通信技術(shù),在人類發(fā)展中有很悠遠(yuǎn)的歷史。古代有烽火、信鴿和驛馬等通信方式。到十九世紀(jì)中葉,有電話、電報(bào)的發(fā)明。再到現(xiàn)代滿目琳瑯的通信設(shè)備。人們?cè)絹碓诫x不開通信。而且,通信技術(shù)的要求越來越高。通信系統(tǒng)要求更小面積、更快速度和更低功耗。薄膜體聲波諧振器（Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR諧振器）是目前一種很熱門的研究,在未來的市場(chǎng)上有著可預(yù)想的良好發(fā)展前景。這種諧振器有很多優(yōu)點(diǎn),例如,尺寸小,品質(zhì)因數(shù)高（可達(dá)1000以上）,插入損耗小,諧振頻率高以及功率容量也比SAW諧振器大。最重要的是薄膜體聲波諧振器,其制備工藝與CMOS工藝相兼容。故而,在通信系統(tǒng),尤其是射頻前端中的應(yīng)用越來越重要。本文研究了以薄膜體聲波諧振器為基礎(chǔ)的低相位噪聲振蕩器。本文主要對(duì)振蕩器關(guān)鍵性能參數(shù)相位噪聲以及核心元件薄膜體聲波諧振器進(jìn)行了研究。在討論了振蕩器的理論和模型后,對(duì)薄膜體聲波諧振器的一些理論進(jìn)行了研究,并簡(jiǎn)單介紹了壓電理論和聲波理論等。為了明確基于體聲波諧振器的振蕩器工作原理及特點(diǎn),本文先探討了FBAR諧振器的工作原理以及重要參數(shù),對(duì)其建模,分別建立了Mason模型、BVD模型以... 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：81 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

AVAGO公司產(chǎn)品

表 1-1 三種濾波器的比較介質(zhì)濾波器 SAW 率 1MHz-10GHz 10MHz-3GHz 50損 1-2dB 2.5-4dB 容量 >>1W <1W Q 300-700 200-400 系數(shù) -10~+10ppm/℃ -35~-95ppm/℃ -2電能力 優(yōu)秀 一般 寸 大 小 藝 成熟 成熟 成性 不能 不能 十幾年的研究與發(fā)展，脫身于安捷倫公司的安華高（AVAGO）品已經(jīng)可以成功包含大部分手機(jī)的通信頻段，每年產(chǎn)貨量超過近 2/3 的市場(chǎng)份額。Triquint 公司市場(chǎng)占有率超過 20%，后來和了第二巨頭 Qorvo 公司。另外還有一些半導(dǎo)體公司也進(jìn)行 FA制出自己的產(chǎn)品，但市場(chǎng)總體份額占有率低于 5%。

表 1-2 幾種 FBAR 振蕩器的性能參數(shù)參考文獻(xiàn) 工作頻率(GHz)相噪@10KHz(dBc/Hz)功耗(mW)F[26] 2.1 -94 24.3 -[27] 2.1 -95 0.6 -[28] 1.7 -97 1.5 -[29] 5.5 -93 4.6 -[30] 1.9 -98 0.089 -[31] 1.9 -100 0.3 -[32] 2.2 -85 6 -階段，一般通過兩種方法制備 FBAR 振蕩器，第一，SIP 結(jié)構(gòu)[33]，即與電路通過引線連接構(gòu)成；第二，SOC 結(jié)構(gòu)[34]，以 CMOS 工藝制備一起。第一種方法比較常見，因?yàn)?SIP 結(jié)構(gòu)振蕩器實(shí)現(xiàn)工藝簡(jiǎn)單，固性不強(qiáng)和不易封裝的缺點(diǎn)。SOC 結(jié)構(gòu)振蕩器的技術(shù)還不是特別成采用這種方法，但因?yàn)檫@種方式可以很好的集成，所以也是目前著。圖 1-4 所示為兩種結(jié)構(gòu)的振蕩器。

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]品質(zhì)因數(shù)對(duì)薄膜體聲波諧振器振蕩器頻率穩(wěn)定度的影響[J]. 尹汐漾,袁明權(quán),韓賓,呂軍光,王宇航.  強(qiáng)激光與粒子束. 2017(05)
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博士論文
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[4]薄膜體聲波諧振器（FBAR）技術(shù)的若干問題研究[D]. 金浩.浙江大學(xué) 2006

碩士論文
[1]SMR-FBAR布拉格反射柵復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)的制備及器件熱性能研究[D]. 賈振宇.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2013
[2]SMR-FBAR壓電堆用Mo及AlN薄膜材料的研究[D]. 王建東.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2012
[3]FBAR溫度傳感器研究[D]. 劉世潔.浙江大學(xué) 2012
[4]FBAR及其振蕩器的研究[D]. 吳夢(mèng)軍.浙江大學(xué) 2012
[5]溫度補(bǔ)償?shù)膲弘姳∧んw聲波濾波器[D]. 胡念楚.天津大學(xué) 2011
[6]AIN薄膜中頻濺射制備及體聲波諧振器研制[D]. 汪振中.電子科技大學(xué) 2011
[7]5GHz硅雙極晶體管的研制[D]. 霍曉華.西安電子科技大學(xué) 2009
[8]薄膜體聲波諧振器結(jié)構(gòu)分析與仿真[D]. 吳勇.電子科技大學(xué) 2007
[9]FBAR雙工器的分析和設(shè)計(jì)[D]. 俞科挺.浙江大學(xué) 2006
[10]用于FBAR技術(shù)的AIN薄膜的研究[D]. 石哲.浙江大學(xué) 2006



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