研制了一款S波段雙通道薄膜體聲波諧振器（FBAR）濾波器,其兩個通帶頻率分別為（2 000±45）MHz和（2 800±45）MHz,在兩個通道的輸入、輸出端分別加入匹配電路。FBAR濾波器芯片采用階梯型電路結構設計,采用聲電磁協(xié)同仿真方法對各個通道的FBAR濾波器分別進行了仿真設計。匹配電路采用由低通濾波器和高通濾波器構成的雙工器方案實現(xiàn)。對印制電路板、FBAR濾波器芯片和匹配電路進行了一體化仿真。FBAR濾波器芯片采用自主的FBAR標準工藝實現(xiàn),雙通道FBAR濾波器采用微波混合集成電路工藝實現(xiàn),其體積為12.2 mm×12.2 mm×4.8 mm。濾波器采用陶瓷外殼進行了氣密封裝,具有免調試、參數(shù)一致性好的特點,拓寬了FBAR濾波器的應用范圍。 

【文章來源】：半導體技術. 2020,45(09)北大核心

【文章頁數(shù)】：5 頁

【部分圖文】：

圖1 雙通道濾波器電路框圖

本文采用3節(jié)截止頻率均為2 500 MHz的低通濾波器和高通濾波器實現(xiàn)雙工器匹配電路,即f1通道采用低通濾波器,使頻率為2 000 MHz的通帶信號通過,f2通道采用高通濾波器,使頻率為2 800 MHz的通帶信號通過,其電路圖如圖2所示,圖中端口1為公共端口,端口2為f1通道輸出端口,端口3為f2通道輸出端口。采用微波仿真軟件對雙工器的電容、電感值進行優(yōu)化,使兩通道通帶內的輸出電壓駐波比(VSWR2,VSWR3)盡量小,仿真曲線如圖3所示。圖中S21,d為f1通道的正向傳輸特性,在濾波器通帶(2 000±45)MHz內插入損耗為1.61 dB,S31,d為f2通道的正向傳輸特性,在通帶(2 800±45)MHz內插入損耗為1.87 dB。圖3 雙工器仿真曲線

圖3 雙工器仿真曲線


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