(xué)學(xué)報. 2020,40(13)北大核心

【文章頁數(shù)】:7 頁

【部分圖文】:

基于太赫茲傳播仿真模型的涂層高精度厚度檢測


反射式THz時域光譜系統(tǒng)示意圖

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式中:Tupper為上表面反射信號Eupper(ω)峰值對應(yīng)的飛行時間;Tlower為下表面反射信號Elower(ω)峰值對應(yīng)的飛行時間;ns為樣品折射率;c為光速;ω為頻率。圖3 厚涂層樣品的THz時域波形

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厚涂層樣品的THz時域波形

【參考文獻】:
期刊論文
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[4]紅外熱波技術(shù)在熱障涂層厚度檢測上的應(yīng)用研究[J]. 李永君,肖俊峰,朱立春,張炯,高斯峰,唐文書,南晴.  紅外技術(shù). 2017(07)
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碩士論文
[1]基于超聲的多層異質(zhì)薄膜材料厚度檢測方法研究[D]. 王勝新.電子科技大學(xué) 2017
[2]太赫茲波段生物組織介電特性數(shù)值模擬研究[D]. 彭艷.蘭州交通大學(xué) 2015
[3]多涂層厚度渦流無損檢測技術(shù)及其實現(xiàn)方法研究[D]. 來超.電子科技大學(xué) 2015



本文編號:3003081

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