本文闡述了磷化鋁鎵銦（A1GaInP）基發(fā)光二極管（LED）的發(fā)光原理及市場(chǎng)上主流的技術(shù)現(xiàn)狀,分析了目前產(chǎn)業(yè)化需求戶內(nèi)小間距顯示屏的新技術(shù)及成本需求,為填補(bǔ)傳統(tǒng)工藝間的亮度空白,研究了一種介于傳統(tǒng)正極性芯片及反極性芯片之間的工藝方案:低成本高效率高可靠性的電流阻擋（Current Blocking簡(jiǎn)稱CB）與粗化工藝組合的AlGaInP基LED。本論文是在傳統(tǒng)正極性工藝基礎(chǔ)上進(jìn)行CB及粗化工藝上的研究,主要工作內(nèi)容如下:1、對(duì)比了傳統(tǒng)正極性芯片結(jié)構(gòu)與CB電流阻擋結(jié)構(gòu)的電流注入模型,分析了 CB結(jié)構(gòu)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。根據(jù)CB電流阻擋工藝的原理,設(shè)計(jì)生長(zhǎng)了三種不同GaP摻雜濃度和梯度的外延結(jié)構(gòu)。通過(guò)改變不同CB開(kāi)孔深度、不同Indium Tin Oxide（ITO）厚度、ITO透過(guò)率等芯片工藝條件,研究出最優(yōu)的CB外延結(jié)構(gòu):80 nm的GaP表層歐姆接觸層和500 nm厚的過(guò)渡層,摻雜濃度分別為2×1019/cm3和7×1018/cm3;及最佳的芯片工藝條件組合:CB開(kāi)孔深度70nm,ITO蒸鍍溫度300 ℃、氧流量10sccm、厚度280nm。該CB工藝條件下器件性能正常,且亮度比傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)提升... 

【文章來(lái)源】：揚(yáng)州大學(xué)江蘇省

【文章頁(yè)數(shù)】：62 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

發(fā)光二極管發(fā)光過(guò)程示意圖

圖１．２?ＬＥＤ顯示發(fā)展及應(yīng)用??根據(jù)《中國(guó)ＬＥＤ小間距屏市場(chǎng)分析報(bào)告》預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)顯示，到２０２０年，中國(guó)小間距ＬＥＤ??顯示屏市場(chǎng)規(guī)模有望達(dá)到１１２億元（如圖１．３），在丨上丨）顯示屏市場(chǎng)滲透率或上升至２２．?４％，??推動(dòng)ＬＥＤ顯示技術(shù)加速向室內(nèi)應(yīng)用延伸。同時(shí)小間距丨上Ｄ顯示除拼接屏領(lǐng)域應(yīng)用外’還將??滲透到更多終端產(chǎn)品市場(chǎng)，朝大眾化、終端化、智能化等趨勢(shì)發(fā)展。??

、ＧａＰ透明電流擴(kuò)展層等最新的技術(shù)設(shè)計(jì)，以降低ＧａＡｓ襯底吸收、提高ＧａＰ電流擴(kuò)展??注入，達(dá)到外延設(shè)計(jì)的最優(yōu)光取出；芯片部分只鍍最簡(jiǎn)單的正背面電極形成所需ＬＥＤ芯片??器件。結(jié)構(gòu)如圖１．４。??正極性工藝優(yōu)缺點(diǎn)：在ＭＯＣＶＤ外延生長(zhǎng)階段完成，芯片制作只需鍍電極，工藝簡(jiǎn)單，??Ｉ?成本低廉；但是由于ＤＢＲ結(jié)構(gòu)只對(duì)垂直入射和小角度入射的光提供高反射率，對(duì)角度較??Ｉ?大的入射光反射率很小，大角度的入射光大部分將透過(guò)ＤＢＲ被ＧａＡｓ襯底吸收［３３１，所以正??極性結(jié)構(gòu)外量子效率取出有限，亮度偏低。??！?正極性芯片應(yīng)用：作為目前主流的傳統(tǒng)工藝芯片，廣泛應(yīng)用于對(duì)亮度需求不高的單燈、??指示、戶內(nèi)顯示、半戶外顯示等領(lǐng)域。??

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]Characteristic improvements of thin film AlGaInP red light emitting diodes on a metallic substrate[J]. 趙斌,胡巍,唐先勝,霍雯雪,韓麗麗,趙明龍,馬紫光,王文新,賈海強(qiáng),陳弘.  Chinese Physics B. 2018(04)
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博士論文
[1]基于量子點(diǎn)的電致發(fā)光器件關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 馬航.北京交通大學(xué) 2017

碩士論文
[1]AlGaInP黃綠光LED內(nèi)量子效率提高的研究[D]. 韓效亞.長(zhǎng)春理工大學(xué) 2012
[2]表面粗化提高AlGaInP LEDs外量子效率[D]. 白繼鋒.長(zhǎng)春理工大學(xué) 2012



本文編號(hào)：2980655